JPH01119559A - ムライト−アルミナ複合焼結体及びその製造方法 - Google Patents

ムライト−アルミナ複合焼結体及びその製造方法

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JPH01119559A JP62277800A JP27780087A JPH01119559A JP H01119559 A JPH01119559 A JP H01119559A JP 62277800 A JP62277800 A JP 62277800A JP 27780087 A JP27780087 A JP 27780087A JP H01119559 A JPH01119559 A JP H01119559A
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堀 三郎
Ryuichi Kurita
栗田 龍一
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、高強度で耐熱性のムライト−アルミナ複合焼
結体とその製造方法に関するもので、高温および室温で
の強度を必要される各種の炉材や耐熱vI構造材に利用
できる材料を提供するものである。
[従来の技術1 ムライトは、アルミナ(A1203)とシリカ(Si0
2)のモル比が3=2の化合物であり、高温での強度が
高い酸化物セラミックスとして知られ、耐熱耐酸化性の
構造材料として注目されている。
高強度のムライトを得るためには、化学的に調整された
高純度の粉体から出発する必要があるが、これらの高強
度ムライト用の原料粉体は大別して次の2種類に分類さ
れる。
第1のムライト用原料粉体は、高純度のアルミナ、アル
ミニウム塩あるいはベーマイト(水酸化アルミニウム)
とシリコンの化合物あるいはコロイダルシリカから、ア
ルミニウムとシリコンの水酸化物あるいは酸化物が均一
に混合したl、ライトの前駆体を調整し、これらを仮焼
などの方法によってムライト化させたのち粉砕して得ら
れる高純度で微細な結晶質のものである。
fjS2の種類のムライト用原料粉体は、アルミナ(Δ
120i)あるいはその前駆体とシリカ(Si卜)ある
いはその前駆体が複合あるいは均一に混合した粒子であ
って、非晶質相あるいはアルミナの結晶相と非晶質相か
らなり、ムライト結晶相を殆ど含まないものであり、第
1の種類のムライトの1iij駆体としても用いること
のできるものである。
第1の種類の粉体な用いる場合には、焼結中に結晶変化
を生じないのに対し、第2の種類の粉体を用いる場合に
は、焼結中に結晶変化を生じるので、この21IMの粉
体のどちらを用いるかによって焼結挙動あるいは得られ
る微構造は入きく相異する可能性がある。
第1のムライト化した粉体を用いた方法については、ま
ずA1(NOz)iと5i(OC2Hs)4の溶液を噴
霧熱分解処理したのち、さらに仮焼してムライト化し、
粉砕して用いる押輪らの報告(窯業協会誌u[7140
7−408(1985)、子宮srムライトJpp51
−61、内111 ′J6鶴圃、1935)がある。こ
のノj法による常圧焼結のムライト系焼結体の室温曲げ
強度は、組成によってあまり変化せず、1650℃、4
時間焼結の場合で320〜3808Paである。焼結密
度は理論密度の95%程度であり、強度を上げるために
は密度の向上が必要と考えられる。実際ホットプレス法
により焼結した場合には、量論組成(71,8重置%A
l2O3とSiO.0.)で5008Paという高い強
度を達成している。ただし、比較的焼結しにくいへN’
20.過剰の範囲でのホットプレスの報告は行なわれて
いない。
Ismailらは、(J、^m、Ceram、Soc、
 70− (11C−7〜C−8(1987)および特
開昭61−281013号)はベーマイトゾルとコロイ
ダルシリカの混合物を1400℃で仮焼して粉砕してJ
il論組成のムライト質の粉体を得て、これを成形し、
1650℃で焼成して98.9〜99.5%の相対密度
にR密化し、常温での曲げ強度405MPaを達成した
。平台ら(特開昭62−17005号)は、アルミニウ
ム塩とコロイダルシリカから沈澱物を生成させて、これ
を加熱処理してムライト化し、この粉本を1550℃で
焼結することに上り理論密度の99%に緻密化させてい
る。平野ら(特開昭62−56356号)は、けい酸ナ
トリウムとアルミニウム塩から出発して加熱、粉砕によ
って^f20:+/SiO2の重量比65/35〜80
/20の組成のムライト質の粉体を作製し、これを16
00℃、2時間の条件で焼結することにより高強度のム
ライトあるいはムライト−アルミナ複合焼結体を得てい
る。A120./5i02の重量比7272Bのムライ
ト量論組成では、室温曲げ強度43kg/IIz2(4
21Ml’a)、焼結密度99.7%(理論密度:1.
17g7cm2)を達成し、AlzO,/5iOzの重
量比78/22のムライト−アルミナの複合した組成で
は、室温曲げ強度45ky/my2(4418r’a)
であるが、焼結密度トシテは96%(理論密度3,27
y/cz2)にしか達しなかった。
もしムライ)l論組成よりもAl2O3とSiO20.
が多い範囲で高密度が達成されれば、さらに高い強度が
期待されるが、このようにムライト化した粉体を用いた
場合には、高密度化の達成が困難であった。
第2のムライト結晶相を殆ど含まない粉体を用いた方法
については、まずGardnerら(アメリカ特許f5
3857923号、特開昭49−52200号)が、6
^1cl。
+2SiCLの溶液をフレーム熱分解して得た3^12
0゜+2Si02のフンパウンド混合物を成形し、15
00〜1600℃で焼結することにより、理論密度の9
9%以上を達成したとしている。しかし、機械的性質に
ついては報告しておらず、また組成による変化にっても
召人していない。Gan iら(J、MaLer、Sc
i、 +12(1977) 999−1009)は、A
1t8rbとSiCl,の混合蒸気をプラズマ中で酸化
して各種組成の^120−5iO□複合粉体を作製し、
これらの複合粉体の性状、特、に結晶相にって検討して
いるが、これらの粉体の焼結性や焼結して得られるムラ
イトの性質についてはd及していない。Prochaz
ka(アメリカ特許第4418024号及び第4418
025号)は、^120374〜76.5重量%、残り
SiO□の組成で、100〜400z2/yの表面積を
持つ非晶質の混合酸化物を490〜1100℃、好まし
くは500〜700℃で仮焼したのち、1500〜16
75℃の酸素中あるいは減圧下で1次焼結し、さらに1
700〜1850℃で焼結することにより透光性のムラ
イトを作製できることを示している。1次焼結によって
得られる焼結体についてはガスを透過しないとだけで、
密度、微構造、強度に関する記述はなイ、 Debel
yら(J、^w、Ceram、Soc、+68 [3]
 C−76−C−78(1985))は、粒度分布を狭
く調節した平均0.29μ璽の市販アルミナと平均0.
02μ肩のフロイグルシリカのスラリーを別々にイ乍製
しておき、シリカのスラリー中にアルミナのスラリーを
徐々に加えて、アルミナ粒子をシリカで被覆し、遠心分
離によりシリカを被覆したアルミナ粒子を取り出し、成
形、焼結すると従来にない低温でm密化が生じ、140
0℃、1時間で理論密度の98%に緻密化することを示
している。80重量%八へ201.20重猜%SiO,
Iの組成では、1550℃、1時間で100%に緻密化
し、焼結粒径が0.5μR程度のムライトとアルミナか
らなる焼結体ができた。Debe l yらは焼結体の
81械的性質について報告していないが、ムライトの生
成が1490℃から始まるとされており、シリカのガラ
ス相が存在するために焼結は低温で進行するが、粒界に
沿って未反応のシリカのガラス相が残留するために強度
が上がらないと推定される。用戸(特開昭62−469
55号、特開昭62−46956号λは、気相法アルミ
ナとシリカのフルコキシドから出発してゲル化したのち
成形、焼結することにより、理論密度の99%に緻密化
させた焼結体を得ているが、常温強度は280MPaに
すぎながった。
以トの従来技術を総括すると次のようにまとめることが
できる。
ムライト化した粉体から焼結体を作製した場合、ムライ
トの焼結性が低いため、緻密化させることは難しい。特
にl、ライト−ち′1.論組成よりもへ〇20.過剰の
範囲では残留するシリカのガラス相を含まないため緻密
化が難しい。平野ら(vf開昭62−56356号)か
らみて、^120,78重量%、5iOz22重量%程
度の組成のムライト−アルミナの腹合焼結体で粒成長を
あまり生じさせずに緻密化でされば高強度が期待できる
が実現されていなかった。−カムライトを殆ど含まない
粉体がら焼結体を作製した場合、主としてシリカのガラ
ス相の存在のために低温焼結が可能となる。しかしこの
シリカのガラス相とA120iからムライトを生成する
反応は起こI)にくく、特に大きなAl2O,粒子を使
用した場合にはいつまでも反応が完結せず、ガラス相が
多く残存して強度は上がらない。
[発明が解決しようとする問題点1 ムライト系セラミツクスの室温曲げ強度は従来報告され
ている最高の値でも常圧焼結品で45kg/zz’(4
41MPa)程度、加圧焼結品で51ky#z2(50
0MPa)程度である。耐熱構造材料として要求される
のは、単に高温強度だけでなく、加熱、冷却に伴う熱応
力をシ゛えると室温強度ら極めてIR要であり、この室
温強度を上昇させることが重要である。
本発明は、上記の状況に鑑みて、室温強度の高いムライ
ト系セラミックスを提供すべくなされたものである。
1問題点を解決するための手段1 ムライト系セラミックスの室温強度を」−昇させるには
、次のような3つの点を同時に満たせばよいことが判っ
た。
(1)密度゛を極力高く、すなわち気孔率を極力小さく
すること、(2)がラス相をなくすこと、(3)焼結粒
径を小さく均一にすることの3点である。
本発明に係るムライト−アルミナ複合焼結体は、これら
3点を満足するものである。
本願第1の発明は、Al2O,が75〜85重屯%、桿
部がSiO□の組成であり、ムライトとα晶アルミナの
2つの結晶相からなり、ガラス相を含まず、焼結体中の
ムライト粒子の平均粒径とα晶アルミナ粒子の平均粒径
がともに1.0μs以下であり、焼結体断面の観察にお
いて、長軸の艮さが2.5μm以上の粒子が1%以上は
含まれず、気孔率が1%以下であることを特徴とするム
ライト−アルミナ複合焼結体に関するものである。
このような焼結体は、下記のような方法によって製造す
ることができる。
すなわち、本願第2の発明は、Al2O3とSiO20
.が75〜85重景%、製部が5in2の組成で、非晶
質相が65重量%以上90重量%以下であり、1つ1つ
の粒子中にAl2O3と5in2が含まれる粒子からな
る原料粉体を調製し、これを1500℃以上1600℃
以下の温度で焼結することを特徴とするムライト−アル
ミナ複合焼結体の製造方法に関する。
本発明のムライト−アルミナ複合焼結体において、組成
範囲をへ120.75〜85重量%で残部5iOzとす
るのは、Al2O3とSiO20.が75重量%よりも
少ないと未反応のシリカによるガラス相か−・部残存し
、強度低下あるいは不均一な粒成長の原因となり、85
重量%よりら多いと高温強度が者しく低下するからであ
る。常温強度と高温強度の2点からみてAl2O。
の望ましい組成範囲は77〜83曵量%である。
安定状態のムライトはAl2O3とSiO20,7Si
O2のモル比3/′2から若モへ120.が多い範囲ま
でのAl2O3とSiO203が71.8重量%〜74
重量%の組成であるが、僧安定的に74重量%(62,
6モル%)よりも多くAl2O3とSiO20.を含む
ムライトが非晶質から直接結晶化させた場合にみられる
ことが報告されている(たとえば、K、0kada c
t、 al、+J。
MaLer、Sci、LeLLers 5 (1986
) 1315)。本発明においては、焼結体の作製にこ
の現象を初めて積極的に利用したものであり、原料粉体
において非晶質のものが、焼結途中において、^12o
、/SiO□のモル比が安定状態の比率より大きいムラ
イトが生成し、さらに焼結が進むとアルミナを分離しな
がら安定状態のムライトに変化してムライト−アルミナ
複合焼結体が形成される。この焼結途中で生成する安定
状態よりAl2O3とSiO20.の多いムライトにお
ける八N207SiOzのモル比は本発明の実施例では
、2/1〜37′1程度であった。
また、本発明の焼結体は、ムライトとα晶アルミナの2
つの結晶相からなり、ガラス相を含まず、焼結体中のム
ライト粒子の平均粒径、アルミナ粒子の平均粒径のいず
れも1,0μm以下であり、焼結体断面の観察において
、長軸の艮さが2.5μm以上の粒子力’1%以上は含
まれないもので、従来のムライト系焼結体では得られな
かった微細な焼結粒径を有し、且つ気孔率が1%以下で
ある。
このような特性を兼ね備えたムライト−アルミナ複合焼
結体は従来存在しなかったものであり、従来のムライト
系焼結体では達成不可能であった500MPaを越える
室温曲げ強度を有することが判った。
上記ムライト−アルミナ複合焼結体の製造方法において
は、まずX線回折データから求められる非晶質相が65
重量%以上9Q 、Tj 、:+i:%以ドであり、1
つ1つの粒子中にAl2O,と5in2が含まれる粒子
からなる粉体を調製する。
安定状態のムライトよりもAl2O3/S;0□のモル
比が大きいムライト(へf20.75重量%以上)は、
900〜1000℃で生成し、1.000℃位からアル
ミナを分離し始め、1400℃位ではこのアルミナの分
離を完了して安定状態(Al2O3とSiO20.が7
1.8〜74重V%)のノーライトとなり、ムライトと
アルミナから成る焼結体ができる。この分離される際の
アルミナは活性の高い1品、5品、あるいはα晶と考え
られる。
この1000℃位から1400℃位までの温度で存在す
る準安定的にアルミナを過剰に含有するムライト、およ
びこのムライトから分離されるアルミナの焼結性は、八
N20./5iOzのモル比がおよそ37′2のムライ
トや、ムライトとアルミナの混合物よりも良好であり、
残留するシリカのガラス相は殆どなく、若干存在してい
ても1000℃以上でアルミナ含有ムライトから分離す
る活性の高いアルミナと反応してムライトを生成し、ガ
ラス相は容易に消滅する。
このように、ガラス相が存在せず、またアルミナが均一
に細かく分散するために粒成長が抑制され、微細で均一
な分布となる。このため、本発明の焼結体においては、
長軸の艮さが2.5μ肩以上の粒子は1%以上は含まれ
ない。
なお、はじめから存在する1品あるいは5品のアルミナ
やムライトから分離された活性アルミナでシリカとの反
応に消費されないアルミナは、焼結過程でα晶アルミナ
となる。
従って、本発明の製造方法においては、焼結体の原料粉
体として、焼結途中において安定状態のムライトよりも
ALO3/SiLのモル比が大きいムライト相を出現さ
せることの′Cさる粉体を使用することが重要であり、
それには^120.が75〜85重量%、残部が5iO
zの組成で非晶質相が65重量%以上であることが必要
であるが、非晶質相が多すぎると焼結性が良好でもガラ
ス相が残留しやすいので、非晶質相は90重址%以下と
する。それ以外の結晶相としてムライトがあまり多く存
在すると結晶性が低下するので、検出しても10重量%
以下が望ましい、また、α晶アルミナは焼結を阻害し、
ムライト生成反応を阻害するので好ましくなく、できる
だけ検出しないものであることが望ましい。1品または
5品と考えられるアルミナの存在は活性の高い微細なア
ルミナの存在を示すので、むしろ好ましく10重量%以
上存在することが望ましい。
非晶質相が65重量%で、ムライトやα晶アルミナが検
出されない場合、1品または5品のアルミナは最大35
重量%含まれ、従って1品または5品アルミナの望まし
い範囲゛は10〜35重量%である。
また、原料粉体は、1つ1つの粒子中にAl2O3とS
iO20゜とSiO□の2成分が含まれる複合粉体を使
用することによって、^1203とSiO□のそれぞれ
単独成分の混合粉体を使用する場合より焼結性を高めて
いる。
この複合粉体については、平均粒径30−1100n、
比表面積20〜70x2/gであることが望ましい。平
均粒径が30nmより小さいが、比表面積が70x2/
gが大きい粉体は細かすぎて取り扱いが困難であり、不
均一な成形体を生じやすい。また、平均粒径が1.0O
nmより大きいか、比表面積が20肩2/gより小さい
粉体は大きすぎて焼結性に難があり、またムライトの生
成反応が十分進行しない可能性がある。
上記のような複合粉体は、たとえば次のような方法によ
って製造することができる。
原料としては、^Ic1.と5iCi’、を用い、この
混合蒸気あるいは混合蒸気に窒素を加えた混合ガスを酸
素と水素によって形成される燃焼がス中へ吹き込み、高
温気相中での酸化反応によって^120.と5in2か
らなる複合粉体が形成されるときlこ、この反応が生じ
る部分の最高温度を1800℃以上2100℃以下に調
節し、またこの反応後1500℃から900℃まで冷却
される速度を5×103℃/secより速くすることに
より、望ましい粉体を得る。反応が生じる部分の最高温
度を1800℃以上2100℃以下とするのは、180
0℃より低い温度では粉本中に含まれる水分や塩化物が
多くなりすぎて焼結性が低下するためであり、2100
℃より高い温度では、装置の損傷を生じやすく運転が困
難になるからである。1500℃から900℃までの冷
却速度を5X 10’℃/seeより速くするのは、5
X 10’℃/sec以下の速度ではムライト結晶が析
出し、粉体の焼結性が低下するためである。
上記のようにして作製される複合粉体を原料として焼結
体を製造する場合の焼結温度は、1500〜1600℃
とする。1500℃より低い温度では、気化率が1%以
下とならない場合らあり、アルミナのα晶化が完了せず
、また非晶質シリカとアルミナの反応も完結せずガラス
相が残留する。一方1600℃より高い温度では粒成長
が着しくなりすぎるためである。
本発明の焼結体あるい原料粉体の特性を示すデータは以
下のように定義される。
へ/20.−5i02系粉体中の結晶相の定置について
は、Gan iら(J、Mater、Sci、12− 
(1977)999−1009)が示したX線回折によ
る方法とMtfJ、の方法で、たとえば次のようにして
行うことができる。まず、あらかじめ調製した結晶性の
ムライト100%の粉体と^I20./SiO:のモル
比3/2の非晶質の粉体(この非晶質の粉体は例えば金
属アルコキシド混合物の加水分解生成物を900℃に加
熱して得られる)をさまざまな比率に混合し、これらの
混合物100重量部に対して、標準物質としてシリコン
の粉体10重量部を加え、CuKff#iを用いたX線
回折を行い、シリコンの(111)面の回折ピーク、ム
ライトの(121)面の回折ピークの積分強度を用いて
検量線を作成する。同様に結晶性のγ−AN、0.10
0%の粉体とAj’z03/5i02のモル比3/2の
非晶質の粉体をさまざまな比率に混合して、これにシリ
コンを加えてX線回折を行い、シリコンの(111)面
の回折ピーク、γ−八へ20.の(440)而の回折ピ
ークの積分強度を用いて検量線を作成する。
非晶質相、ムライト相、γ−^120.からなる^t’
zOz−SiOz系粉体の試料100重量部に対してシ
リコンの粉体10屯敬部を加え、シリコンの(111)
面の回折ピーク、ムライトの(121)面の回折ビーり
、γ−Δ120.の(440)而の回折ピークの強度か
ら、上記検量線に基づきムライト、γ−^1203の定
量を行う。
ムライトの量があまり多すぎる場合はムライトの回折ピ
ークがγ−^120.の(440)面の回折ピークと重
なってγ−^120コの定量が困難となるが、本発明で
原料として用いる粉体ではムライトの量は10重量%以
下であるので問題ない。また^1203の結晶型がδの
場合、5品は1品の結晶配列がより秩序化した基本的に
は同一の構造とみなすことができ、1品の(440)面
の回折ピークに対応する5品の(440)面と(4,0
,12)而の回折ピークの強度の和を用いて定量するこ
とが可能である。非晶質相の量は、検出された結晶相の
パーセント礒の合計を100から差し引いたものとして
計算できる。なお、八t’20iの1品、5品の区別は
JCP[lSの1’ou+der dil’IracL
ion Fileのデータ、1品はI(1−425,5
品は16−394を用いて打った。
焼結途中に生成するムライト結晶相の格子定数は通常の
X#!回折法により求めることができる。
焼結体を粉砕して粉末状にし、これに標準物質(例えば
シリコン粉末)を加乏てX線回折を行い、8本以上のム
ライトのピークを用い、最小二乗法によるコンピュータ
計算により、格子定数を決定できる。この格子定数から
、Cameron(Ceram、Bull。
陳−(1977)1003)が示したムライト組成と格
子定数の関係を用いて、ムライトの組成を推定でbる。
焼結体の理論密度の計算は次の方法によって行った。平
衡状態では、Al2O3とSiO20.が74重量%の
組成までムライト単相であると考えられ、この^120
.が74重風%のムライトの埋j!i密度は前記のCa
meronのデータを用いて3.154g/cm’と計
算できる。これよりも^C2O,が多い組成のものでは
、74重量%のムライトとα−八へ20.の2相からな
ると考えられ、^ToOs2−有量A重量%(A≧74
)の焼結体の理論密度は、α−A120.の理論密度を
3,987g/cJF’として次のように計算できる。
3.1E4   J、987 相対密度は、焼結体の密度を理論密度で劃っjこもので
、パーセントであられされる。−(孔率は、100から
相N密度(%)を差し引いたものである。
焼結体中の粒子の平均粒径は、焼結体を研摩したのち、
熱エツチングし、これを走査型電子顕微鏡(SEM)で
観察し、例えば切片法(インターセプト法)によって求
めることができる。本発明にかかわる実験では、粒子形
状を球形と近似し、任意の直線が粒子によって切り取ら
れる切片の平均長さの1.5倍を平均粒径とした。
焼結体に残留する非晶質(ガラス)相の有無については
、7ツ酸(HF)に浸漬して調べることができる0本発
明にかかわる実験においては、3xxX3am×l0J
IJ!の試料を2重量%の7ツ酸水溶液中に18時間浸
漬して重量減少を測定し、この減少が0.05%以下で
測定誤差の範囲内であるときにプラス相がないとtIJ
断した。
1作用] 本発明のムライト−アルミナ複合焼結体は、Δr20.
が75〜85重量%、残部が5in2の組成であり、安
定状態のムライトよりもアルミナが過剰の組成であって
且つ非晶質相が65〜90重量%である粉体原料を15
00℃以上1600℃以下の温度で焼結することにより
得られるものである。非晶質相からムライトへ直接結晶
化させることにより、焼結途中において、安定状態のム
ライトよりも^120.が多いムライトの結晶相が出現
し、さらに焼結が進むに従い、Δ1203が分離され安
定状態のムライトとなる過程を経て製造されるために、
アルミナとムライトが微細な粒子として均一に分散した
構造のムライト−アルミナ複合焼結体が得られる。さら
に原料粉体としては1つ1つの粒子中にAl2O3とS
iO20.と5in2が含まれる粒子からなるものを用
いるので焼結性が優れたものとなる。
これらの結果、ガラス相を含まず、ムライト粒子の平均
粒径とα品アルミナ粒子の平均粒径がともに1.0μm
以ドであり、焼結体断面の観察において長軸の艮さが2
.5μ肩以上の粒子が1%以上は含まれず、気孔率が1
%以下である焼結体が形成され、室温曲げ強度の大きい
焼結体が得られる。
1実施例11 本発明の焼結体を製造するための^f20:+−5i0
2系原料粉体を第1図に示すようなプロセスと装置によ
って作製した。
原料としては、無水塩化アルミニウム(^ICMと四塩
化けい索(Si(Jn)を用いtこ。八IC1,は常温
で固体であり、約180℃に昇華点をもつ物質であるか
ら、へ1201粒子などを流動媒体とする流動床タイプ
の蒸発器1を用い、その蒸発器−J−、部2よりAl2
O3とSiOC13を連続的あるいは断続的は供給する
。蒸発器温度は電気炉3を用いて一定に保ち、Al2O
3とSiOC&、の蒸気圧と、流動床下部4より吹き込
まれるAl2O3とSiOC1゜用のキャリアーガスで
ある窒素(N、)の流量によって決まる一定量のへ10
13蒸気を反応装置へ供給した。5iCt’−は常温′
C液体であル(7)r、S’+C14¥)′器5より定
量ポンプ6を用いてフィードされ、イ列んばリボンヒー
ターなどで5i(V’+の沸ツユ以上に保たれた蒸発器
7で蒸発させ、がス導入口8より吹き込まれるSiC/
n用ののキャリアーガスであるN2と混合された。
八Icl、とキャリアーガスN2との混合ガスと、5i
(t’、とキャリアーガスN2との混合ガスは、リボン
ヒーターなどで八(IcI、や5iC4’、の析出ある
いは凝縮が起こらない十分な高温である360℃の温度
に加熱した導管を通って、混合器9で混合されたのち、
反応装置上部の混合部10へ吹き込まれた。
AlC1,は118g/h、 SiCl4は34り/h
、キャリアーガスN2はへ1C1,側に0.48Nz3
/h、 SiCl4側lこ0.12Hz”/bの流量で
あった。
混合部10にはガス導入ロ11より水素(112月、O
Ny’/h%ガス導入ロ12ガス酸素(0□)0.9N
j3/hが水平の火炎を生ずるように吹き込まれた。こ
の混合部10へ垂直下向きに吹き込まれる塩化物を含む
蒸気の吹き込みノズルの外側13にノズル保護用の窒素
を0.1Nz’/l+流した。これらのガスが吹き込ま
れる反応装置混合部10の温度は、熱損失を考慮して1
970℃と計算された。
反応装置の混合部10の出口には絞り部14があり、そ
の下流部分15を高温冷却部と呼Jζが、この部分で混
合ガスおよび生成物は実測温度で1580℃がら850
℃まで比較的急速に冷却された。この部分でのガス滞留
時間は62m5ec(ミリW)と計f′1.された。
冷却速度は1,18X 10’℃/+ainと計算され
た。
高温冷却部の下流部分16で冷却用窒素が吹き込まれ、
混合ガスおよび生成物は急冷され、さらに下流の固気分
離ドラム17においてガスと粉体が分離され、ガスはガ
ス出ロ18から系外に排出された。
また、生成粉体は実験後、分離ドラム底部19がら採取
された。
生成した粉体の粒子構造は、第2図の透過型電子顕微鏡
写真(33000倍)に示すように球形の微粉であり、
この粒度分布は、第3図に示すように、対数正規分布確
率紙にプロットするとほぼ直線を示し、メジアン径は6
1nmであった。また、平均(算術S11均)粒径は6
5nmであった。この粉体の比表面積はIIET法によ
って測定したところ39,6z2/yであった。
この粉体のX線回折図形には、非晶質、ムライト、γ品
Δ120.が検出され、α晶のAl2O3とSiO20
.は検出されなかった。結晶相の定量では、ムライトは
6重量%であり、γ晶へ120.は18重量%であり、
残りの76重量%が非晶質であると計算された。分析結
果では、A1.0,79.5重量%、残りが5in2で
あった。
この粉体に有機物を加えて造粒し、3 ton/ cz
コの圧力でアイソタクチックプレx(CIP)法により
成形し、1600℃、2時間の条件で焼結したところ、
焼結密度3,294y/cz3(相対密度99.8%)
を得た。
すなわち、焼結体の気孔率は0.2%であった。この焼
結体の室温での曲げ強度は、533±28MPa(54
,5±2.9kg/zx2)であった。
焼結体研摩面を熱エツチングして走査型電子顕微1 (
sooo倍)で結晶の粒子構造を観察したところ、第4
図に示すような微構造が観察された。白っぽく見える粒
子がアルミナ、黒っぽく見える粒子がムライトである。
アルミナ、ムライト粒子とも小さくほぼ等方的であり、
断面において長軸が2.5μs以上の粒子は殆ど観察さ
れず、1%より少な(1゜ アルミナとムライトの平均粒径を切片法で求めたところ
、アルミナは0.77μ屑、ムライトは0.86μmで
あり、lμIよりら小さかった。また31×3IzX1
0zzの試料を切り出し、7ツ酸水溶液へ18時間へ浸
漬したが、その重量減少は認められなかった。 一方、
成形した試料を1000℃、2時間焼成後粉砕したてx
i回折によって調べたところ、ムライトの格子定数a0
は0.7617±0.0003旧nであった。
Cameronのデータからみて、このムライト中の^
/20z/SiO2のモル比は約73/27であり、平
衡状態のムライトよりもA1.0.が過剰となっていた
。この格子定数のずれは、1400℃、2時間の焼成品
ではみられなかった。
本実施例の焼結体の強度は、従来ムライトあるいはムラ
イト−アルミナ系の焼結体ではみられない高いものであ
り、常圧焼結であるにもかかわらず、従来知られている
加圧焼結による最ら高い曲げ強度をも凌ぐものである。
本実施例の粉体原料に用いて加圧焼結を行えば、さらに
高密度化または焼結粒径の微細化が可能であり、強度も
より高くなると推定できる。また焼結温度も50〜10
0℃程度低減が可能である。
[実施例2] 実施例1と同じ粉体製造装置を用い、^IC1,のフィ
ード量を多く L、SiCl,のフィードを少なくして
、へ120,82.8重量%、5i0217.2重量%
の組成の粉体を作製した。その他の製造条件は実施例1
と同一であった。
この粉体の結晶相を定量したところ、ムライトは3重量
%以下、7品よりも5品と考えられる^120.が28
重量%それ以外の69〜72重量%が非晶質と考えられ
た。
この粉体を実施例1と同様に成形し、1600℃、4時
間の焼結を行ったところ、99.4%の相対密度(気孔
率0.6%)にIIa密化し、室温曲げ強度は527±
71MPa(53,8±7.2kg/1v2)であった
焼結体中のα晶アルミナの平均粒径は0.92μI、ム
ライトは0.83μsであり、はぼ等方的で微細な粒子
からなっており、断面の長軸が2.5μm以上の粒子は
殆ど観察されず、1%より少ない。また7ツ酸処理によ
る重量減少も認められなかった。1000℃、2時間焼
成した試料中のムライトの格子定数a0は0.7626
±0.0002nmであり、焼結途中でAl2O3とS
iO,0./S+02のモル比が約74:26のムライ
トが出現していると推定できる。
[発明の効!l!:] 本発明のムライト−アルミナ複合焼結体は、従来大きな
問題であったムライトを主成分とする^/i0.−5i
02系の焼結体の室温曲げ強度を大幅に改善したもので
、従来の常圧焼結における最高強度45kg/zz’(
441MI’a)のみならず、従来の加圧焼結における
最高強度51ky#lI2(500MPa)を上まわる
強度を達成した画期的なものである。
また、従来報告されている高強度のムライト系の焼結体
の作製においては、八M’20.と5i02の混合物あ
るいは複合物を高温で仮焼してムライト化し、さらに粉
砕して出発粉体としているが、本発明の製造方法では、
仮焼、粉砕の工程がなく、それだけ簡便で経済的である
【図面の簡単な説明】
第1図は、実施例1で原料粉体を調整するために使用し
たプロセスと装置を示す図である。 第2図は、実施例1における原料粉体の粒子横辺を示す
透過型電子顕微鏡写真(33000倍)である。 第3図は、実施例1における原料粉体の粒度分布を示す
グラフである。 m4図は、実施例1における焼結体断面の結晶の粒子購
造を示す走査型電r・顕微鏡写真(50004さ)であ
る。 第1図 LCL3 ■ Iイ9 第2図 (χ3JOQO,) 第3図 煮径(nml 第4図 (x 5000 ) 手続補正」=(自発) 平成1年1月12日

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)Al_2O_3が75〜85重量%、残部がSi
    O_2の組成であり、ムライトとα晶アルミナの2つの
    結晶相からなり、ガラス相を含まず、焼結体中のムライ
    ト粒子の平均粒径とα晶アルミナ粒子の平均粒径がとも
    に1.0μm以下であり、焼結体断面の観察において、
    長軸の艮さが2.5μm以上の粒子が1%以上は含まれ
    ず、気孔率が1%以下であることを特徴とするムライト
    −アルミナ複合焼結体。
  2. (2)Al_2O_3が75〜85重量%、残部がSi
    O_2の組成で、非晶質相が65重量%以上90重量%
    以下であり、1つ1つの粒子中にAl_2O_3とSi
    O_2が含まれる粒子からなる原料粉体を調製し、これ
    を1500℃以上1600℃以下の温度で焼結すること
    を特徴とするムライト−アルミナ複合焼結体の製造方法
  3. (3)原料粉体が、非晶質相の他にムライトを0〜10
    重量%、γ晶またはδ晶アルミナを10〜35重量%含
    む粒子からなるものである特許請求の範囲第2項記載の
    ムライト−アルミナ複合焼結体の製造方法。
  4. (4)原料粉体として、粒子の平均粒径が30〜100
    nmであり、比表面積が20〜70m^2/gであり、
    形状が球形である粉体を使用する特許請求の範囲第2項
    または第3項記載のムライト−アルミナ複合焼結体の製
    造方法。
  5. (5)原料粉体として、AlCl_3とSiCl_4の
    混合蒸気を燃焼ガス中に吹き込み高温気相中での酸化反
    応によって得られるAl_2O_3とSiO_2からな
    る複合粉体を用いる特許請求の範囲第2項〜第4項のい
    ずれかに記載のムライト−アルミナ複合焼結体の製造方
    法。
  6. (6)高温気相中での酸化反応を最高温度1800℃以
    上2100℃以下の温度に調節した燃焼ガス中で行う特
    許請求の範囲第5項記載のムライト−アルミナ複合焼結
    体の製造方法。
  7. (7)高温気相中の酸化反応後、1500℃から900
    ℃までの温度への冷却を5×10^3℃/secよりも
    速い速度で行う特許請求の範囲第5項または第6項記載
    のムライト−アルミナ複合焼結体の製造方法。
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