JPH0274750U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案による実施例を示すプラズマ室
部分を縦断した概略図、第２図イ並びにロは遮蔽
誘電体の構成を説明するための図、第３図は従来
公知のプラズマ室部分を縦断した概略図である。 １……プラズマ室、１′……プラズマ室壁の１
部をなす天板、２……マイクロ波導入口、３，３
′……閉塞誘電体、４……導波管、５……コイル
、６……引出電極、７……処理室、１０……遮蔽
誘電体、１０′……遮蔽誘電体片、１１……くぼ
み、１２……フランジ、１３……回転軸、１４…
…支持枠。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. マイクロ波導入口が設けられたプラズマ室壁と
   、前記マイクロ波導入口を気密に閉塞する閉塞誘
   電体との間に、遮蔽誘電体が摺動自在に介挿され
   たものであつて、前記遮蔽誘電体板は、前記マイ
   クロ波導入口より偏心した位置にその中央部を有
   し、この中央部を軸心として、真空中で回動自在
   に、前記プラズマ室壁に気密に固着されたフラン
   ジ板によつて固定されてなるマイクロ波イオン源
   。