JPH01133215A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPH01133215A JPH01133215A JP62291091A JP29109187A JPH01133215A JP H01133215 A JPH01133215 A JP H01133215A JP 62291091 A JP62291091 A JP 62291091A JP 29109187 A JP29109187 A JP 29109187A JP H01133215 A JPH01133215 A JP H01133215A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- metal magnetic
- magnetic recording
- ions
- corrosion
- Prior art date
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- Granted
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は磁気記録装置、例えば磁気ディスク装置等に用
いられる磁気記録媒体に関するものである。
いられる磁気記録媒体に関するものである。
従来の技術
現在、磁気記録媒体として使用される磁気ディスクの多
くは酸化物塗布媒体であり、さらに記録密度を向上させ
るものとして、めっきあるいはスパッタリング等による
金属薄膜媒体が注目されている。
くは酸化物塗布媒体であり、さらに記録密度を向上させ
るものとして、めっきあるいはスパッタリング等による
金属薄膜媒体が注目されている。
しかしながら金属薄膜媒体は耐候性(耐食性〉が十分で
はな(、又起動・停止の時の磁気ヘッドとの接触による
耐摩耗性も不十分である。従って一般に、金属薄膜媒体
では、耐候性・耐摩耗性を付与するために、金属磁性膜
上に保護膜・潤滑膜を構成する。又、記録密度を高める
ためには、磁気ヘッドが金属磁性膜表面にできるだけ近
接している事が望ましいので、保護膜・潤滑膜は薄い程
よい。
はな(、又起動・停止の時の磁気ヘッドとの接触による
耐摩耗性も不十分である。従って一般に、金属薄膜媒体
では、耐候性・耐摩耗性を付与するために、金属磁性膜
上に保護膜・潤滑膜を構成する。又、記録密度を高める
ためには、磁気ヘッドが金属磁性膜表面にできるだけ近
接している事が望ましいので、保護膜・潤滑膜は薄い程
よい。
従来、この種の保護膜としては、湿式めっきによる金属
薄膜(Rh、Au、Cr、N1−P等)、酸化膜(金属
磁性膜の表面酸化、SiCユ 等)、窒化物膜(Si3
N9等)、炭化物膜(SiC等)等の硬質膜が提案さ
れている。
薄膜(Rh、Au、Cr、N1−P等)、酸化膜(金属
磁性膜の表面酸化、SiCユ 等)、窒化物膜(Si3
N9等)、炭化物膜(SiC等)等の硬質膜が提案さ
れている。
これらの保護膜のうちで、耐候性・耐摩耗性を備えた保
護膜がいくつかある。例えば、記録密度を高めるために
、保護膜の膜厚を50ナノメートル以下にした2層保護
膜C下層に耐候性の良いCr酸化物膜、上層にSiO膜
)が提案されている(特開昭58−177528号公報
)。
護膜がいくつかある。例えば、記録密度を高めるために
、保護膜の膜厚を50ナノメートル以下にした2層保護
膜C下層に耐候性の良いCr酸化物膜、上層にSiO膜
)が提案されている(特開昭58−177528号公報
)。
しかしながら、これらの保護膜はある程度の耐候性は確
保できるものの、膜厚が薄いほど多く腐食し、腐食試験
時間が長いほど多(腐食する。
保できるものの、膜厚が薄いほど多く腐食し、腐食試験
時間が長いほど多(腐食する。
(田子章男:「めっき形磁気ディスク用シリコン化合物
保護膜」、精密機械、49巻、6号、P747から75
1までのFig6から8)一方、より記録密度を上げた
場合には、より微小な欠陥でも磁気記録媒体の信頼性を
損なうようになる。又、磁気記録装置の使用環境は、パ
ーソナルユース等により、磁気記録媒体にとってはより
厳しくなってきており、より優れた磁気記録媒体の開発
が望まれている。この要望に応じて活性なCr単体でで
きたCr保護膜を金属磁性膜上に形成した磁気記録媒体
があった。Cr保護膜は活性であるがゆえに金属磁性膜
の腐食因子である水などにCr保護膜を形成しているC
r原子が反応して不溶性のCr水酸化物などのCr腐食
生成物を生成し、そのCr腐食生成物が金属磁性膜を被
覆し、優れた耐候性を得ていた。又Cr保護膜の膜厚が
薄いために生じる金属磁性膜のCr保護膜によって被覆
されない未被覆部が存在したり、磁気ヘッドと磁気記録
媒体との突発的な衝突などによって、Cr保護膜が剥が
れ落ちてしまったりして、もしCr保護膜の未被覆部や
Cr保護膜が剥がれ落ちた部分に腐食因子の水等が進入
してきて、その水の中に金属磁性膜中の金属イオン及び
Cr保護膜中のCrイオンが溶けだしてくるけれども、
Crイオンの方が腐食因子と反応しやすいのでCr腐食
生成物を生成し、Cr腐食生成物が金属磁性膜を被覆し
ていた。
保護膜」、精密機械、49巻、6号、P747から75
1までのFig6から8)一方、より記録密度を上げた
場合には、より微小な欠陥でも磁気記録媒体の信頼性を
損なうようになる。又、磁気記録装置の使用環境は、パ
ーソナルユース等により、磁気記録媒体にとってはより
厳しくなってきており、より優れた磁気記録媒体の開発
が望まれている。この要望に応じて活性なCr単体でで
きたCr保護膜を金属磁性膜上に形成した磁気記録媒体
があった。Cr保護膜は活性であるがゆえに金属磁性膜
の腐食因子である水などにCr保護膜を形成しているC
r原子が反応して不溶性のCr水酸化物などのCr腐食
生成物を生成し、そのCr腐食生成物が金属磁性膜を被
覆し、優れた耐候性を得ていた。又Cr保護膜の膜厚が
薄いために生じる金属磁性膜のCr保護膜によって被覆
されない未被覆部が存在したり、磁気ヘッドと磁気記録
媒体との突発的な衝突などによって、Cr保護膜が剥が
れ落ちてしまったりして、もしCr保護膜の未被覆部や
Cr保護膜が剥がれ落ちた部分に腐食因子の水等が進入
してきて、その水の中に金属磁性膜中の金属イオン及び
Cr保護膜中のCrイオンが溶けだしてくるけれども、
Crイオンの方が腐食因子と反応しやすいのでCr腐食
生成物を生成し、Cr腐食生成物が金属磁性膜を被覆し
ていた。
発明が解決しようとする問題点
しかしながら前記従来の構成では、Cr腐食生成物中の
Crイオンは大気中及び浮遊塵の成分として存在するC
Iイオンが侵入してくるとすぐに反応し、Cr腐食生成
物が破壊されてしまうので、金属磁性膜は腐食因子であ
る水等によって腐食されてしまうという問題点を有して
いた。
Crイオンは大気中及び浮遊塵の成分として存在するC
Iイオンが侵入してくるとすぐに反応し、Cr腐食生成
物が破壊されてしまうので、金属磁性膜は腐食因子であ
る水等によって腐食されてしまうという問題点を有して
いた。
本発明は前記従来の問題点を解決するもので、大気中や
浮遊塵の成分として存在するC1イオンが侵入してきて
も、Cr腐食生成物をCIイオンが破壊するのを防止し
、金属磁性膜が腐食しにくい磁気記録媒体を提供する事
を目的としている。
浮遊塵の成分として存在するC1イオンが侵入してきて
も、Cr腐食生成物をCIイオンが破壊するのを防止し
、金属磁性膜が腐食しにくい磁気記録媒体を提供する事
を目的としている。
問題点を解決するための手段
この目的を達成するために本発明の磁気記録媒体は、金
属磁性膜上にMoの成分が0.5アトミックパーセント
から80アトミックパーセントであるC r −M o
合金膜を形成した。
属磁性膜上にMoの成分が0.5アトミックパーセント
から80アトミックパーセントであるC r −M o
合金膜を形成した。
作 用
この構成により、大気中や浮遊塵の成分として存在する
CIイオンが侵入してきても、C1イオンはまずMoと
反応して不溶性のCIとMoの化合物を作るのでCrと
CIイオンの反応を防止できる。
CIイオンが侵入してきても、C1イオンはまずMoと
反応して不溶性のCIとMoの化合物を作るのでCrと
CIイオンの反応を防止できる。
実 施 例
第1図は本発明の一実施例における磁気記録媒体を示す
部分断面図である。第1図において1はアルミニウム合
金などからなる基板、2は基板1の上に形成され膜厚2
0マイクロメートルのN1−P無電解めっきの下地膜、
3は下地膜2の上に形成されCrを下地に持つCo−N
i合金やC。
部分断面図である。第1図において1はアルミニウム合
金などからなる基板、2は基板1の上に形成され膜厚2
0マイクロメートルのN1−P無電解めっきの下地膜、
3は下地膜2の上に形成されCrを下地に持つCo−N
i合金やC。
−Cr合金等でできた金属磁性膜、4は金属磁性膜3の
上に形成され、金属磁性膜3を水等の腐食から守る耐候
性を有するCr−Mo合金膜、5はCr−Mo合金膜4
の上に形成され、磁気ヘッドとの接触による摩耗を防ぐ
ために耐摩耗性の材料例えば二酸化ケイ素や炭素膜等で
できた保護膜、6は保護膜5の上に形成され、磁気ヘッ
ドと保護膜5の間の摩擦を減少させるためにフッ素系オ
イル等で構成された潤滑膜である。
上に形成され、金属磁性膜3を水等の腐食から守る耐候
性を有するCr−Mo合金膜、5はCr−Mo合金膜4
の上に形成され、磁気ヘッドとの接触による摩耗を防ぐ
ために耐摩耗性の材料例えば二酸化ケイ素や炭素膜等で
できた保護膜、6は保護膜5の上に形成され、磁気ヘッ
ドと保護膜5の間の摩擦を減少させるためにフッ素系オ
イル等で構成された潤滑膜である。
例えば、Cr−Mo合金膜4.保護膜5.潤滑膜6の厚
みを夫々10ナノメートル、20ナノメートル、5ナノ
メートルとして合計35ナノメートルでも十分な耐候性
、耐摩耗性、低摩擦性を得る事ができる。
みを夫々10ナノメートル、20ナノメートル、5ナノ
メートルとして合計35ナノメートルでも十分な耐候性
、耐摩耗性、低摩擦性を得る事ができる。
第2図はCr−Mo合金膜の耐候性を示すグラフである
。第2図において横軸はCr−Mo合金膜のMoの含有
率で、縦軸は金属磁性膜の全面積のうちとれ(らいの面
積が腐食しているかを示す腐食面積率である。どの実験
は、Co−20アトミックパーセントNi金属磁性膜の
上に10ナノメートルのCr−Mo合金膜をスパッタリ
ングによりコーティングし、塩水噴霧試験装置(J I
sZ 2371)で3日間保持した。第2図に示した
とおりMoの含有率が0.5アトミツクパ一セント以上
80アトミックパーセント以下のCr−Mo合金膜で被
覆された金属磁性膜は、腐食面積率が1パーセント以下
と極めて優れた耐候性を示す。
。第2図において横軸はCr−Mo合金膜のMoの含有
率で、縦軸は金属磁性膜の全面積のうちとれ(らいの面
積が腐食しているかを示す腐食面積率である。どの実験
は、Co−20アトミックパーセントNi金属磁性膜の
上に10ナノメートルのCr−Mo合金膜をスパッタリ
ングによりコーティングし、塩水噴霧試験装置(J I
sZ 2371)で3日間保持した。第2図に示した
とおりMoの含有率が0.5アトミツクパ一セント以上
80アトミックパーセント以下のCr−Mo合金膜で被
覆された金属磁性膜は、腐食面積率が1パーセント以下
と極めて優れた耐候性を示す。
又この様な防食作用を持つCr−Mo合金膜は、Cr保
護膜とMoの両特性を兼ね備えた膜であり合金でなけれ
ば優れた防食作用は期待できない。
護膜とMoの両特性を兼ね備えた膜であり合金でなけれ
ば優れた防食作用は期待できない。
Cr保護膜だけであれば耐CIイオン性に欠けて金属磁
性膜が腐食し、Moだけでも金属磁性膜は腐食する。
性膜が腐食し、Moだけでも金属磁性膜は腐食する。
金属磁性膜上にCr−Mo合金膜を形成すれば、C1イ
オンが侵入してきても%MoはCIイオンと結合しやす
いので、Cr−Mo合金膜表面や、Cr腐食生成物の表
面に偏析し、CIとMoの化合物を形成し、CIとMo
の化合物を表面に形成することによってCIイオンを遮
断し、Cr8食生成物のCIイオンによる破壊を防ぐこ
とが可能になる。従ってCIイオンが侵入してきても優
れた耐候性を得ることができる。
オンが侵入してきても%MoはCIイオンと結合しやす
いので、Cr−Mo合金膜表面や、Cr腐食生成物の表
面に偏析し、CIとMoの化合物を形成し、CIとMo
の化合物を表面に形成することによってCIイオンを遮
断し、Cr8食生成物のCIイオンによる破壊を防ぐこ
とが可能になる。従ってCIイオンが侵入してきても優
れた耐候性を得ることができる。
発明の効果
本発明は金属磁性膜上にMoの含有率が0.5アトミッ
クパーセントから80アトミックパーセントのCr−M
o合金膜を形成したことにより、大気中や浮遊展の成分
として存在するC1イオンが侵入してきても、CIイオ
ンはまずMoと反応して不溶性のCIとMoの化合物を
作るのでCr腐食生成物とCIの反応を防止できるので
、極めて薄い膜でも金属磁性膜が腐食するのを防止でき
る。
クパーセントから80アトミックパーセントのCr−M
o合金膜を形成したことにより、大気中や浮遊展の成分
として存在するC1イオンが侵入してきても、CIイオ
ンはまずMoと反応して不溶性のCIとMoの化合物を
作るのでCr腐食生成物とCIの反応を防止できるので
、極めて薄い膜でも金属磁性膜が腐食するのを防止でき
る。
第1図は本発明の一実施例における磁気記録媒体を示す
部分断面図、第2図はCr−Mo合金膜の耐候性を示す
グラフである。 1・・・・・・基板 2・・・・・・下地膜 3・・・・・・金属磁性膜 4・・・・・・Cr−Mo合金膜 5・・・・・・保護膜 6・・・・・・潤滑膜 代理人の氏名 弁理士 中尾敏男 ほか1名1−・−基
板 第2図
部分断面図、第2図はCr−Mo合金膜の耐候性を示す
グラフである。 1・・・・・・基板 2・・・・・・下地膜 3・・・・・・金属磁性膜 4・・・・・・Cr−Mo合金膜 5・・・・・・保護膜 6・・・・・・潤滑膜 代理人の氏名 弁理士 中尾敏男 ほか1名1−・−基
板 第2図
Claims (1)
- 基板と、前記基板の上に形成された金属磁性膜と、前記
金属磁性膜の上に形成されたCr−Mo合金膜を備え、
前記Cr−Mo合金膜のMoの含有率が0.5アトミッ
クパーセントから80アトミックパーセントである事を
特徴とする磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62291091A JP2506850B2 (ja) | 1987-11-18 | 1987-11-18 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62291091A JP2506850B2 (ja) | 1987-11-18 | 1987-11-18 | 磁気記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01133215A true JPH01133215A (ja) | 1989-05-25 |
| JP2506850B2 JP2506850B2 (ja) | 1996-06-12 |
Family
ID=17764328
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62291091A Expired - Lifetime JP2506850B2 (ja) | 1987-11-18 | 1987-11-18 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2506850B2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5883334A (ja) * | 1981-11-10 | 1983-05-19 | Sekisui Chem Co Ltd | 磁気記録媒体 |
-
1987
- 1987-11-18 JP JP62291091A patent/JP2506850B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5883334A (ja) * | 1981-11-10 | 1983-05-19 | Sekisui Chem Co Ltd | 磁気記録媒体 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2506850B2 (ja) | 1996-06-12 |
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