JPH01118892U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01118892U JPH01118892U JP1988011803U JP1180388U JPH01118892U JP H01118892 U JPH01118892 U JP H01118892U JP 1988011803 U JP1988011803 U JP 1988011803U JP 1180388 U JP1180388 U JP 1180388U JP H01118892 U JPH01118892 U JP H01118892U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shape
- lens system
- processing
- objective lens
- laser
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Description
第１図は、この考案に係るレーザ加工装置の一
実施例を示した図、第２図は前記第１図における
集光レンズ系７の近傍を拡大して示した部分拡大
断面図、第３図は本考案の他の実施例を示す図、
第４図は従来例を示す図である。 １……顕微鏡部、１ｂ……対物レンズ、２……
ビーム断面成形器、３……参照光とレーザ光とを
共通の光路に導くための光結合器、４……加工用
レーザ光を射出するレーザ発振部、５……参照光
を発生する光源、６……被加工物、６ａ……加工
箇所、７……集束レンズ系。
実施例を示した図、第２図は前記第１図における
集光レンズ系７の近傍を拡大して示した部分拡大
断面図、第３図は本考案の他の実施例を示す図、
第４図は従来例を示す図である。 １……顕微鏡部、１ｂ……対物レンズ、２……
ビーム断面成形器、３……参照光とレーザ光とを
共通の光路に導くための光結合器、４……加工用
レーザ光を射出するレーザ発振部、５……参照光
を発生する光源、６……被加工物、６ａ……加工
箇所、７……集束レンズ系。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 被加工物の加工箇所を拡大して観察する顕微鏡
の対物レンズ系の光路に、互いに光路を共通にす
る参照光と加工用レーザ光とを導いて前記加工箇
所に集束させるようにし、前記レーザ光による加
工を行う前に前記参照光の加工箇所におけるスポ
ツト形状を前記顕微鏡によつて観察し、前記参照
光とレーザ光との共通光路中に設けられて開口部
を有した遮光手段によつてこれらの光の横断面形
状を前記開口部の形状に成形するビーム断面成形
器によつて前記参照光のスポツト形状を加工予定
形状にすることで、前記加工箇所の前記レーザ光
による加工形状を前記加工予定形状にするように
したレーザ加工装置において、 前記顕微鏡の対物レンズ系と前記ビーム断面成
形器との間に、該ビーム断面成形器の開口部を通
過した光を、前記対物レンズ系の前記被加工物と
反対側に位置する焦点の近傍で一旦集束させて前
記対物レンズ系を通じて最終的に前記被加工物の
加工箇所に集束させるようにした集束レンズ系を
設けたことを特徴とするレーザ加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988011803U JPH0428710Y2 (ja) | 1988-01-30 | 1988-01-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988011803U JPH0428710Y2 (ja) | 1988-01-30 | 1988-01-30 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01118892U true JPH01118892U (ja) | 1989-08-11 |
| JPH0428710Y2 JPH0428710Y2 (ja) | 1992-07-13 |
Family
ID=31220676
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988011803U Expired JPH0428710Y2 (ja) | 1988-01-30 | 1988-01-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0428710Y2 (ja) |
-
1988
- 1988-01-30 JP JP1988011803U patent/JPH0428710Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0428710Y2 (ja) | 1992-07-13 |
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