JPH01127237U - - Google Patents

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JPH01127237U
JPH01127237U JP2445388U JP2445388U JPH01127237U JP H01127237 U JPH01127237 U JP H01127237U JP 2445388 U JP2445388 U JP 2445388U JP 2445388 U JP2445388 U JP 2445388U JP H01127237 U JPH01127237 U JP H01127237U
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disc
conductive
electrode
wires
electrode plate
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図ａ，ｂはそれぞれ本考案電極の一実施例
の構成を示す簡略斜視図及びその簡略断面図、第
２図ａ，ｂはそれぞれ従来電極の一例の構成を示
す簡略斜視図及びその横断面図、第３図ａ，ｂは
それぞれ従来電極の他例の構成を示す斜視図及び
その平面図である。 １，１ａ，１ｂ……円板型電極板、２……保持
治具、３ａ，３ｂ……電極線、４ａ，４ｂ……導
電クリツプ、５ａ，５ｂ……導線、６ａ，６ｂ…
…絶縁管。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 保持治具２の内側には複数枚の円板型電極
    板１を平行に保持し、これらの円板型電極板１を
    交互に電極線３ａ，３ｂで接続してなる縦型プラ
    ズマＣＶＤ用電極。 (2) 電極線３ａ，３ｂは複数枚の円板型電極板
    １のうち、一方の１枚おきの円板型電極板１ａ及
    び他方の１枚おきの円板型電極板１ｂにそれぞれ
    接する導電クリツプ４ａ，４ｂと、一方の導電ク
    リツプ４ａ間及び他方の導電クリツプ４ｂ間をそ
    れぞれ接続する導線５ａ，５ｂと、一方の導線５
    ａに施され当該導線５ａと他方の電極板１ｂとの
    接触及び他方の電極板１ｂとの間のプラズマ放電
    を防止する絶縁管６ａと、他方の導線５ｂに施さ
    れ当該導線５ｂと一方の電極板１ａとの接触及び
    一方の電極板１ａとの間のプラズマ放電を防止す
    る絶縁管６ｂとより構成された実用新案登録請求
    の範囲第１項記載の縦型プラズマＣＶＤ用電極。
JP2445388U 1988-02-24 1988-02-24 Pending JPH01127237U (ja)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02108335U (ja) * 1989-02-17 1990-08-29
JP2006278652A (ja) * 2005-03-29 2006-10-12 Hitachi Kokusai Electric Inc 基板処理装置
JP2007251014A (ja) * 2006-03-17 2007-09-27 Hitachi Kokusai Electric Inc 基板処理装置
WO2009131048A1 (ja) * 2008-04-24 2009-10-29 シャープ株式会社 プラズマ処理装置およびそれを用いたプラズマ処理方法

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02108335U (ja) * 1989-02-17 1990-08-29
JP2006278652A (ja) * 2005-03-29 2006-10-12 Hitachi Kokusai Electric Inc 基板処理装置
JP2007251014A (ja) * 2006-03-17 2007-09-27 Hitachi Kokusai Electric Inc 基板処理装置
WO2009131048A1 (ja) * 2008-04-24 2009-10-29 シャープ株式会社 プラズマ処理装置およびそれを用いたプラズマ処理方法
JP2009267048A (ja) * 2008-04-24 2009-11-12 Sharp Corp プラズマ処理装置およびそれを用いたプラズマ処理方法

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