JPH01127233U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01127233U JPH01127233U JP2348488U JP2348488U JPH01127233U JP H01127233 U JPH01127233 U JP H01127233U JP 2348488 U JP2348488 U JP 2348488U JP 2348488 U JP2348488 U JP 2348488U JP H01127233 U JPH01127233 U JP H01127233U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shaped
- ring
- barrel
- susceptor
- support
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 5
- 241000239290 Araneae Species 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
Description
第１図はバレル型サセプターの一例であつて、
半導体ウエハー保持部を２７個有するバレル型サ
セプターの側面説明図、第３図は該バレル型サセ
プターを支持するスパイダー支持基板の一例の側
面説明図、第４図は該スパイダー支持基板の上面
説明図である。第２図は本考案のバレル型サセプ
ターの支持機構に用いるリング状支持板の一例に
ついてその側面説明図を、第５図は該リング状支
持板の上面説明図を示したものである。第６図は
本考案のバレル型サセプターの支持機構の一例で
あつて、第１図に示したバレル型サセプターを第
２図及び第５図に示したリング状支持板を介して
第３図及び第４図に示したスパイダー支持基板で
支持する支持機構について、その側面説明図を示
したものである。第７図は本考案のバレル型サセ
プターの支持機構の他の一例であつて、リング状
支持板を２枚用いる支持機構についてその側面説
明図を示したものである。第８図は第７図に示し
たバレル型サセプターの支持機構中、スパイダー
支持基板と２枚のリング状支持板のみについて鉛
直上方から見た上面説明図を示したものである。 １……半導体ウエハー保持部、２……切欠部、
３……突起、４……腕。
半導体ウエハー保持部を２７個有するバレル型サ
セプターの側面説明図、第３図は該バレル型サセ
プターを支持するスパイダー支持基板の一例の側
面説明図、第４図は該スパイダー支持基板の上面
説明図である。第２図は本考案のバレル型サセプ
ターの支持機構に用いるリング状支持板の一例に
ついてその側面説明図を、第５図は該リング状支
持板の上面説明図を示したものである。第６図は
本考案のバレル型サセプターの支持機構の一例で
あつて、第１図に示したバレル型サセプターを第
２図及び第５図に示したリング状支持板を介して
第３図及び第４図に示したスパイダー支持基板で
支持する支持機構について、その側面説明図を示
したものである。第７図は本考案のバレル型サセ
プターの支持機構の他の一例であつて、リング状
支持板を２枚用いる支持機構についてその側面説
明図を示したものである。第８図は第７図に示し
たバレル型サセプターの支持機構中、スパイダー
支持基板と２枚のリング状支持板のみについて鉛
直上方から見た上面説明図を示したものである。 １……半導体ウエハー保持部、２……切欠部、
３……突起、４……腕。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) バレル型サセプターをその底部において支
持する機構において、該サセプターと該サセプタ
ーの支持基板との間に１又は２以上のリング状支
持板を介在せしめたことを特徴とするバレル型サ
セプターの支持機構。 (2) 前記リング状支持板として直径の異なる２
以上のリング状支持板を用い、且つ該２以上のリ
ング状支持板を、下から上に向かつて順次直径が
大きくなる様に積重ねたことを特徴とする実用新
案登録請求の範囲第１項記載のバレル型サセプタ
ーの支持機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2348488U JPH01127233U (ja) | 1988-02-24 | 1988-02-24 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2348488U JPH01127233U (ja) | 1988-02-24 | 1988-02-24 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01127233U true JPH01127233U (ja) | 1989-08-31 |
Family
ID=31242515
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2348488U Pending JPH01127233U (ja) | 1988-02-24 | 1988-02-24 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01127233U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5847500B2 (ja) * | 1976-10-29 | 1983-10-22 | アイシン精機株式会社 | 手編機の電磁式選針装置 |
-
1988
- 1988-02-24 JP JP2348488U patent/JPH01127233U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5847500B2 (ja) * | 1976-10-29 | 1983-10-22 | アイシン精機株式会社 | 手編機の電磁式選針装置 |
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