JPH01122112A - パターンコイルの製造方法 - Google Patents
パターンコイルの製造方法Info
- Publication number
- JPH01122112A JPH01122112A JP27931287A JP27931287A JPH01122112A JP H01122112 A JPH01122112 A JP H01122112A JP 27931287 A JP27931287 A JP 27931287A JP 27931287 A JP27931287 A JP 27931287A JP H01122112 A JPH01122112 A JP H01122112A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electroless plating
- catalyst
- insulating substrate
- faces
- coil
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Manufacture Of Motors, Generators (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野コ
本発明は、薄く小型で、導体厚が導体間の間隔より大き
く、かつ高い信頼性を有するパターンコイルの製造方法
に関する。
く、かつ高い信頼性を有するパターンコイルの製造方法
に関する。
［従来の技術］
従来、コイルを製造する方法としては、巻き線方式が多
用されてきた。しかしながら、この方法で製造されるコ
イルについては、導体の占有率が低いため、小型化、薄
型化することが困難であり、加えて、組立て精度に問題
があった。そのため、このコイルを使用して製造される
モーターの回転精度を上げるには限界があった。
用されてきた。しかしながら、この方法で製造されるコ
イルについては、導体の占有率が低いため、小型化、薄
型化することが困難であり、加えて、組立て精度に問題
があった。そのため、このコイルを使用して製造される
モーターの回転精度を上げるには限界があった。
また、銅泊を原料とし、フォトエツチング法によって、
パターンコイルを製造する方法も知られている。しかし
、この方法によれば、一般的にコイルの導体間隔はコイ
ルの導体厚の２倍以上となり、導体の占有率が高い鯖密
コイルを製造するには、やはり限界があった。
パターンコイルを製造する方法も知られている。しかし
、この方法によれば、一般的にコイルの導体間隔はコイ
ルの導体厚の２倍以上となり、導体の占有率が高い鯖密
コイルを製造するには、やはり限界があった。
フォトエレクトロフォーミング法を応用した製造法とし
て、絶縁フィルムを用い、その表面を触媒処理した後、
感光性ドライフィルムにより所望の回路を得、しかる後
無電解めっきまたはそれと電気めっき併用により高密度
パターンコイルを得る方法も提案されている（特開昭５
９−２０４２１５号）。
て、絶縁フィルムを用い、その表面を触媒処理した後、
感光性ドライフィルムにより所望の回路を得、しかる後
無電解めっきまたはそれと電気めっき併用により高密度
パターンコイルを得る方法も提案されている（特開昭５
９−２０４２１５号）。
［発明が解決しようとする問題点コ
しかしながら、かかる方法で用いられる絶縁フィルムは
、感光性ドライフィルムを露光する際の紫外線に対して
、遮光性がないため、製造しようとする回路形状が表裏
で異なる場合、両面同時に回路形成ができないか、ある
いはできたとしても非常に品質の点で信頼性に欠けるも
のしか提供できないという欠点、即ち、生産性、高精度
性が著しく低いという欠点があった。
、感光性ドライフィルムを露光する際の紫外線に対して
、遮光性がないため、製造しようとする回路形状が表裏
で異なる場合、両面同時に回路形成ができないか、ある
いはできたとしても非常に品質の点で信頼性に欠けるも
のしか提供できないという欠点、即ち、生産性、高精度
性が著しく低いという欠点があった。
本発明は上記欠点を解決するためになされたものであり
、その目的はフォトエレクトロフォーミング法を利用し
つつも、表裏でパターンが異なる、パターンコイルを、
両面同時露光工程を経て、製造できる方法を提供するこ
とにある。
、その目的はフォトエレクトロフォーミング法を利用し
つつも、表裏でパターンが異なる、パターンコイルを、
両面同時露光工程を経て、製造できる方法を提供するこ
とにある。
［問題点を解決するための手段］
本発明は、紫外線に対して遮光性を有する絶縁基体を用
いて、両面同時露光を可能にし、上記目的を達成したも
のである。即ち、本発明は当該基体の両面に無電解めっ
きのための触媒処理を行う工程と、該両面に感光性樹脂
を被覆後、両面に対して同時パターン露光と、現像とを
実施する工程と、無電解めっきまたは無電解めっきと電
気めっきとの併用によって、導体層を形成する工程とを
有することを特徴とするパターンコイルの製造方法であ
る。
いて、両面同時露光を可能にし、上記目的を達成したも
のである。即ち、本発明は当該基体の両面に無電解めっ
きのための触媒処理を行う工程と、該両面に感光性樹脂
を被覆後、両面に対して同時パターン露光と、現像とを
実施する工程と、無電解めっきまたは無電解めっきと電
気めっきとの併用によって、導体層を形成する工程とを
有することを特徴とするパターンコイルの製造方法であ
る。
以下、本発明の基本的態様を、その工程に沿って詳細に
説明する。
説明する。
まず、紫外線に対して遮光性を有する絶縁基体を用意し
、その両面に無電解めフき用の触媒処理を行う。
、その両面に無電解めフき用の触媒処理を行う。
ここで用いる、紫外線に対して遮光性を有する絶縁基体
として、絶縁性基体内に紫外線遮光性の材料を混入した
ものが代表的なものとして挙げられる。その絶縁性基体
としては、アクリル系、ポリアミド系、ポリエステル系
等の熱可塑性樹脂もしくはフェノール系、エポキシ系、
ポリイミド系等の熱硬化性樹脂等から成るフィルムまた
は板を挙げることができる。
として、絶縁性基体内に紫外線遮光性の材料を混入した
ものが代表的なものとして挙げられる。その絶縁性基体
としては、アクリル系、ポリアミド系、ポリエステル系
等の熱可塑性樹脂もしくはフェノール系、エポキシ系、
ポリイミド系等の熱硬化性樹脂等から成るフィルムまた
は板を挙げることができる。
このような絶縁性基体に混入する紫外線遮光性材料とし
ては、各種の有機、無機顔料や、染料が利用できるが、
紫外線に対する遮光効率、経済性から無機顔料のカーボ
ン黒や亜鉛華、ハンザ黄等が良好である。
ては、各種の有機、無機顔料や、染料が利用できるが、
紫外線に対する遮光効率、経済性から無機顔料のカーボ
ン黒や亜鉛華、ハンザ黄等が良好である。
無電解めっきのための触媒処理の方法は、公知法を利用
すればよい。この触媒処理以前に、絶縁性基体へのめっ
きの密着性を保証するため、適当な処理をするのが望ま
しい。その方法は種々あるが、例えば苛性ソーダ、クロ
ム酸と硫酸との混液もしくは有機溶媒による処理、また
はホーニング処理が挙げられる。
すればよい。この触媒処理以前に、絶縁性基体へのめっ
きの密着性を保証するため、適当な処理をするのが望ま
しい。その方法は種々あるが、例えば苛性ソーダ、クロ
ム酸と硫酸との混液もしくは有機溶媒による処理、また
はホーニング処理が挙げられる。
次に、触媒処理された、紫外線に対して遮光性を有する
絶縁基体の両面に感光性樹脂を被覆し、その後両面に各
々独立なパターン露光を同時に実施する。
絶縁基体の両面に感光性樹脂を被覆し、その後両面に各
々独立なパターン露光を同時に実施する。
感光性樹脂の被覆は、感光性樹脂から成る通常のドライ
フィルムや液状レジスト等を用いれば良く、要求される
回路密度、回路導体厚により、被覆層の厚さを適宜選択
する。
フィルムや液状レジスト等を用いれば良く、要求される
回路密度、回路導体厚により、被覆層の厚さを適宜選択
する。
パターン露光は代表的にはガラスマスクやフィルムマス
クを用いて実施できる。
クを用いて実施できる。
次に、感光性樹脂に応じた液によって、現像した後、無
電解めフきまたは無電解めっきと電気めっきの併用によ
って導体回路を形成する。以上の方法によって、高密度
、高精度なパターンコイルが生産性良く製造できる。
電解めフきまたは無電解めっきと電気めっきの併用によ
って導体回路を形成する。以上の方法によって、高密度
、高精度なパターンコイルが生産性良く製造できる。
［実施例］
以下、本発明を実施例に従って、より具体的に説明する
。
。
実施例１
紫外線に対して遮光性を有する絶縁基体として、カーボ
ンブラックを３重量％混入分散させた厚さ５０ｐのＰＥ
Ｔ（ポリエチレンテレフタレート）フィルムを用意し、
その所定位置にＮｃ旋盤により０．８ｍｍφの孔をあけ
、５０ｇ／ｊの苛性ソーダで６０℃、５分間処理した。
ンブラックを３重量％混入分散させた厚さ５０ｐのＰＥ
Ｔ（ポリエチレンテレフタレート）フィルムを用意し、
その所定位置にＮｃ旋盤により０．８ｍｍφの孔をあけ
、５０ｇ／ｊの苛性ソーダで６０℃、５分間処理した。
次いで、３０ｇ／ｊのＣｒＯ２，１００のｇ／ｆのＨ２
ＳＯ４混液で５０℃、５分間処理した後、無電解メツキ
触媒（商品名Ｈ５−１０１Ｂ日立化成株製）で触媒処理
をし、感光性ドライフィルム（商品名Ｔ１０２０ 、デ
ュポン社製）を用い、２０胛厚の感光層を形成した。
ＳＯ４混液で５０℃、５分間処理した後、無電解メツキ
触媒（商品名Ｈ５−１０１Ｂ日立化成株製）で触媒処理
をし、感光性ドライフィルム（商品名Ｔ１０２０ 、デ
ュポン社製）を用い、２０胛厚の感光層を形成した。
次に、２００ ｍＪ／ ｃｎ＋２の露光量で両面同時露
光後、トリエタン現像を行ない、所望するパターンを得
た。
光後、トリエタン現像を行ない、所望するパターンを得
た。
使用したフィルムにおける紫外線３６５ｎｍの透過量と
入射量は第１図に示した如くであり、露光時、互いに反
対面への影響は認められなった。
入射量は第１図に示した如くであり、露光時、互いに反
対面への影響は認められなった。
次いで、無電解銅を１鱗析出させた後、電気銅めっきに
より２５−の析出を得、シートコイルが形成された。
より２５−の析出を得、シートコイルが形成された。
実施例２
亜鉛華を５重量％混入分散させた、厚さ５０−のＰＥＴ
フィルムを用意し、その所定位置にＮｃ旋盤により０．
８１１１ｍφの孔をあけ、サードブラスト処理により粗
面化した後、実施例１と同様な方法で触媒処理、感光層
形成、露光、現像を行い、所望とするパ°ターンを得た
。
フィルムを用意し、その所定位置にＮｃ旋盤により０．
８１１１ｍφの孔をあけ、サードブラスト処理により粗
面化した後、実施例１と同様な方法で触媒処理、感光層
形成、露光、現像を行い、所望とするパ°ターンを得た
。
使用したフィルムにおける紫外線３８５ｎｍでの透過量
と入射量は第２図の如くであり、露光時、互いに反対面
の影響は認められなかった。以下実施例１と同様にして
パターンコイルを得た。
と入射量は第２図の如くであり、露光時、互いに反対面
の影響は認められなかった。以下実施例１と同様にして
パターンコイルを得た。
［発明の効果］
以上詳細に説明した本発明のパターンコイルの製造方法
によって、表裏のパターンが異なるパターンコイルを生
産性高く、また高密度、高精度に製造できる。
によって、表裏のパターンが異なるパターンコイルを生
産性高く、また高密度、高精度に製造できる。
第１図、第２図はそれぞれ実施例での３６５ｎｍの紫外
線の透過量と入射量とを示す図である。
線の透過量と入射量とを示す図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）紫外線に対して遮光性を有する絶縁基体を用意し、
その両面に無電解めっきのための触媒処理を行う工程と
、 該両面に感光性樹脂を被覆後、両面に対して同時パター
ン露光と、現像とを実施する工程と、無電解めっきまた
は無電解めっきと電気めっきとの併用によって、導体層
を形成する工程とを有することを特徴とするパターンコ
イルの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27931287A JPH01122112A (ja) | 1987-11-06 | 1987-11-06 | パターンコイルの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27931287A JPH01122112A (ja) | 1987-11-06 | 1987-11-06 | パターンコイルの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01122112A true JPH01122112A (ja) | 1989-05-15 |
Family
ID=17609410
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27931287A Pending JPH01122112A (ja) | 1987-11-06 | 1987-11-06 | パターンコイルの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01122112A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0538854U (ja) * | 1991-10-30 | 1993-05-25 | 株式会社トーキン | ピン端子付コイル |
| JPH0553232U (ja) * | 1991-12-18 | 1993-07-13 | 株式会社トーキン | 基板型ノイズフィルタ |
| JPH0553233U (ja) * | 1991-12-18 | 1993-07-13 | 株式会社トーキン | 樹脂箱型ノイズフィルタ |
-
1987
- 1987-11-06 JP JP27931287A patent/JPH01122112A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0538854U (ja) * | 1991-10-30 | 1993-05-25 | 株式会社トーキン | ピン端子付コイル |
| JPH0553232U (ja) * | 1991-12-18 | 1993-07-13 | 株式会社トーキン | 基板型ノイズフィルタ |
| JPH0553233U (ja) * | 1991-12-18 | 1993-07-13 | 株式会社トーキン | 樹脂箱型ノイズフィルタ |
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