JPH01123438A - 超電導配線集積回路 - Google Patents
超電導配線集積回路Info
- Publication number
- JPH01123438A JPH01123438A JP62281695A JP28169587A JPH01123438A JP H01123438 A JPH01123438 A JP H01123438A JP 62281695 A JP62281695 A JP 62281695A JP 28169587 A JP28169587 A JP 28169587A JP H01123438 A JPH01123438 A JP H01123438A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wiring
- superconducting
- integrated circuit
- superconducting wiring
- temperature
- Prior art date
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- Pending
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- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
- Superconductor Devices And Manufacturing Methods Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は超電導材料で形成された配線部を有する超電
導配線集積回路に関するものである。
導配線集積回路に関するものである。
半導体メモリ素子に代表されるような大規模集積回路に
おいては、その集積度が向上すればする程、全体の遅延
に対する配線部での遅延の割合が大きくなってきている
。従って大規模集積回路において、配線部を超電導材料
で形成するということは素子の高速化という点で非常に
有利であると考えられる。即ち、超電導材料は臨界温度
以下では電気抵抗が０Ωになるので、配線部を超電導材
料で形成した素子を臨界温度以下で動作させた場合には
配線部のＣＲ時定数がＯになり、配線遅延は全くなくな
る。
おいては、その集積度が向上すればする程、全体の遅延
に対する配線部での遅延の割合が大きくなってきている
。従って大規模集積回路において、配線部を超電導材料
で形成するということは素子の高速化という点で非常に
有利であると考えられる。即ち、超電導材料は臨界温度
以下では電気抵抗が０Ωになるので、配線部を超電導材
料で形成した素子を臨界温度以下で動作させた場合には
配線部のＣＲ時定数がＯになり、配線遅延は全くなくな
る。
第２図に超電導材料を配線として用いた場合の一例を示
す０図において、１は半導体基板、２は絶縁体、３は超
電導配線、４は超電導配線３とのコンタクトを有する導
電体による配線である。
す０図において、１は半導体基板、２は絶縁体、３は超
電導配線、４は超電導配線３とのコンタクトを有する導
電体による配線である。
一般に集積回路素子の動作中のジュール発熱は局部的で
ある。従ってその素子内の配線の温度分布も一様でない
。従って第２図に示すような一層構造の超電導配線を有
する集積回路の場合も素子温度の上昇とともに配線を形
成する超電導材料は局部的に高温になると考えられる。
ある。従ってその素子内の配線の温度分布も一様でない
。従って第２図に示すような一層構造の超電導配線を有
する集積回路の場合も素子温度の上昇とともに配線を形
成する超電導材料は局部的に高温になると考えられる。
そしてその温度がその超電導材料の臨界温度を超えると
その部分は抵抗体に変わるためにその部分で局部的に信
号遅延が生ずる事になり、素子内で信号間にタイミング
のずれが生じ、誤動作を起こすことになる。
その部分は抵抗体に変わるためにその部分で局部的に信
号遅延が生ずる事になり、素子内で信号間にタイミング
のずれが生じ、誤動作を起こすことになる。
従来の超電導配線集積回路は以上のように構成されてい
るので、動作中、素子自体のジュール発熱により温度が
上昇し、配線を形成する超電導材料が局部的に臨界温度
を超えると、その部分は抵抗体に変わるためにその部分
で局部的に信号遅延が生ずることになり、素子内で信号
間にタイミングのずれが生じ、誤動作を起こす可能性が
あるという問題点があった。
るので、動作中、素子自体のジュール発熱により温度が
上昇し、配線を形成する超電導材料が局部的に臨界温度
を超えると、その部分は抵抗体に変わるためにその部分
で局部的に信号遅延が生ずることになり、素子内で信号
間にタイミングのずれが生じ、誤動作を起こす可能性が
あるという問題点があった。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、素子の動作中そのジュール発熱により素子温
度が上昇しても配線部を形成する超電導材料は臨界温度
を超えないような超電導配線集積回路を提供することを
目的とする。
たもので、素子の動作中そのジュール発熱により素子温
度が上昇しても配線部を形成する超電導材料は臨界温度
を超えないような超電導配線集積回路を提供することを
目的とする。
この発明に係る超電導配線集積回路は、その超電導配線
を超電導材料からなる配線と金属のような熱伝導の良い
物質との２Ｎ構造配線にしたものである。
を超電導材料からなる配線と金属のような熱伝導の良い
物質との２Ｎ構造配線にしたものである。
この発明における超電導配線集積回路は、その超電導配
線を超電導材料からなる配線と例えば金属のような熱伝
導の良い物質との２Ｎ構造にしたので、配線を形成する
超電導材料の温度が局部的にも臨界温度を超えるという
ことがなくなり、素子内に信号間のタイミングのずれが
なくなり、誤動作を防ぐことができる。
線を超電導材料からなる配線と例えば金属のような熱伝
導の良い物質との２Ｎ構造にしたので、配線を形成する
超電導材料の温度が局部的にも臨界温度を超えるという
ことがなくなり、素子内に信号間のタイミングのずれが
なくなり、誤動作を防ぐことができる。
以下、本発明の一実施例を図について説明する。
第１図は本発明の一実施例による超電導配線集積回路を
示す図である。図において、１は半導体基板、２は絶縁
体、３０は超電導配線部３と熱伝導の良い材料５との２
層構造により構成した超電導配線、４は超電導配線部３
とのコンタクトを有する感電体による配線である。
示す図である。図において、１は半導体基板、２は絶縁
体、３０は超電導配線部３と熱伝導の良い材料５との２
層構造により構成した超電導配線、４は超電導配線部３
とのコンタクトを有する感電体による配線である。
本実施例では超電導配線３０を超電導配線部３と良熱伝
導体５との２Ｎ構造にしたので、この良熱伝導体５が超
電導配線部３の温度分布を均一に保ち、素子の動作中、
素子のジュール発熱により素子温度が上昇しても超電導
配線部の温度分布をより均一に保つことが出来、超電導
配線の一部が局部的に非常に高温になるという現象を避
けることができる。そのため、配線を形成する超電導材
料の温度が局部的にも臨界温度を超えるということがな
くなり、素子内に信号間のタイミングのずれがなくなり
、誤動作を防ぐことができる。
導体５との２Ｎ構造にしたので、この良熱伝導体５が超
電導配線部３の温度分布を均一に保ち、素子の動作中、
素子のジュール発熱により素子温度が上昇しても超電導
配線部の温度分布をより均一に保つことが出来、超電導
配線の一部が局部的に非常に高温になるという現象を避
けることができる。そのため、配線を形成する超電導材
料の温度が局部的にも臨界温度を超えるということがな
くなり、素子内に信号間のタイミングのずれがなくなり
、誤動作を防ぐことができる。
以上のようにこの発明に係る超電導配線集積回路によれ
ば、超電導配線を超電導材料からなる配線と例えば金属
のような熱伝導の良い材料との２層構造にしたので、超
′：ｊｉ導配線部の温度分布を均一に保たせることが出
来、それゆえに超電導配線部の温度が局部的にも臨界温
度を超えることを避けることができ、超電導配線部の一
部が局部的に抵抗体に変わることに起因する信号間のタ
イミングのずれによる誤動作を防止できる効果がある。
ば、超電導配線を超電導材料からなる配線と例えば金属
のような熱伝導の良い材料との２層構造にしたので、超
′：ｊｉ導配線部の温度分布を均一に保たせることが出
来、それゆえに超電導配線部の温度が局部的にも臨界温
度を超えることを避けることができ、超電導配線部の一
部が局部的に抵抗体に変わることに起因する信号間のタ
イミングのずれによる誤動作を防止できる効果がある。
第１図は本発明の一実施例の超電導配線集積回路図、第
２図は従来の超電導配線集積回路図である−６ １は半導体基板、２は絶縁体、３は超電導配線部、４は
導電体配線、５は熱伝導の良い物質、３０は超電導配線
である。 なお図中同一符号は同−又は相当部分を示す。
２図は従来の超電導配線集積回路図である−６ １は半導体基板、２は絶縁体、３は超電導配線部、４は
導電体配線、５は熱伝導の良い物質、３０は超電導配線
である。 なお図中同一符号は同−又は相当部分を示す。
Claims (1)
- （１）超電導材料で形成された配線を有する集積回路に
おいて、 上記超電導配線を超電導材料からなる配線と熱伝導の良
い物質との２層構造配線にしたことを特徴とする超電導
配線集積回路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62281695A JPH01123438A (ja) | 1987-11-07 | 1987-11-07 | 超電導配線集積回路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62281695A JPH01123438A (ja) | 1987-11-07 | 1987-11-07 | 超電導配線集積回路 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01123438A true JPH01123438A (ja) | 1989-05-16 |
Family
ID=17642693
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62281695A Pending JPH01123438A (ja) | 1987-11-07 | 1987-11-07 | 超電導配線集積回路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01123438A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008301568A (ja) * | 2007-05-29 | 2008-12-11 | Mitsubishi Electric Corp | かご形回転子、誘導電動機及びかご形回転子の製造方法 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60154613A (ja) * | 1984-01-25 | 1985-08-14 | Hitachi Ltd | 極低温用半導体装置 |
| JPS6413743A (en) * | 1987-07-08 | 1989-01-18 | Hitachi Ltd | Superconductive wiring structure |
| JPS6427244A (en) * | 1987-04-08 | 1989-01-30 | Hitachi Ltd | Wiring construction of integrated circuit |
| JPH01120845A (ja) * | 1987-11-04 | 1989-05-12 | Seiko Epson Corp | 超電導配線 |
-
1987
- 1987-11-07 JP JP62281695A patent/JPH01123438A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60154613A (ja) * | 1984-01-25 | 1985-08-14 | Hitachi Ltd | 極低温用半導体装置 |
| JPS6427244A (en) * | 1987-04-08 | 1989-01-30 | Hitachi Ltd | Wiring construction of integrated circuit |
| JPS6413743A (en) * | 1987-07-08 | 1989-01-18 | Hitachi Ltd | Superconductive wiring structure |
| JPH01120845A (ja) * | 1987-11-04 | 1989-05-12 | Seiko Epson Corp | 超電導配線 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008301568A (ja) * | 2007-05-29 | 2008-12-11 | Mitsubishi Electric Corp | かご形回転子、誘導電動機及びかご形回転子の製造方法 |
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