JPH01127236U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01127236U JPH01127236U JP2367088U JP2367088U JPH01127236U JP H01127236 U JPH01127236 U JP H01127236U JP 2367088 U JP2367088 U JP 2367088U JP 2367088 U JP2367088 U JP 2367088U JP H01127236 U JPH01127236 U JP H01127236U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- microwave chamber
- plasma generation
- generation region
- region
- waveguide
- Prior art date
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- Pending
Links
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
Landscapes
- Particle Accelerators (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Description
第１図は本考案装置の模式図、第２図は励磁コ
イルの磁力線分布を示す説明図、第３図は他の実
施例を示す模式図、第４図は電子サイクロトロン
共鳴面の位置の説明図、第５図は従来装置の縦断
面図、第６，７図は他の従来装置の模式図である
。 １…チユーブ、２…励磁コイル、３…マイクロ
波室、４…導波管、５…試料台、６…補助コイル
、Ｓ…試料。
イルの磁力線分布を示す説明図、第３図は他の実
施例を示す模式図、第４図は電子サイクロトロン
共鳴面の位置の説明図、第５図は従来装置の縦断
面図、第６，７図は他の従来装置の模式図である
。 １…チユーブ、２…励磁コイル、３…マイクロ
波室、４…導波管、５…試料台、６…補助コイル
、Ｓ…試料。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 プラズマ生成領域及びこれに連らなる反応領域
を備えたガラス製チユーブと、 前記プラズマ生域領域の外周に配設され、周壁
に導波管を連結したマイクロ波室と、 前記プラズマ生成領域の外周であつて前記マイ
クロ波室に対し反応領域と反対側に配設された励
磁コイルとを具備し、 前記マイクロ波室に対する導波管の連結位置は
マイクロ波室における反応領域側の端部とし、ま
た前記マイクロ波室に囲われた内側に位置するプ
ラズマ生成領域の断面積はマイクロ波室の断面積
の１／３以下に設定したことを特徴とするプラズ
マ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2367088U JPH01127236U (ja) | 1988-02-23 | 1988-02-23 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2367088U JPH01127236U (ja) | 1988-02-23 | 1988-02-23 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01127236U true JPH01127236U (ja) | 1989-08-31 |
Family
ID=31242856
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2367088U Pending JPH01127236U (ja) | 1988-02-23 | 1988-02-23 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01127236U (ja) |
-
1988
- 1988-02-23 JP JP2367088U patent/JPH01127236U/ja active Pending