JPH01118219A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法Info
- Publication number
- JPH01118219A JPH01118219A JP62276133A JP27613387A JPH01118219A JP H01118219 A JPH01118219 A JP H01118219A JP 62276133 A JP62276133 A JP 62276133A JP 27613387 A JP27613387 A JP 27613387A JP H01118219 A JPH01118219 A JP H01118219A
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- JP
- Japan
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- magnetic recording
- ferromagnetic metallic
- electron beam
- recording medium
- metallic material
- Prior art date
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- Pending
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- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は高密度磁気記録に適する強磁性金属薄膜を磁気
記録層とする磁気記録媒体の製造方法に関するものであ
る。
記録層とする磁気記録媒体の製造方法に関するものであ
る。
従来の技術
近年、磁気記録の高密度化技術の進歩には目覚しいもの
があシ、磁気記録媒体にとっても、蒸着テープ等のよう
な強磁性金属薄膜を磁気記録層とする媒体への転換が望
まれている〔アイイーイーイー トランザクシコンズ
オン マグネティクス（Ｉ ＥＥＥ Ｔｒａｎｓａｃｔ
ｉｏｎｓ ｏｎ Ｍａｇｎｅｔｉｃｓ）ｖｏｗｏＭＡＧ
−２１、Ｎｏ−３，ｐ、ｐ、１２１７〜１２２０（１ｓ
ｓｓ））。
があシ、磁気記録媒体にとっても、蒸着テープ等のよう
な強磁性金属薄膜を磁気記録層とする媒体への転換が望
まれている〔アイイーイーイー トランザクシコンズ
オン マグネティクス（Ｉ ＥＥＥ Ｔｒａｎｓａｃｔ
ｉｏｎｓ ｏｎ Ｍａｇｎｅｔｉｃｓ）ｖｏｗｏＭＡＧ
−２１、Ｎｏ−３，ｐ、ｐ、１２１７〜１２２０（１ｓ
ｓｓ））。
蒸着テープは、円筒キャン等の回転支持体に沿わせて高
分子フィルム等の基板を巻き取りながら、酸化性の雰囲
気内で連続的に入射角の変化する斜め蒸着を電子ビーム
蒸着により行うことで得るのが一般的である〔特開昭５
３−４２０１０号公報。
分子フィルム等の基板を巻き取りながら、酸化性の雰囲
気内で連続的に入射角の変化する斜め蒸着を電子ビーム
蒸着により行うことで得るのが一般的である〔特開昭５
３−４２０１０号公報。
特公昭５了−１９４９３号公報、電子通信学会磁気記録
研究会資料ＭＲ８ｌ−２（１９８１）等〕。斜め蒸着は
蒸着効率の面で課題があり、広い入射角範囲で成膜して
も所望の特性を得られるように、酸素中蒸着の応用や、
蒸気分布をシャープにするために電子ビームの集束を改
善する等の検討が進められている。
研究会資料ＭＲ８ｌ−２（１９８１）等〕。斜め蒸着は
蒸着効率の面で課題があり、広い入射角範囲で成膜して
も所望の特性を得られるように、酸素中蒸着の応用や、
蒸気分布をシャープにするために電子ビームの集束を改
善する等の検討が進められている。
発明が解決しようとする問題点
しかしながら電子ビームの高集束化と走査方法の改善で
は、より短波長化する磁気記録の要求性能を均一に満足
せしめる磁気テープを製造できないことから、改善が望
まれていた。
は、より短波長化する磁気記録の要求性能を均一に満足
せしめる磁気テープを製造できないことから、改善が望
まれていた。
本発明は上記した事情に濫みなされたもので、磁気特性
や薄膜微細構造の均一性を確保し、短波長記録性能の良
好な磁気記録媒体を製造する方法を提供することを目的
とするものである。
や薄膜微細構造の均一性を確保し、短波長記録性能の良
好な磁気記録媒体を製造する方法を提供することを目的
とするものである。
問題点を解決するだめの手段
上記した問題点を解決するため、本発明の磁気記録媒体
の製造方法は耐火物容器内の強磁性金属材料の加熱を行
う電子ビームの入射角を４５度以上とし、蒸発させて得
た蒸気流の一部で強磁性金属薄膜を形成するようにしだ
ものである。
の製造方法は耐火物容器内の強磁性金属材料の加熱を行
う電子ビームの入射角を４５度以上とし、蒸発させて得
た蒸気流の一部で強磁性金属薄膜を形成するようにしだ
ものである。
作用
上記製造方法により、蒸気流に含まれるイオンの量やエ
ネルギーが安定することから、磁気特性や薄膜微細構造
が均一になり、磁気記録性能のすぐれた磁気記録層が形
成されることになる。
ネルギーが安定することから、磁気特性や薄膜微細構造
が均一になり、磁気記録性能のすぐれた磁気記録層が形
成されることになる。
実施例
以下、図面を参照しながら本発明の一実施例について詳
しく説明する。第１図は本発明を実施するのに用いた蒸
着装置の要部構成図である。第１図で、１はポリエチレ
ンテレフタレート、ポリフ二二しンサルファイド等の高
分子フィルムないしは微粒子塗布層を配した基板、２は
巻出し軸、３は巻取り軸、４は円筒キャン等の回転支持
体である。５は耐火物容器で、基板の移動方向と直交す
る方向に伸びた横長の容器が用いられ、ＭｇＯ。
しく説明する。第１図は本発明を実施するのに用いた蒸
着装置の要部構成図である。第１図で、１はポリエチレ
ンテレフタレート、ポリフ二二しンサルファイド等の高
分子フィルムないしは微粒子塗布層を配した基板、２は
巻出し軸、３は巻取り軸、４は円筒キャン等の回転支持
体である。５は耐火物容器で、基板の移動方向と直交す
る方向に伸びた横長の容器が用いられ、ＭｇＯ。
’１２０ｓ 、 ＺｒＯ２等の容器が用いられる。６は
Ｇｏ。
Ｇｏ。
Ｇｏ−Ｎｉ、Ｇｏ−ムｇ 、 Ｇｏ −Ｏｒ 、 Ｃｏ
−Ｂ等の強磁性金属材料、アは電子ビーム発生器、８は
電子ビーム１９は最小入射角を決めるマスク、１ｏは真
空槽、１１は真空排気系である。図においてθｅが電子
ビームの入射角である。すなわち強磁性金属材料の表面
に対して鉛直方向を基準とした入射角度である。この角
度が４５度以上であることが本発明の要件であるが、実
質は８０度以上で構成するのは、その構造上むずかしい
ので４５度から７０度の範囲で構成される。４５度の臨
界的意義は、必ずしも明確ではないが、後述する実施例
での短波長Ｃ／Ｈの変化率が゛長手１ｏＯｍのテープに
於て、平均値に対して何チであるかを表わした第２図か
られかるように、４５度から８０度の範囲では極めて安
定しているのに、４５度未満では変化率が大きくなるこ
とによるものである。４６度未満で変化率が大きいのは
、通常用いられる回転支持体の大きさや、蒸発源の大き
さ、両者の位置関係によって、４６度を境にして、蒸気
流にイオンが含まれる割合が増え、かつ薄膜の結晶成長
にそれが重大な影響を及ぼすため、不安定現象が起るこ
と（／′Ｃ原因があると推定されるものである。
−Ｂ等の強磁性金属材料、アは電子ビーム発生器、８は
電子ビーム１９は最小入射角を決めるマスク、１ｏは真
空槽、１１は真空排気系である。図においてθｅが電子
ビームの入射角である。すなわち強磁性金属材料の表面
に対して鉛直方向を基準とした入射角度である。この角
度が４５度以上であることが本発明の要件であるが、実
質は８０度以上で構成するのは、その構造上むずかしい
ので４５度から７０度の範囲で構成される。４５度の臨
界的意義は、必ずしも明確ではないが、後述する実施例
での短波長Ｃ／Ｈの変化率が゛長手１ｏＯｍのテープに
於て、平均値に対して何チであるかを表わした第２図か
られかるように、４５度から８０度の範囲では極めて安
定しているのに、４５度未満では変化率が大きくなるこ
とによるものである。４６度未満で変化率が大きいのは
、通常用いられる回転支持体の大きさや、蒸発源の大き
さ、両者の位置関係によって、４６度を境にして、蒸気
流にイオンが含まれる割合が増え、かつ薄膜の結晶成長
にそれが重大な影響を及ぼすため、不安定現象が起るこ
と（／′Ｃ原因があると推定されるものである。
以下、更に具体的に本実施例により製造した磁気記録媒
体の記録性能について比較例との対比で詳しく説明する
。
体の記録性能について比較例との対比で詳しく説明する
。
厚み１０μｍの、ｔ” ＩＪエチレンテレフタレートフ
ーイルムに直径１ｏｏ人のＳｉ０２微粒子を１０妙掌ｍ
）−２の密度で配した基板を用い、直径１ｍの円筒キャ
ンの直下４０αにＭｇＯ，ＩＪの耐火物容器を置いて、
Ｃｏ −Ｎｉ （Ｃｏ ： ８ｏ ｗｔ％）を溶解、蒸
発させ、最小入射角４３度で０．１μｍ蒸着した。蒸着
の際、酸素分圧を３Ｘ１０ ’（Ｔｏｒｒ）から８Ｘ
１０−５（Ｔｏｒｒ）まで調整し、θｅに応じて、保磁
力が１０００ （Ｏｅ ３となるように制御した。フィ
ルム＠４０α、長さ２０００ｍから任意の８ミリテープ
を２０本抽出し、（１巻のテープ長は６０７７！ ）
、改造した８ミリビデオデツキで長手方向のＣ／Ｎ
の平均値（Ｘ）と偏移（Ｒ）を測定した。尚、テープは
夫々、潤滑剤としてパーフルオロミソスチン酸を６０人
真空蒸着したものを用いた。８ミリビデオの改造点はギ
ヤツーｊ長ｏ、２４μｍのアモルファス合金、！ニスバ
ッタ型のフェライトとの複合ヘッドを用い、キャリア周
波数を５（Ｍ服）から７．５（Ｍ±）にして広帯域化を
図った点で、より短波長記録性能が重要になる系である
。製造条件でθｅと、０／ＮのＸとＲについて下表にま
とめて示した。
ーイルムに直径１ｏｏ人のＳｉ０２微粒子を１０妙掌ｍ
）−２の密度で配した基板を用い、直径１ｍの円筒キャ
ンの直下４０αにＭｇＯ，ＩＪの耐火物容器を置いて、
Ｃｏ −Ｎｉ （Ｃｏ ： ８ｏ ｗｔ％）を溶解、蒸
発させ、最小入射角４３度で０．１μｍ蒸着した。蒸着
の際、酸素分圧を３Ｘ１０ ’（Ｔｏｒｒ）から８Ｘ
１０−５（Ｔｏｒｒ）まで調整し、θｅに応じて、保磁
力が１０００ （Ｏｅ ３となるように制御した。フィ
ルム＠４０α、長さ２０００ｍから任意の８ミリテープ
を２０本抽出し、（１巻のテープ長は６０７７！ ）
、改造した８ミリビデオデツキで長手方向のＣ／Ｎ
の平均値（Ｘ）と偏移（Ｒ）を測定した。尚、テープは
夫々、潤滑剤としてパーフルオロミソスチン酸を６０人
真空蒸着したものを用いた。８ミリビデオの改造点はギ
ヤツーｊ長ｏ、２４μｍのアモルファス合金、！ニスバ
ッタ型のフェライトとの複合ヘッドを用い、キャリア周
波数を５（Ｍ服）から７．５（Ｍ±）にして広帯域化を
図った点で、より短波長記録性能が重要になる系である
。製造条件でθｅと、０／ＮのＸとＲについて下表にま
とめて示した。
（以下余白）
傘１ 偏向磁界により、耐火物容器近くでビームを偏向
して入射させた。
して入射させた。
上記した実施例は斜め蒸着の場合であったが、Ｇｏ−Ｏ
ｒ 、 Ｃｏ−Ｔｉ 、 Ｃｏ−Ｔａ 、 Ｇｏ −Ｗ
、 Ｇｏ−Ｍｏ 。
ｒ 、 Ｃｏ−Ｔｉ 、 Ｃｏ−Ｔａ 、 Ｇｏ −Ｗ
、 Ｇｏ−Ｍｏ 。
Ｇｏ−Ｏｒ−Ｎｂ等の垂直磁化膜を電子ビーム蒸着法に
て形成する場合でも、配向性の改善、均一性の確保によ
シ、同じく短波長ディジタル記録でのＣ／Ｎ 改善がは
かれることが確認された。
て形成する場合でも、配向性の改善、均一性の確保によ
シ、同じく短波長ディジタル記録でのＣ／Ｎ 改善がは
かれることが確認された。
発明の効果
以上のように本発明によれば、短波長記録性能に漫れ、
且つ均一性も良好な磁気記録媒体が製造できるといっだ
すぐれた効果がある。
且つ均一性も良好な磁気記録媒体が製造できるといっだ
すぐれた効果がある。
第１図は本発明を実施するのに用いた蒸着装置の要部構
成図、第２図は電子ビーム入射角とＣ／Ｎの関係を示す
特性図である。 １・・・・・高分子フィルム、４゛・・・・円筒キャン
、５・・・・・耐火物容器、６・・・・・・蒸着材料、
８・・・・・電子ビーム。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名派
成図、第２図は電子ビーム入射角とＣ／Ｎの関係を示す
特性図である。 １・・・・・高分子フィルム、４゛・・・・円筒キャン
、５・・・・・耐火物容器、６・・・・・・蒸着材料、
８・・・・・電子ビーム。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名派
Claims (1)
- 耐火物容器内の強磁性金属材料の加熱を行う電子ビーム
の入射角を４５度以上とし、前記強磁性金属材料を蒸発
させて得た蒸気流の一部で強磁性金属薄膜を形成するこ
とを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62276133A JPH01118219A (ja) | 1987-10-30 | 1987-10-30 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62276133A JPH01118219A (ja) | 1987-10-30 | 1987-10-30 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01118219A true JPH01118219A (ja) | 1989-05-10 |
Family
ID=17565245
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62276133A Pending JPH01118219A (ja) | 1987-10-30 | 1987-10-30 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01118219A (ja) |
-
1987
- 1987-10-30 JP JP62276133A patent/JPH01118219A/ja active Pending
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