JPH0435344U - - Google Patents
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- JPH0435344U JPH0435344U JP7722090U JP7722090U JPH0435344U JP H0435344 U JPH0435344 U JP H0435344U JP 7722090 U JP7722090 U JP 7722090U JP 7722090 U JP7722090 U JP 7722090U JP H0435344 U JPH0435344 U JP H0435344U
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- ion
- transport system
- voltage
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- 230000037427 ion transport Effects 0.000 claims description 7
- 230000001629 suppression Effects 0.000 claims description 7
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- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 claims description 4
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- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 3
Description
第１図は本考案の実施例に係るイオン注入装置
の概略構成図。第２図は第１図の装置に於いてイ
オンビーム経路に沿う電位分布図。第３図は従来
例に係るイオン注入装置の概略構成図。第４図は
第３図の装置に於いてイオンビーム経路に沿う電
位分布図。 １……イオン源、２……イオン引出し系、３…
…加速管、４……加速系電子抑制電極、５……タ
ーゲツト、６……イオン引出し系電子抑制電源、
７……イオン引出し電源、８……加速電源、９…
…加速系電子抑制電源、１０……イオンビーム、
１１……輸送系発生イオン、１２……イオン輸送
系、１３……加速系イオン抑制電極、１４……加
速系イオン抑制電源。
の概略構成図。第２図は第１図の装置に於いてイ
オンビーム経路に沿う電位分布図。第３図は従来
例に係るイオン注入装置の概略構成図。第４図は
第３図の装置に於いてイオンビーム経路に沿う電
位分布図。 １……イオン源、２……イオン引出し系、３…
…加速管、４……加速系電子抑制電極、５……タ
ーゲツト、６……イオン引出し系電子抑制電源、
７……イオン引出し電源、８……加速電源、９…
…加速系電子抑制電源、１０……イオンビーム、
１１……輸送系発生イオン、１２……イオン輸送
系、１３……加速系イオン抑制電極、１４……加
速系イオン抑制電源。
Claims (1)
- 真空に引くことのできる空間であつて導入され
たガスを放電によつてプラズマに励起するイオン
源と、イオン源の開口に続いて設けられイオン通
し穴を有しイオン源に対して負の引出し電圧ＶＢ
１が印加された電極板であるイオン引出し系と、
引出されたイオンを輸送するための真空に保たれ
た空間であるイオン輸送系と、イオン輸送系に続
いて設けられターゲツトに対して正の高電圧を印
加することによつてイオンを加速する加速管とを
有するイオン注入装置に於いて、イオン輸送系の
終端近くで加速管の直前に２枚の電極よりなるイ
オン抑制電極を設け、イオン輸送系に近い方の電
極はイオン輸送系と同じ電位を与え、加速管に近
い方の電極はイオン輸送系電圧に引出し電圧より
低く輸送系で発生したイオンのエネルギーを電荷
素量ｑで割つた電圧より高いイオン抑制電圧Ｖｉ
ｓを与えたことを特徴とするイオン注入装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7722090U JPH0435344U (ja) | 1990-07-19 | 1990-07-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7722090U JPH0435344U (ja) | 1990-07-19 | 1990-07-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0435344U true JPH0435344U (ja) | 1992-03-24 |
Family
ID=31619404
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7722090U Pending JPH0435344U (ja) | 1990-07-19 | 1990-07-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0435344U (ja) |
-
1990
- 1990-07-19 JP JP7722090U patent/JPH0435344U/ja active Pending
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