JPS63282925A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法Info
- Publication number
- JPS63282925A JPS63282925A JP62119431A JP11943187A JPS63282925A JP S63282925 A JPS63282925 A JP S63282925A JP 62119431 A JP62119431 A JP 62119431A JP 11943187 A JP11943187 A JP 11943187A JP S63282925 A JPS63282925 A JP S63282925A
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- Japan
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- magnetic recording
- recording medium
- ferromagnetic metals
- thin film
- polymeric film
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- Pending
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- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は高密度磁気記録に適する磁気記録媒体の製造方
法に関するものである。
法に関するものである。
従来の技術
強磁性金属薄膜を磁気記録層とする磁気記録媒体は、短
波長出力が大きいことから、今後の高密度化の進展には
不可欠である〔外国論文誌：アイイーイーイー トラン
ザクションズ オン マグネテ、（り、ｚ、 （ＩＥＥ
Ｅ ＴＲＡＮＳＡＣＴＩＯＮＳ ＯＮＭＡＧＮＥＴ Ｉ
Ｃ３） ｖｏ ７１−ＭＡＧ−２１、ｐ、 ｐ、 １
２１７〜２ へ−／ １２２０（１９８５）参照〕と位置づけされ実用化が強
く望まれている。
波長出力が大きいことから、今後の高密度化の進展には
不可欠である〔外国論文誌：アイイーイーイー トラン
ザクションズ オン マグネテ、（り、ｚ、 （ＩＥＥ
Ｅ ＴＲＡＮＳＡＣＴＩＯＮＳ ＯＮＭＡＧＮＥＴ Ｉ
Ｃ３） ｖｏ ７１−ＭＡＧ−２１、ｐ、 ｐ、 １
２１７〜２ へ−／ １２２０（１９８５）参照〕と位置づけされ実用化が強
く望まれている。
一般に、かかる構成の磁気記録媒体は、高分子フィルム
を円筒キャンに沿わせて巻き取りながら、スパッタリン
グ法、電界蒸着法、イオンブレーティング法、電子ビー
ム蒸着法などで、強磁性金属薄膜を磁気記録層として形
成することで製造される〔特開昭５３−４２０１０号公
報、電子通信学会、磁気記録研究会資料ＭＲ８１−２、
特開昭５１−１８６４７５号公報等参照〕。なかでも、
生産性の面から電子ビーム蒸着法が優れており、Ｃｏ−
Ｎｉの斜め蒸着やＣｏ−Ｃｒ垂直蒸着等が検討されてい
る。
を円筒キャンに沿わせて巻き取りながら、スパッタリン
グ法、電界蒸着法、イオンブレーティング法、電子ビー
ム蒸着法などで、強磁性金属薄膜を磁気記録層として形
成することで製造される〔特開昭５３−４２０１０号公
報、電子通信学会、磁気記録研究会資料ＭＲ８１−２、
特開昭５１−１８６４７５号公報等参照〕。なかでも、
生産性の面から電子ビーム蒸着法が優れており、Ｃｏ−
Ｎｉの斜め蒸着やＣｏ−Ｃｒ垂直蒸着等が検討されてい
る。
第２図は、従来から用いられている蒸着装置の一例の構
成を示したもので、第２図において、１は高分子フィル
ム、２は回転支持体、３は送り出し軸、４は巻取り軸、
５は蒸発源、６は加速電子ビーム、了は蒸気流の入射角
を限定するためのマスク、８は最小入射角θを示し、９
はガス導入ポート、１０は真空槽、１１は真空排気系で
ある。
成を示したもので、第２図において、１は高分子フィル
ム、２は回転支持体、３は送り出し軸、４は巻取り軸、
５は蒸発源、６は加速電子ビーム、了は蒸気流の入射角
を限定するためのマスク、８は最小入射角θを示し、９
はガス導入ポート、１０は真空槽、１１は真空排気系で
ある。
３べ−７
第２図の装置で、蒸発させる強磁性金属がＣｏ −Ｎ
ｉ合金の場合については、長尺のテープを製造しても組
成上の変化は無視できるがＣｏ−Ｃｒ合金等のようにそ
れぞれの蒸気圧が大幅に異なる場合、Ｃｒの供給法を工
夫することで改善が試みられている。
ｉ合金の場合については、長尺のテープを製造しても組
成上の変化は無視できるがＣｏ−Ｃｒ合金等のようにそ
れぞれの蒸気圧が大幅に異なる場合、Ｃｒの供給法を工
夫することで改善が試みられている。
発明が解決しようとする問題点
しかしながら上記従来の構成では、三元系合金や、二元
系合金でも磁気特性や耐久性が組成比に大きく左右され
るものについては、長尺テープを再現よく得ることがで
きないことから、蒸発源を二つ用意するいわゆる二元蒸
着法で組成の安定化を更に改善することが行われている
が、磁気特性。
系合金でも磁気特性や耐久性が組成比に大きく左右され
るものについては、長尺テープを再現よく得ることがで
きないことから、蒸発源を二つ用意するいわゆる二元蒸
着法で組成の安定化を更に改善することが行われている
が、磁気特性。
耐久性の面で、単一の蒸発源で短尺のテープを得たとき
の水準に及ばないことから改善が望まれている。
の水準に及ばないことから改善が望まれている。
本発明は上記問題点に鑑み、磁気特性、耐久性に優れた
磁気記録媒体の製造方法を提供することを目的とするも
のである。
磁気記録媒体の製造方法を提供することを目的とするも
のである。
問題点を解決するだめの手段
上記目的を達成するため本発明の磁気記録媒体の製造方
法は、回転支持体に沿って移動する高分子フィルムに向
けて二つの蒸発源より異種の強磁性金属の蒸気流を発生
させて強磁性金属薄膜を形成し、かつ最大蒸気流部分は
高分子フィルム上で一致させるようにしたものである。
法は、回転支持体に沿って移動する高分子フィルムに向
けて二つの蒸発源より異種の強磁性金属の蒸気流を発生
させて強磁性金属薄膜を形成し、かつ最大蒸気流部分は
高分子フィルム上で一致させるようにしたものである。
作 用
上記製造方法により、それぞれ蒸発する強磁性金属の発
生条件を容易に制御でき、最大蒸気流部分が高分子フィ
ルム上で一致することから、形成される強磁性金属薄膜
の厚み方向で、均一組成で構成され、磁気特性そして薄
膜の機械強度特性も均一になり、磁気記録層として好ま
しい特性が得られるものである。
生条件を容易に制御でき、最大蒸気流部分が高分子フィ
ルム上で一致することから、形成される強磁性金属薄膜
の厚み方向で、均一組成で構成され、磁気特性そして薄
膜の機械強度特性も均一になり、磁気記録層として好ま
しい特性が得られるものである。
実施例
以下、図面を参照しながら本発明の一実施例について説
明する。第１図は本発明の製造方法を実施するために用
いた蒸着装置の要部構成図である。
明する。第１図は本発明の製造方法を実施するために用
いた蒸着装置の要部構成図である。
第１図において、１２は回転支持体、１３は蒸発源で二
槽式であり、第１の槽１４と第２の槽１５５へ−７ は隣接し配設され、それぞれ異なる蒸着材料を蒸発させ
るのに用いられる。１６は第１の電子ビーム加熱源、１
７は第２の電子ビーム加熱源、１８゜１９はそれぞれ電
子ビーム軌道を模式的に示したものである。２０．２１
はそれぞれ槽１４．１５から発生する蒸気流の最大蒸気
流を模式的に示したもので、最大蒸気流２０．２１は、
回転支持体１２上を移動する高分子フィルム２２のＰ点
に位置するところで交わる。２３は最小入射角を決める
マスク、２４はガス導入ポート、２５は巻出し軸、２６
は巻取り軸、２７は真空槽、２８は排気系である。
槽式であり、第１の槽１４と第２の槽１５５へ−７ は隣接し配設され、それぞれ異なる蒸着材料を蒸発させ
るのに用いられる。１６は第１の電子ビーム加熱源、１
７は第２の電子ビーム加熱源、１８゜１９はそれぞれ電
子ビーム軌道を模式的に示したものである。２０．２１
はそれぞれ槽１４．１５から発生する蒸気流の最大蒸気
流を模式的に示したもので、最大蒸気流２０．２１は、
回転支持体１２上を移動する高分子フィルム２２のＰ点
に位置するところで交わる。２３は最小入射角を決める
マスク、２４はガス導入ポート、２５は巻出し軸、２６
は巻取り軸、２７は真空槽、２８は排気系である。
直径１ｍの回転支持体１またとえば円筒キャンの真下へ
円筒キャンの端部から３２ｃｍ、そしてその位置から高
分子フィルム２２の移動方向と反対側（図で右側）へ３
２ｃｍ離れた位置に二種の蒸発源１３のうち第１の槽１
４の中心を、また２４ＣｒｒＴの位置に第２の槽１６の
中心を配置させ、２５ ＫＶの電子ビームを偏向磁界に
より調整し、１Ｑ＝３０”の位置で蒸気流がそれぞれ最
大となるようにして６ ベーン 磁気記録媒体を製造した。
円筒キャンの端部から３２ｃｍ、そしてその位置から高
分子フィルム２２の移動方向と反対側（図で右側）へ３
２ｃｍ離れた位置に二種の蒸発源１３のうち第１の槽１
４の中心を、また２４ＣｒｒＴの位置に第２の槽１６の
中心を配置させ、２５ ＫＶの電子ビームを偏向磁界に
より調整し、１Ｑ＝３０”の位置で蒸気流がそれぞれ最
大となるようにして６ ベーン 磁気記録媒体を製造した。
また本発明の実施例に対して比較例として従来好ましい
条件とされていた、被蒸着面に垂直に電子ビーム照射す
る方法によって磁気記録媒体を形成した。
条件とされていた、被蒸着面に垂直に電子ビーム照射す
る方法によって磁気記録媒体を形成した。
上述の条件の下でそれぞれ厚さ１０．６１１ｍのポリエ
チレンテレフタレートフィルム上に直径１ｏＯ人の３１
０２微粒子を１．２ Ｘ １ ｏ９／ｃｒｌの密度で塗
布した上で、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｐｒを酸素中〔酸素分圧７
Ｘ １０ ”’（Ｔｏｒｒ） ］で０．１５７ｚｍ蒸着
した。実施例。
チレンテレフタレートフィルム上に直径１ｏＯ人の３１
０２微粒子を１．２ Ｘ １ ｏ９／ｃｒｌの密度で塗
布した上で、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｐｒを酸素中〔酸素分圧７
Ｘ １０ ”’（Ｔｏｒｒ） ］で０．１５７ｚｍ蒸着
した。実施例。
比較例ともＣｏ−Ｎｉ−Ｐｒのｗｔ比率は７９．５ ：
１９ ： １．５となるようにした。そしてそれぞれ
幅５０ｃｙ＋＋で長さ２６００ｍずつ蒸着して、８ミリ
幅の磁気テープに最終的に加工した。なお、潤滑剤層と
してパーフロロアラキン酸７０人を塗布した。
１９ ： １．５となるようにした。そしてそれぞれ
幅５０ｃｙ＋＋で長さ２６００ｍずつ蒸着して、８ミリ
幅の磁気テープに最終的に加工した。なお、潤滑剤層と
してパーフロロアラキン酸７０人を塗布した。
実施例、比較例ともそれぞれ任意の９０ｍ長を一巻とし
、２５巻のテープについて市販の８ミリビデオ［ＶＸ−
８０１，机下電器製〕を用いて高周波出力特性を測定し
た。実施例においては、テ７ ベーア ープの長手方向の出力レベル差がｏ、７（ｄＢ）以内で
あったのに対して、比較例においては、３．２（ｄＢ）
とばらつきの範囲が大きかった。
、２５巻のテープについて市販の８ミリビデオ［ＶＸ−
８０１，机下電器製〕を用いて高周波出力特性を測定し
た。実施例においては、テ７ ベーア ープの長手方向の出力レベル差がｏ、７（ｄＢ）以内で
あったのに対して、比較例においては、３．２（ｄＢ）
とばらつきの範囲が大きかった。
また任意の１０点について、２０℃、１２％ＲＨ条件下
でステル特性を測定したところ、出力が３ （ｄＢ）低
下する時間は、実施例が３１〜３４分であったのに対し
て比較例は２分〜１４分とその差がはっきりと見られた
。
でステル特性を測定したところ、出力が３ （ｄＢ）低
下する時間は、実施例が３１〜３４分であったのに対し
て比較例は２分〜１４分とその差がはっきりと見られた
。
以上のように本実施例によれば優れた高周波出力特性と
メチル特性を均一に得ることができるのである。
メチル特性を均一に得ることができるのである。
なお上記実施例では、高分子フィルムをポリエチレンテ
レフタレートとしたが、他にポリフェニレンサルファイ
ド、ポリエチレンナフタレート。
レフタレートとしたが、他にポリフェニレンサルファイ
ド、ポリエチレンナフタレート。
ポリイミド等でもよい。
壕だ強磁性金属薄膜は、垂直磁化膜、斜め蒸着膜のいず
れでもよ（、Ｇｏ−Ｃｒ 、Ｃｏ−Ｔｉ 、Ｃｏ−Ｗ。
れでもよ（、Ｇｏ−Ｃｒ 、Ｃｏ−Ｔｉ 、Ｃｏ−Ｗ。
Ｃｏ −Ｍｏ 、Ｃｏ−Ｎ１−Ｂ、Ｃｏ−Ｎ１−Ｐ、Ｃ
ｏ−Ｎｉ−Ｌａ。
ｏ−Ｎｉ−Ｌａ。
Ｃｏ −Ｃｒ −Ｎｂ 、 Ｃｏ −Ｃｒ −Ｒｕ等及
びそれらの部分酸化膜等が用いられる。
びそれらの部分酸化膜等が用いられる。
発明の効果
本発明によれば、二つの蒸発源から強磁性金属を蒸発さ
せて、その最大蒸気流を高分子フィルム上で一致させる
こととしたために、それぞれの蒸気流の調整が容易に行
われ、組成比を安定に保ち、耐久性と磁気特性が均一な
磁気記録媒体を量産できるといったすぐれた実用効果を
奏するものである。
せて、その最大蒸気流を高分子フィルム上で一致させる
こととしたために、それぞれの蒸気流の調整が容易に行
われ、組成比を安定に保ち、耐久性と磁気特性が均一な
磁気記録媒体を量産できるといったすぐれた実用効果を
奏するものである。
第１図は本発明を実施するのに用いた磁気記録媒体の製
造装置の要部構成図、第２図は従来用いている磁気記録
媒体の製造装置の要部構成図である。 １２・・・・・回転支持体、１３・・・・・蒸発源、１
４・・・・・・第１の槽、１５・・・・・第２の槽、２
０，２１・・・・・・最大蒸気流、２２・・・・高分子
フィルム。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名／２
−一一回転曳祷４本 ７３−−一蒸発源 υ２Ｉ−−−最Ｘ焦気う凭 弔１凶 ２２−−−窩祢譚フィ〕レム
造装置の要部構成図、第２図は従来用いている磁気記録
媒体の製造装置の要部構成図である。 １２・・・・・回転支持体、１３・・・・・蒸発源、１
４・・・・・・第１の槽、１５・・・・・第２の槽、２
０，２１・・・・・・最大蒸気流、２２・・・・高分子
フィルム。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名／２
−一一回転曳祷４本 ７３−−一蒸発源 υ２Ｉ−−−最Ｘ焦気う凭 弔１凶 ２２−−−窩祢譚フィ〕レム
Claims (1)
- 回転支持体に沿って移動する高分子フィルムに向けて二
つの蒸発源より異種の強磁性金属の蒸気流を発生させて
強磁性金属薄膜を形成し、かつ最大蒸気流部分は高分子
フィルム上で一致させることを特徴とする磁気記録媒体
の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62119431A JPS63282925A (ja) | 1987-05-15 | 1987-05-15 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62119431A JPS63282925A (ja) | 1987-05-15 | 1987-05-15 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63282925A true JPS63282925A (ja) | 1988-11-18 |
Family
ID=14761263
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62119431A Pending JPS63282925A (ja) | 1987-05-15 | 1987-05-15 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63282925A (ja) |
-
1987
- 1987-05-15 JP JP62119431A patent/JPS63282925A/ja active Pending
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