JPH01129430A - ワイヤボンデイング装置 - Google Patents
ワイヤボンデイング装置Info
- Publication number
- JPH01129430A JPH01129430A JP62289962A JP28996287A JPH01129430A JP H01129430 A JPH01129430 A JP H01129430A JP 62289962 A JP62289962 A JP 62289962A JP 28996287 A JP28996287 A JP 28996287A JP H01129430 A JPH01129430 A JP H01129430A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- load
- bonding
- command
- arm
- wire
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/0711—Apparatus therefor
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は荷重コントロール方法を改良したワイヤボンデ
ィング装置に関する。
ィング装置に関する。
従来の技術としては、例えば特開昭５７−１８８＆４０
号公報に示されたワイヤボンディング装置がある。
号公報に示されたワイヤボンディング装置がある。
第４図において、ワイヤの挿通されたキャピラリ１はボ
ンディングアーム２の一端に保持され、ボンディングア
ーム２は支軸３に取付けられて軸３を中心に回転自在に
動く。揺動アーム４はモータ（図示せず）により揺動運
動を行ない、接点棒５を保持した絶縁ブロック６を固定
している。また、支軸３には７ツクＴが取付けられ、揺
動アーム４にはフック８が取付けられており、これらの
フック１，８に掛けられたバネ９によりボンディングア
ーム２は接点棒５に接触されている。揺動アーム４には
クランプアーム１０が固定され、クランプアーム１Ｇに
はクランパ１１が取付けられており、さらにクランプア
ーム１０の下面には取付ブロック１２が固定され、この
取付ブロック１２には荷重アーム１３が軸１４により回
転自在となるように取付けられている。荷重アーム１３
には一端に接触ローラ１５が取付けられており、この接
触ローラ１５はボンディングアーム２の上面に対向して
回転する。また荷重アーム１３の他端にはプランジャ１
６が取付けられ、このプランジャ１６の対向側には電磁
ンレノイド１７が取付けられている。
ンディングアーム２の一端に保持され、ボンディングア
ーム２は支軸３に取付けられて軸３を中心に回転自在に
動く。揺動アーム４はモータ（図示せず）により揺動運
動を行ない、接点棒５を保持した絶縁ブロック６を固定
している。また、支軸３には７ツクＴが取付けられ、揺
動アーム４にはフック８が取付けられており、これらの
フック１，８に掛けられたバネ９によりボンディングア
ーム２は接点棒５に接触されている。揺動アーム４には
クランプアーム１０が固定され、クランプアーム１Ｇに
はクランパ１１が取付けられており、さらにクランプア
ーム１０の下面には取付ブロック１２が固定され、この
取付ブロック１２には荷重アーム１３が軸１４により回
転自在となるように取付けられている。荷重アーム１３
には一端に接触ローラ１５が取付けられており、この接
触ローラ１５はボンディングアーム２の上面に対向して
回転する。また荷重アーム１３の他端にはプランジャ１
６が取付けられ、このプランジャ１６の対向側には電磁
ンレノイド１７が取付けられている。
このような構成において、まず、キャピラリ１が下降す
ると、キャピラリ１がボンディング面に接触した瞬間に
接点棒５がボンディングアーム２よυわずかに離れ、こ
れによりボンディング面にはバネ９による付勢圧力が加
わる。この時、電磁ンレノイド１Ｔには所定の電圧が印
加されているので電圧に応じた吸引力が作用し、接触ロ
ーラ１５によりボンディングアーム２にＡ方向の荷重が
加わる。すなわち、キャピラリ１の加圧力はバネ９によ
る荷重と前記吸引力による荷重を加えた荷重となり、こ
の荷重によりワイヤボンディングが行なわれる。
ると、キャピラリ１がボンディング面に接触した瞬間に
接点棒５がボンディングアーム２よυわずかに離れ、こ
れによりボンディング面にはバネ９による付勢圧力が加
わる。この時、電磁ンレノイド１Ｔには所定の電圧が印
加されているので電圧に応じた吸引力が作用し、接触ロ
ーラ１５によりボンディングアーム２にＡ方向の荷重が
加わる。すなわち、キャピラリ１の加圧力はバネ９によ
る荷重と前記吸引力による荷重を加えた荷重となり、こ
の荷重によりワイヤボンディングが行なわれる。
次にボンディング時の荷重指令及び衝撃荷重の関係を第
５図（ａ） 、 （ｂ）に示す。ボンディング時には予
め一定の静荷重Ｖ Ｃ（ａ）図）をかけているため、キ
ャピラリ１のボンディング面への接触時にはボンディン
グアーム２の慣性力および振動等によシ伽）図のような
衝撃荷重が加わる。この衝撃荷重のピーク値はボンディ
ング前に設定された静荷ｉＶの約２〜３倍となり、その
後減衰して静荷重Ｖに近づく。
５図（ａ） 、 （ｂ）に示す。ボンディング時には予
め一定の静荷重Ｖ Ｃ（ａ）図）をかけているため、キ
ャピラリ１のボンディング面への接触時にはボンディン
グアーム２の慣性力および振動等によシ伽）図のような
衝撃荷重が加わる。この衝撃荷重のピーク値はボンディ
ング前に設定された静荷ｉＶの約２〜３倍となり、その
後減衰して静荷重Ｖに近づく。
このように従来の装置では、ボンディング時の＠零荷重
が静荷重の２〜３倍となるため、ワイヤボンディング面
に押しつけられる荷重が過大となり、接合が安定しない
のに加えてワイヤボンディングを行なう半導体チップに
損傷を与えるために、ワイヤボンディングの信頼性が著
しく低下するので生産性が悪いという問題点があった。
が静荷重の２〜３倍となるため、ワイヤボンディング面
に押しつけられる荷重が過大となり、接合が安定しない
のに加えてワイヤボンディングを行なう半導体チップに
損傷を与えるために、ワイヤボンディングの信頼性が著
しく低下するので生産性が悪いという問題点があった。
本発明は上記のような問題点を解消するためになされた
もので、ワイヤボンディング時に発生する８３荷重を押
え、ボンダビリティの良いワイヤボンディング装置を得
ることを目的とする。
もので、ワイヤボンディング時に発生する８３荷重を押
え、ボンダビリティの良いワイヤボンディング装置を得
ることを目的とする。
本発明は、キャピラリを保持するボンディングアームと
、ボンディングアームを回転自在となるように取付けた
揺動運動する揺動アームと、揺動アームに取付けられボ
ンディング中に前記ボンディングアームに加える荷重を
変化させて加える荷重制御部とを設けたものである。
、ボンディングアームを回転自在となるように取付けた
揺動運動する揺動アームと、揺動アームに取付けられボ
ンディング中に前記ボンディングアームに加える荷重を
変化させて加える荷重制御部とを設けたものである。
本発明は、荷重制御部によりボンディング時に印加する
荷重値を切換え、ボンディング面に発生する衝撃荷重を
押えるものである。
荷重値を切換え、ボンディング面に発生する衝撃荷重を
押えるものである。
以下、本発明の一実施例を図について説明する。
本実施例におけるワイヤボンディング装置は機構的には
基本的に第４図に示す構成図に示したものと同様であり
、荷重制御部の電磁ンレノイド１Ｔの制御方法が大きく
異なるものである。
基本的に第４図に示す構成図に示したものと同様であり
、荷重制御部の電磁ンレノイド１Ｔの制御方法が大きく
異なるものである。
以下に第１図により荷重制御部について詳細に説明する
。
。
図において、ワイヤボンダ制御部２Ｇはボンディング時
の荷重指令ａを指令切換回路２１に出力する（この荷重
指令ａは第２図←）に示すように電圧■１が設定される
）。
の荷重指令ａを指令切換回路２１に出力する（この荷重
指令ａは第２図←）に示すように電圧■１が設定される
）。
この時常に下面検出部２２はキャピラリがボンディング
面に接触しているか否かを検出しており、接触した場合
には検出信号を指令切換回路２１に出力し、この検出信
号の入力により指令切換回路２１は荷重値を増加するよ
うに切換える（第２図（＆）に示すように電圧Ｖ、が設
定される）。この指令切換回路２１から出力された荷重
値指令すをＤ／Ａ変換器２３でＤ／Ａ変換し、そのデー
タをローバスフィルタ２４により一定の遅れを持った指
令に変換して定電流回路２５に出力し、定電流回路２５
では電流を安定化して出力し、安定した電流データに基
づいて荷重用電磁マグネット２６は′ααノンレノイド
吸引力としてワイヤボンディングアームに荷重を印加す
る。
面に接触しているか否かを検出しており、接触した場合
には検出信号を指令切換回路２１に出力し、この検出信
号の入力により指令切換回路２１は荷重値を増加するよ
うに切換える（第２図（＆）に示すように電圧Ｖ、が設
定される）。この指令切換回路２１から出力された荷重
値指令すをＤ／Ａ変換器２３でＤ／Ａ変換し、そのデー
タをローバスフィルタ２４により一定の遅れを持った指
令に変換して定電流回路２５に出力し、定電流回路２５
では電流を安定化して出力し、安定した電流データに基
づいて荷重用電磁マグネット２６は′ααノンレノイド
吸引力としてワイヤボンディングアームに荷重を印加す
る。
この荷重用電磁マグネット２６は第４図の電磁ンレノイ
ド１７に相当するものである。
ド１７に相当するものである。
次に、指令切換回路２１での荷重指令の切換え。
ローパスフィルタ２４での変換およびキャピラリがボン
ディング面に接触したときの衝亭荷重の変化の様子を各
々第２図（ａ）〜（ｅ）に示す。横軸は時間・ ｔ、縦
軸は電圧であり、時刻Ｔにおいてキャビ乏りの下面に接
触するものとする。
ディング面に接触したときの衝亭荷重の変化の様子を各
々第２図（ａ）〜（ｅ）に示す。横軸は時間・ ｔ、縦
軸は電圧であり、時刻Ｔにおいてキャビ乏りの下面に接
触するものとする。
指令切換回路２１では荷重指令を時刻Ｔにおいてｖｌか
らｖ２に切換え（（ａ）図）、このデータはＤ／Ａ変換
後、 ローパスフィルタ２４において遅れを持った指令
として出力される（（ｂ）図）。このローパスフィルタ
２４の時定数はボリューム等により変化させることがで
き、予め（ｅ）図の衝撃荷重の減衰曲線となるように調
整されている。このローパスフィルタ２４からの指令が
定電流回路２５゜荷重電磁マグネット２６を介してボン
ディングアームに荷重として供給されるので、衝撃荷重
を（ｅ）図のように極めて小さく押えることができる。
らｖ２に切換え（（ａ）図）、このデータはＤ／Ａ変換
後、 ローパスフィルタ２４において遅れを持った指令
として出力される（（ｂ）図）。このローパスフィルタ
２４の時定数はボリューム等により変化させることがで
き、予め（ｅ）図の衝撃荷重の減衰曲線となるように調
整されている。このローパスフィルタ２４からの指令が
定電流回路２５゜荷重電磁マグネット２６を介してボン
ディングアームに荷重として供給されるので、衝撃荷重
を（ｅ）図のように極めて小さく押えることができる。
なお、本実施例ではローパスフィルタにより荷重指令を
連続的に変化させたものを示したが、第３図のような２
段切換（（ａ）図）、あるいは多段切換（（ｂ）図）と
してもよい。又、荷重を変化させる手段は本実施例に限
らないのはいうまでもない。
連続的に変化させたものを示したが、第３図のような２
段切換（（ａ）図）、あるいは多段切換（（ｂ）図）と
してもよい。又、荷重を変化させる手段は本実施例に限
らないのはいうまでもない。
以上のように本発明によれば、荷重制御部をボンディン
グ中に荷重を変化させるように措成したので、ボンディ
ング面に加えられる衝撃荷重を大幅に押えることができ
、このためワイヤとボンディング面との接合を安定させ
ボンダビリティの良いワイヤボンディングを行なうこと
ができる。
グ中に荷重を変化させるように措成したので、ボンディ
ング面に加えられる衝撃荷重を大幅に押えることができ
、このためワイヤとボンディング面との接合を安定させ
ボンダビリティの良いワイヤボンディングを行なうこと
ができる。
第１図は本発明の一実施例における荷重制御部の詳細ブ
ロック図、第２図（ａ）〜（ｅ）は荷重制御部の荷重指
令および衝撃荷重の振動波形図、第３図（ａ）。 伽）は他の実施例の荷重指令波形図、第４図は従来例の
一部断面側面図、第５図（ａ） 、 （ｂ）は荷重指令
および衝撃荷重の振動疲形図である。 ２０・ψ・−ワイヤボンダ制御部、２１Φ・・・指令切
換回路、２２−・・・下面検出部、２３・・・・Ｄ／Ａ
変換！、２４−・φ・ローパスフィルタ、２５・・・・
定電流回路、２６・・・・荷重用電磁マグネット。
ロック図、第２図（ａ）〜（ｅ）は荷重制御部の荷重指
令および衝撃荷重の振動波形図、第３図（ａ）。 伽）は他の実施例の荷重指令波形図、第４図は従来例の
一部断面側面図、第５図（ａ） 、 （ｂ）は荷重指令
および衝撃荷重の振動疲形図である。 ２０・ψ・−ワイヤボンダ制御部、２１Φ・・・指令切
換回路、２２−・・・下面検出部、２３・・・・Ｄ／Ａ
変換！、２４−・φ・ローパスフィルタ、２５・・・・
定電流回路、２６・・・・荷重用電磁マグネット。
Claims (2)
- （１）キャピラリを保持するボンディングアームと、 ボンディングアームを回転自在となるように取付けた揺
動運動する揺動アームと、 揺動アームに取付けられボンディング中に前記ボンディ
ングアームに加える荷重を変化させて加える荷重制御部
とを設けたことを特徴とするワイヤボンディング装置。 - （２）前記荷重制御部は、荷重指令を出力するワイヤボ
ンダ制御部と、 前記キャピラリがボンディング面に接触した時に荷重指
令を切換えて荷重指令を出力する指令切換回路と、 その荷重指令をＤ／Ａ変換するＤ／Ａ変換器と、Ｄ／Ａ
変換された荷重指令に一定の遅れを持たせるローパスフ
ィルタと、 ローパスフィルタからのデータについて電流を安定させ
る定電流回路と、 定電流回路から出力されたデータに基づき電磁ソレノイ
ドの吸引力を変化させて前記ボンディングアームへ荷重
を負荷する荷重用電磁マグネットとから構成されること
を特徴とする特許請求の範囲第１項記載のワイヤボンデ
ィング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62289962A JP2522330B2 (ja) | 1987-11-16 | 1987-11-16 | ワイヤボンデイング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62289962A JP2522330B2 (ja) | 1987-11-16 | 1987-11-16 | ワイヤボンデイング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01129430A true JPH01129430A (ja) | 1989-05-22 |
| JP2522330B2 JP2522330B2 (ja) | 1996-08-07 |
Family
ID=17749986
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62289962A Expired - Fee Related JP2522330B2 (ja) | 1987-11-16 | 1987-11-16 | ワイヤボンデイング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2522330B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5608855A (en) * | 1991-09-09 | 1997-03-04 | Hitachi, Ltd. | Method of and system for displaying three-dimensional curve on two-dimensional display device |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59130433A (ja) * | 1983-01-17 | 1984-07-27 | Toshiba Corp | ワイヤボンディング装置 |
-
1987
- 1987-11-16 JP JP62289962A patent/JP2522330B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59130433A (ja) * | 1983-01-17 | 1984-07-27 | Toshiba Corp | ワイヤボンディング装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5608855A (en) * | 1991-09-09 | 1997-03-04 | Hitachi, Ltd. | Method of and system for displaying three-dimensional curve on two-dimensional display device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2522330B2 (ja) | 1996-08-07 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
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| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |