JPH01136346A - ウェハー搬送車 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はウェハー搬送車に関し、特にクリーンルームの
ゴミ数を測定できるウェハー搬送車に関する。

［従来の技術］ 従来、この種のウェハー搬送車にはゴミ測定機能が付い
ておらず、またゴミ測定器はウェハー搬送車と別体に定
位置に設定されていた。

［発明が解決しようとする問題点］ 上述した従来のウェハー搬送車はウェハーを搬送する機
能のみしかない。またウェハー搬送車の運行を制御する
ためのゴミ量を測定するゴミ測定器は、固定式又は、半
固定式であるため、−度測定点に固定すると、その測定
点のみしかゴミ測定が出来ず、また多数の測定点で測定
するためには、多数のゴミ測定器を設置するか、人が測
定器を移動して各測定点を測定して回る手間がかかると
いう欠点があった。

本発明の目的は前記問題点を解消したウェハー搬送車を
提供することにある。

［発明の従来技術に対する相違点］ 上述した従来のウェハー搬送車に対し、本発明は、ウェ
ハー搬送車にゴミ測定器を搭載し、ウェハー搬送車の軌
道上の任意の点で自動的にゴミ数を測定できるという相
違点を有する。

［問題点を解決するための手段］ 本発明はウェハーを搬送する搬送車において、空気中の
ゴミを測定するゴミ測定器と、走行位置によりゴミ測定
器を制御するゴミ測定器制御器とを具備することを特徴
とするウェハー搬送車である。

［実施例］ 次に本発明について図面を参照して説明する。

第１図は本発明の一実施例の縦断面図である。

１１はウェハー搬送車、１２はウェハーである。ウェハ
ー搬送車１１の内部にはゴミ測定器１３が内蔵されてお
り、これに、ゴミ測定点空気吸入パイプ１４が接続され
、ウェハー搬送車１１上の空気を吸入し、ゴミ測定器１
３によりゴミを測定する。ウェハー搬送車１１は、ウェ
ハー１２を乗せて走行するが、ゴミ測定器制御器１５に
あらかじめセットされた位置にウェハー搬送車が到達し
た時に、ゴミ測定器制御器１５はゴミ測定器制御ケーブ
ル１６を通してゴミ測定器１３の測定を開始させる。ゴ
ミ測定が終了すると、ゴミ測定値はゴミ測定器１３の記
憶装置に記憶させる。又は出力装置１７に、出カケープ
ル１８により出力する。出力装置１７はプリンタ゛−に
より印字用紙に印字する、又は、通信装置により、ホス
トコンピューターへの通信出力等を行い、測定値を出力
する。

［発明の効果］ 以上説明したように本発明はウェハー搬送車にゴミ測定
器及びゴミ測定器制御器を搭載することにより、ウェハ
ー搬送車の軌道上に任意の位置で、多点にわたり、自動
的にゴミ数を測定でき、これにより、クリーンルーム内
のゴミ数をウェハー搬送車システムを利用して簡単にモ
ニターできる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のウェハー搬送車の縦断面図である。 １１・・・ウェハー搬送車　　１２・・・ウェハー１３
・・・ゴミ測定器 １４・・・ゴミ測定点空気吸入パイプ １５・・・ゴミ測定器制御器 １６・・・ゴミ測定器制御用ケーブル

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）ウェハーを搬送する搬送車において、空気中のゴ
   ミを測定するゴミ測定器と、走行位置によりゴミ測定器
   を制御するゴミ測定器制御器とを具備することを特徴と
   するウェハー搬送車。