JPH0377434U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0377434U JPH0377434U JP13804089U JP13804089U JPH0377434U JP H0377434 U JPH0377434 U JP H0377434U JP 13804089 U JP13804089 U JP 13804089U JP 13804089 U JP13804089 U JP 13804089U JP H0377434 U JPH0377434 U JP H0377434U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- generation chamber
- plasma generation
- plasma
- small
- diameter
- Prior art date
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- Granted
Links
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Description
第１図から第３図は、本考案によるＥＣＲプラ
ズマ装置を示すためのもので、第１図は全体構成
を示す断面図、第２図は小径プラズマ生成室を示
す拡大断面図、第３図は第２図の底面図、第４図
はイオン化室径の大小による成膜速度とマイクロ
波パワーの関係を示す特性図、第５図は従来のＥ
ＣＲプラズマ装置を示す断面図である。２……励
磁コイル、５……プラズマ生成室、Ｄ０……第１
内径、Ｄ１……第２内径、１１……試料、１６…
…試料室、２０……小径プラズマ生成室である。
ズマ装置を示すためのもので、第１図は全体構成
を示す断面図、第２図は小径プラズマ生成室を示
す拡大断面図、第３図は第２図の底面図、第４図
はイオン化室径の大小による成膜速度とマイクロ
波パワーの関係を示す特性図、第５図は従来のＥ
ＣＲプラズマ装置を示す断面図である。２……励
磁コイル、５……プラズマ生成室、Ｄ０……第１
内径、Ｄ１……第２内径、１１……試料、１６…
…試料室、２０……小径プラズマ生成室である。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) プラズマ生成室５内に導入したガスにマイ
クロ波による高周波電界と前記プラズマ生成室５
の周囲に配した励磁コイル２により形成される磁
界とを作用させてプラズマを発生させると共に、
前記プラズマを前記磁界により前記プラズマ生成
室５と連通した試料室１６に導出するようにした
ＥＣＲプラズマ装置において、 前記プラズマ生成室５内に設けられ前記プラズ
マ生成室５の第１内径Ｄ０よりも小径の第２内径
Ｄ１を有する小径プラズマ生成室２０を有し、こ
の小径プラズマ生成室２０により、前記プラズマ
生成室５の第１内径Ｄ０を実質的に小さくするよ
うにしたことを特徴とするＥＣＲプラズマ装置。 (2) 前記小径プラズマ生成室２０は、前記プラ
ズマ生成室５に着脱自在に設けられていることを
特徴とする請求項１記載のＥＣＲプラズマ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13804089U JPH0521873Y2 (ja) | 1989-11-30 | 1989-11-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13804089U JPH0521873Y2 (ja) | 1989-11-30 | 1989-11-30 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0377434U true JPH0377434U (ja) | 1991-08-05 |
| JPH0521873Y2 JPH0521873Y2 (ja) | 1993-06-04 |
Family
ID=31685170
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13804089U Expired - Lifetime JPH0521873Y2 (ja) | 1989-11-30 | 1989-11-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0521873Y2 (ja) |
-
1989
- 1989-11-30 JP JP13804089U patent/JPH0521873Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0521873Y2 (ja) | 1993-06-04 |