JPH0467433A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は磁気記録媒体の製造方法に関する。

［従来の技術］ 従来から一般に普及している磁気記録媒体は、針状の磁
性粉と高分子結合剤とを主体とする磁性塗料を非磁性基
体上に塗布して磁性層を形成した塗布型の磁気記録媒体
である。

現在、磁気記録ｔｌｔ生装置はますます高密度化の傾向
にあり、短波長記録特性に優れた磁気記録媒体か要望さ
れている。

しかし、塗布型磁気記録媒体における短波長記録特性の
改善には限界がある。これに対して、Ｃｏ、ＣｏＮｉ、
ＣｏＮ１Ｐ、ＣｏＣｒなどのＣｏを主成分とする強磁性
体を真空蒸着法によって非磁性基体−Ｌに形成する金属
薄膜型の磁気記録媒体は、その磁性層中に非磁性の結合
剤が混入されていないので著しく高い残留磁束密度を得
ることができ、かつ、磁性層を極めて薄く形成するこ七
ができるために、高出力で短波長応答性に優れていると
いう利点を有する。この特徴により、最近は薄膜型磁気
記録媒体が磁気媒体の主流となりつつある。

薄膜型磁気記録媒体は磁気記録密度が大きく、優れた短
波長記録特性を有する反面、ｃｏが比較的腐食され易く
、しかも、磁性層が露出しているために−・１食性か悪
く、磁気的に劣化しやすいという欠【への他、走行性か
劣るという欠点を自しており、これか天川１・１人きな
問題点となっている。

この問題点を解決するために例えば、ＣＯを蒸ｉｆする
際、Ｃｏ蒸気に酸素カスを吹付け、ＣＯ柱状粒子粒子面
にＣｏの酸化物の被膜を形成することか提案されている
。このＣｏ酸化物被膜の存在により、Ｃｏ＠性薄膜の耐
食性および耐摩耗性か向上される。

口発明が解決しようとする課題］ 場産ペースで優れた蒸着原反を得るためには、酸素の濃
度と分布の適正比、および特性のバラツキをなくすこと
（すなわち、酸素濃度分布の均化）か必要条件である。

ところで通常酸素ガスの導入は［［］方向に並んた微小
孔（ノズル）から０２カスを蒸着面に吹き当てることで
行っており、濃度分布の均一化の観点からは、−１−記
微小孔ビ、チは小さいはとよい。一方、特性向上のため
に酸素メコ度と分布のＪ　ｉＪ−化を図るという観点か
らは、その他の蒸着条件の適正化か７堺となる。

この、その他の蒸着条件の中には例えば０２吹１）シ孔
と蒸着ドラムとの最短距離（ｃ−）かあるか、孔ヒノ壬
を変える場合、この最短距離も変えない上、１特性の均
一膜か１すられない。

これらの蒸？を条件を全て適正化するためには何らかの
指針か必要であるか、これ迄は見当たらなかった。

従って、本発明の目的は、蒸着条件を適性化し、優れた
磁気特性を自する磁気記録媒体の製造方法を提供するこ
とである。

口課題を解決するための手段］ 前記目的を達成するために、本発明では、コバルトを主
成分として酸素を吹きこみながら、斜め入射蒸着法によ
り強磁性金属薄膜を回転するドラムにて連続的に形成す
ることからなる磁気記録媒体の製造方法において、酸素
吹き込み微細孔ビ。

千をＡ　ｃｍ、微細孔と蒸着ドラムとの距離をＢ。□、
中位時間中位中あたりの酸素吹き込み団をＣ（ｃｃ／ｓ
ｅｃ−ｃｍ）　、１に板送り速さをＤ　（ｃ−／５ｅｃ
）としたときに、Ｂ−Ｃ／Ａ＠Ｉ）（７）値か０．０４
−０．１の範囲内であることを特徴とする磁気記録媒体
の製造ノコ法を提供する。

［作用コ 電磁変換特性の向トおよび特性の均一化を実現するため
には、酸素導入にの「１］力向での均一化の他に、機械
的な対摺動強度を確保し、必要な磁気特性を得るために
、磁性粒ｒの最表面はＣＯ０とし、内部は、Ｃｏメタル
Ｌ体とする分布を形成する必要かある。第１図に示すよ
うに、酸素富化表面層からの延長線と横軸との交点をＰ
１磁性膜厚をＯＥ、表面酸素７７４度をＭ（ａｔ％）と
すると、０Ｐ１０Ｅ＝０．０８〜０．１３であり、５０
≦Ｍの条件を満たす時か特に好ましい分布状態である。

これを実現する為の具体的な蒸着条件としては、ノズル
微細孔ピッチをＡ１孔と蒸着ドラムとの最短距離をＢ１
弔位時間単位巾あたりの酸素吹き込み量を０１基板送り
速さをＤとしたときに、Ｂ・Ｃ／Ａ＠Ｄの値か０．０４
〜０．１の範囲内にあればよいことか発見された。

Ｂ−Ｃ／Ａ・■〕の値か前記範囲外である場合、記の酸
素分布に適合しないために特性か悪いか、酸素メコ度の
不均一性により特性のムラを生ずるという不都合か出て
くる。

本発明の製造方法は、Ｃｏ単体またはＣｏを−１：。

体とする合金類、例えば、ＣｏＮｉ、ＣｏＣｒおよびＣ
ｏＦｅなとの磁性体について実施できる。

“Ｃｏを１：、体とする”七いう用、Ｑは、ＣＯが５０
ａｔ％超であることを意味する。

本発明の製造方法は、前記磁性体を非磁性基体に対して
斜め蒸着する場合に実施できる。蒸着は真空蒸着法によ
ることか好ましい。真空蒸着法とは真空中で強磁性金属
を加熱して蒸発あるいは昇倍させ、その蒸気を非磁性基
体上に付着凝縮させて薄膜を形成させる方法である。

［実施例］ 以下、実施例により本発明を史に詳細に説明する。

失透１ 第２図に示した電子線加熱蒸着装置１により、強磁性金
属材料３として、Ｃｏ−２０ｗｔ％Ｎ　Ｉ　Ｎ基板５と
してＰＥＴフィルム（１０μｍ厚）を用い、ＣｏＮｉ膜
を形成した。この際、酸素ガスを第３図に示すような、
所定のピッチＡで微小な酸素吹き出し用開孔９を何する
クズルアより導入したが、この時の蒸着条件は、Ａ＝０
．５ｃｍ、Ｂ＝ｌ　ｃ＋ｗ、Ｃ：４　Ｑｃｃ／ｎ＋ｉｎ
、ｃｍ、　Ｄ＝　２０　ｍ／ｍｉｎてＢ−Ｃ／Ａ−Ｄ＝
０．０４であった。第２図において、符号１１は防着板
、１３はキャン、１５ま巻出ロール、１７は巻取ロール
、１９は排気ダクトをそれぞれボす。

Ｋ丘九二 蒸着条件を、Ａ”０．５ｃｍ１Ｂ＝０．７ｃｍ１Ｃ”　
４０　ｃｃ／　ｍ：ｎ、ｃｍ、Ｉ）＝　１６ｍ／ｍｉｎ
　、Ｂ　＊　Ｃ／Ａ−Ｄ＝０．０３５とした以外は実施
例１と同一・条件で作成した。

災胤桝１ 蒸着条件を、Ａ＝０．７ｃｍ、Ｂ＝１．０ｃ−１Ｃ＝　
４０ｃｃ／ｍｉｎ、ｃｍ、　ｌ）＝　１８　ｍ／ｍｉｎ
　Ｘ　Ｂ　ＩＩＣ／Ａ−Ｄ＝０．０３１とした以外は実
施例１と同一条件で作成した。

止木ＬＬＬ 蒸着条件を、Ａ”０．５ｃｍ、Ｂ＝２．５ｃｍ、Ｃ＝　
４０　ｃｃ／　ｍｉｎ、ｃｍ、［）＝　１８ｍ／ｍｉｎ
　、　Ｂ　＠Ｃ／Ａ−Ｄ＝０．１１１とした以外は実施
例１と同条件で作成した。

止木ｄ外２− 蒸着条件を、Ａ＝ｌ　００ｍ１Ｂ＝１ｃｍ、Ｃ＝３０ｃ
ｃ／ｍｌｎ、ｃｍｌ　Ｄ＝　１８　ｍ／ｍｉｎ　　１　
Ｂ　　ｅ　Ｃ／　Ａ　＊Ｄ＝０．０１７とした以外は実
施例１と同一・条件で作成した。

前記実施例および比較例で得られた巾２０インチの蒸着
原反を８１巾にスリ、トシ、磁気テープを作製した。こ
れら磁気テープサンプルの巾方向の保磁力分布および電
磁変換特性を常法により測定した。結果を下記の表１に
要約して示す。下記の表１において、ΔＨｃ　ｍａｘは
各サンプルのＨｃｍａｘ−Ｈｅ慣１ｎの値を示す。また
、Ｃ／Ｎ比は中波長記録時の信η電圧／ノイス電圧を対
ＭＰ（メタルテープ）比で示した。

前記の表１に示された結果から明らかなように、本発明
の実施例により作製された磁気テープサンプルは優れた
保磁力分布均一・性と優れた電磁変換特性を小す。

［発明の効果］ 以り説明したように、本発明の製造方法によれば、Ｃｏ
系磁性膜の電磁変換特性をｌｉ＋］トすると共に、磁気
特性の均一化を図ることかてきる。

【図面の簡単な説明】

第１図はＣｏ系磁性膜の深さ方向の酸素濃度分布を示す
特性図であり、第２図は実施例および比較例においてＣ
ｏＮｉ磁性膜を作製するのに使用された真空蒸着装置の
模式図であり、第３図はそのノズル部分の拡大概要斜視
図である。 ■・・・真空蒸着装置、３・・・強磁性金属。 ５・・・基板、７・・・酸素吹き出しノズル。 ９・・・酸素吹き出し開孔、１１・・・防着板。 １３・・・キャン、１５・・・巻出ロール。 １７・・・巻取ロール、１９・・・排気ダクト第 図 磁性膜〉軍さ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）コバルトを主成分として酸素を吹きこみながら、
   斜め入射蒸着法により強磁性金属薄膜を回転するドラム
   にて連続的に形成することからなる磁気記録媒体の製造
   方法において、酸素吹き込み微細孔ピッチをＡｃｍ、微
   細孔と蒸着ドラムとの距離をＢｃｍ、単位時間単位巾あ
   たりの酸素吹き込み量をＣ（ｃｃ／ｓｅｃ・ｃｍ）、基
   板送り速さをＤ（ｃｍ／ｓｅｃ）としたときに、Ｂ・Ｃ
   ／Ａ・Ｄの値が０．０４〜０．１の範囲内であることを
   特徴とする磁気記録媒体の製造方法。