JPH0447524A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPH0447524A JPH0447524A JP15720390A JP15720390A JPH0447524A JP H0447524 A JPH0447524 A JP H0447524A JP 15720390 A JP15720390 A JP 15720390A JP 15720390 A JP15720390 A JP 15720390A JP H0447524 A JPH0447524 A JP H0447524A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- carbon film
- film
- recording medium
- lubricant
- magnetic recording
- Prior art date
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- Pending
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- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野]
本発明は、磁気ディスクや磁気テープなどの磁気記録媒
体に関し、さらに詳しくは、保護膜及び潤滑膜を有する
磁気記録媒体に関する。
体に関し、さらに詳しくは、保護膜及び潤滑膜を有する
磁気記録媒体に関する。
磁気記録媒体は、磁性粉を樹脂で固めた塗布型媒体から
変化して金属薄膜を用いた連続薄膜媒体が用いられてい
る。この連続薄膜媒体には磁気ヘッドとの接触、さらに
は摺動による摩耗、損傷を防ぐために磁性膜上に保護膜
及び潤滑膜が被覆されている。
変化して金属薄膜を用いた連続薄膜媒体が用いられてい
る。この連続薄膜媒体には磁気ヘッドとの接触、さらに
は摺動による摩耗、損傷を防ぐために磁性膜上に保護膜
及び潤滑膜が被覆されている。
この保護膜としては、酸化珪素、ジルコニア、カーボン
などが用いられ、その中でもカーボンが最も広く用いら
れている。このカーボンによる保護膜は、その製造方法
としては、アルゴン雰囲気中でスパッタリングするのが
一般的である。
などが用いられ、その中でもカーボンが最も広く用いら
れている。このカーボンによる保護膜は、その製造方法
としては、アルゴン雰囲気中でスパッタリングするのが
一般的である。
また、潤滑剤としては、平均分子量i 、 ooo〜3
0.000のパフロロアルキルポリエーテルが最も多く
用いられている。
0.000のパフロロアルキルポリエーテルが最も多く
用いられている。
[発明が解決しようとする課題]
上述のような磁気記録媒体に用いられるカーボン膜は、
その膜中に多くの酸素を含んでいるために、磁気ヘッド
との接触を繰り返していると、カーボン膜が一酸化炭素
や二酸化炭素となって昇華し、摩耗が進行する問題があ
った。これを解決するために、スパッタ雰囲気のガスと
して還元性のある水素ガスを添加することが行われてい
る。
その膜中に多くの酸素を含んでいるために、磁気ヘッド
との接触を繰り返していると、カーボン膜が一酸化炭素
や二酸化炭素となって昇華し、摩耗が進行する問題があ
った。これを解決するために、スパッタ雰囲気のガスと
して還元性のある水素ガスを添加することが行われてい
る。
しかしながら、カーボン膜中に酸素が少なくなると、パ
ーフロロアルキルポリエーテルとの結合力が弱くなり、
磁気ヘッドとの摺動によりパーフロロアルキルポリエー
テルが除去されてしまう問題が発生していた。
ーフロロアルキルポリエーテルとの結合力が弱くなり、
磁気ヘッドとの摺動によりパーフロロアルキルポリエー
テルが除去されてしまう問題が発生していた。
上述のような問題を解決するために、本発明では、磁気
記録媒体の磁気膜上に(、−H結合を有するカーボン膜
を被覆し、さらにその上に少なくとも1以上の極性基を
有する潤滑剤を被覆して構成したことを特徴とするもの
である。
記録媒体の磁気膜上に(、−H結合を有するカーボン膜
を被覆し、さらにその上に少なくとも1以上の極性基を
有する潤滑剤を被覆して構成したことを特徴とするもの
である。
本発明の磁気記録媒体は、カーボン膜の酸化による摩耗
が防止されると共に、カーボン膜のC−H結合と潤滑剤
の極性基との間に水素結合が生じ、潤滑剤が除去される
ことなく優れた耐へ・ンドクラッシュ性が得られる。
が防止されると共に、カーボン膜のC−H結合と潤滑剤
の極性基との間に水素結合が生じ、潤滑剤が除去される
ことなく優れた耐へ・ンドクラッシュ性が得られる。
以下、本発明の実施例を添付した第1図に基づいて説明
する。
する。
この図は磁気記録媒体の断面を拡大して示す説明図であ
り、符号1で示すアルミニウム基板上にニッケル・リン
めっき層2が、10μmの厚さに形成されている。この
ニッケル・リンめっき層2上には、磁性層3としてコバ
ルト・ニッケル・リン合金がおよそその厚さ0.05μ
mにめっきにより形成されている。さらにこの磁性層3
上にはメタン/水素を反応ガスとしたプラズマCVD法
により保護層としてのカーボン膜4が、はぼ200人の
厚さに被覆されている。そして、このカーボン膜4上に
極性基を有する潤滑剤’ HOCHz CF zO−
(C,F、0)p−(CF20)(1−CF2−CH2
0H(P、Qは整数)Aの希釈液がスビソコートされて
潤滑剤層5が形成されている。
り、符号1で示すアルミニウム基板上にニッケル・リン
めっき層2が、10μmの厚さに形成されている。この
ニッケル・リンめっき層2上には、磁性層3としてコバ
ルト・ニッケル・リン合金がおよそその厚さ0.05μ
mにめっきにより形成されている。さらにこの磁性層3
上にはメタン/水素を反応ガスとしたプラズマCVD法
により保護層としてのカーボン膜4が、はぼ200人の
厚さに被覆されている。そして、このカーボン膜4上に
極性基を有する潤滑剤’ HOCHz CF zO−
(C,F、0)p−(CF20)(1−CF2−CH2
0H(P、Qは整数)Aの希釈液がスビソコートされて
潤滑剤層5が形成されている。
ここで、潤滑剤中の極性基は、r−cow R(但し、
Rは水素又は1ないし6炭素原子のアルキル基)J、’
0 −CNR’ R“(但し、R” 、R“は水素又は1
ないし6炭素原子のアルキル基)」又はr−OHJより
選んだものが使用されている。
Rは水素又は1ないし6炭素原子のアルキル基)J、’
0 −CNR’ R“(但し、R” 、R“は水素又は1
ないし6炭素原子のアルキル基)」又はr−OHJより
選んだものが使用されている。
上述のように構成された磁気記録媒体、言い換えると、
C−H結合を有するカーボン膜と、その上に極性基をも
つ潤滑膜を被覆した磁気ディスクのC3S (Cont
act 5tart St。
C−H結合を有するカーボン膜と、その上に極性基をも
つ潤滑膜を被覆した磁気ディスクのC3S (Cont
act 5tart St。
p)寿命の測定結果を第1表に示しである。
この表は、磁性膜4までは同一構成であり、保護膜5、
潤滑剤6が夫々アルゴンガス雰囲気中でスバ、り法によ
り形成されたカーボンと、パーフロロアルキルポリエー
テルの組み合わせである磁気ディスクと、プラズマCV
D法により形成されたカーボン膜とパーフロロアルキル
ポリエーテルの組み合わせである磁気ディスクとを用意
し、本発明による磁気ディスクとの3枚を薄膜ヘッド(
材質:アルミナ、チタンカーバイト)でC3Sを繰り返
し、ヘッドクラッシュが発生するまでの回数を測定した
ものである。
潤滑剤6が夫々アルゴンガス雰囲気中でスバ、り法によ
り形成されたカーボンと、パーフロロアルキルポリエー
テルの組み合わせである磁気ディスクと、プラズマCV
D法により形成されたカーボン膜とパーフロロアルキル
ポリエーテルの組み合わせである磁気ディスクとを用意
し、本発明による磁気ディスクとの3枚を薄膜ヘッド(
材質:アルミナ、チタンカーバイト)でC3Sを繰り返
し、ヘッドクラッシュが発生するまでの回数を測定した
ものである。
第 1 表
以上の結果から明らかなように、C−H結合を有するカ
ーボン膜と、極性基を有する潤滑剤層とが形成された本
発明により得たる磁気ディスクは他のディスクに比較し
て優れたC3S特性を有する。
ーボン膜と、極性基を有する潤滑剤層とが形成された本
発明により得たる磁気ディスクは他のディスクに比較し
て優れたC3S特性を有する。
C発明の効果〕
以上のように、本発明によると、磁性層上にC−H結合
を有するカーボン膜を被膜形成し、その上に少なくとも
1以上の極性基を有する潤滑剤層を被膜するという構成
を採用したことから、カーボンの酸化による摩耗が防止
されると共に、カーボン膜のC−H結合と潤滑剤層の極
性基との間において、水素結合が生じるために潤滑剤が
除去されず、優れた耐ヘツドクラツシユ性能を有する磁
気記録媒体を提供することができる。
を有するカーボン膜を被膜形成し、その上に少なくとも
1以上の極性基を有する潤滑剤層を被膜するという構成
を採用したことから、カーボンの酸化による摩耗が防止
されると共に、カーボン膜のC−H結合と潤滑剤層の極
性基との間において、水素結合が生じるために潤滑剤が
除去されず、優れた耐ヘツドクラツシユ性能を有する磁
気記録媒体を提供することができる。
第1図は本発明の磁気記録媒体の一部を拡大して示す断
面図である。 1・・・・・・アルミニウム基板、2・・・・・・ニッ
ケル・リンめっき層、3・・・・・・磁性層、4・・・
・・・保護膜としてのカーボン膜、5・・・・・・潤滑
膜。 出願人 日 本 電 気 株式会社 代理人 弁理士 高 橋 勇 第 図
面図である。 1・・・・・・アルミニウム基板、2・・・・・・ニッ
ケル・リンめっき層、3・・・・・・磁性層、4・・・
・・・保護膜としてのカーボン膜、5・・・・・・潤滑
膜。 出願人 日 本 電 気 株式会社 代理人 弁理士 高 橋 勇 第 図
Claims (3)
- (1)、磁性膜上に被覆されたC−H結合を有するカー
ボン膜と、このカーボン膜上に被覆され、少なくとも1
以上の極性基を有する潤滑剤層とを備えて成ることを特
徴とした磁気記録媒体。 - (2)、前記カーボン膜が水素ガスを含む雰囲気中で、
スパッタリング法またはプラズマCVD法、あるいはイ
オンビーム法により形成された請求項1記載の磁気記録
媒体。 - (3)、前記極性基が、「−CO_2R」、▲数式、化
学式、表等があります▼又は「−OH」等のアルキル基 により成ることを特徴とした請求項1記載の磁気記録媒
体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15720390A JPH0447524A (ja) | 1990-06-15 | 1990-06-15 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15720390A JPH0447524A (ja) | 1990-06-15 | 1990-06-15 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0447524A true JPH0447524A (ja) | 1992-02-17 |
Family
ID=15644460
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15720390A Pending JPH0447524A (ja) | 1990-06-15 | 1990-06-15 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0447524A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07235046A (ja) * | 1994-02-22 | 1995-09-05 | Nec Corp | 磁気記録媒体 |
| US6468617B1 (en) | 1993-07-20 | 2002-10-22 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Apparatus for fabricating coating and method of fabricating the coating |
| US6835523B1 (en) | 1993-05-09 | 2004-12-28 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Apparatus for fabricating coating and method of fabricating the coating |
-
1990
- 1990-06-15 JP JP15720390A patent/JPH0447524A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6835523B1 (en) | 1993-05-09 | 2004-12-28 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Apparatus for fabricating coating and method of fabricating the coating |
| US6468617B1 (en) | 1993-07-20 | 2002-10-22 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Apparatus for fabricating coating and method of fabricating the coating |
| JPH07235046A (ja) * | 1994-02-22 | 1995-09-05 | Nec Corp | 磁気記録媒体 |
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