JPH01128540A - ウェハー搬送車 - Google Patents
ウェハー搬送車Info
- Publication number
- JPH01128540A JPH01128540A JP62286731A JP28673187A JPH01128540A JP H01128540 A JPH01128540 A JP H01128540A JP 62286731 A JP62286731 A JP 62286731A JP 28673187 A JP28673187 A JP 28673187A JP H01128540 A JPH01128540 A JP H01128540A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- vehicle
- dusts
- air
- dust
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000428 dust Substances 0.000 claims abstract description 34
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims description 36
- 230000032258 transport Effects 0.000 claims description 28
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は空気中のゴミの付着を避ける必要があるウェハ
ーを搬送させる搬送車に関する。
ーを搬送させる搬送車に関する。
従来、この種のウェハー搬送車はウェハーを非密閉の状
態で搬送していたために、空気中にゴミが多い場合にウ
ェハーにゴミが付着することがあった・ 〔発明が解決しようとする問題点〕 上述した従来のウェハー搬送車はウェハーが非密閉状態
で空気中を走行するのであるが、空気中のゴミが多くて
も少なくても走行するので、空気中のゴミが多いと搬送
しているウェハーにゴミが付着するという欠点がある。
態で搬送していたために、空気中にゴミが多い場合にウ
ェハーにゴミが付着することがあった・ 〔発明が解決しようとする問題点〕 上述した従来のウェハー搬送車はウェハーが非密閉状態
で空気中を走行するのであるが、空気中のゴミが多くて
も少なくても走行するので、空気中のゴミが多いと搬送
しているウェハーにゴミが付着するという欠点がある。
本発明の目的は前記問題点を解消したウェハー搬送車を
提供することにある。
提供することにある。
上述した従来のウェハー搬送車に対し１本発明は空気中
のゴミを測定し、そのゴミの値によって搬送車の走行及
び停止を制御させるという相違点を有する。
のゴミを測定し、そのゴミの値によって搬送車の走行及
び停止を制御させるという相違点を有する。
本発明はウェハーを搬送する搬送車において、空気中の
ゴミを測定するゴミ測定器と、ゴミ測定器から出力され
るゴミの値によって搬送車の走行及び停止を制御する走
行制御器とを有することを特徴とするウェハー搬送車で
ある。
ゴミを測定するゴミ測定器と、ゴミ測定器から出力され
るゴミの値によって搬送車の走行及び停止を制御する走
行制御器とを有することを特徴とするウェハー搬送車で
ある。
以下１本発明の一実施例を図により説明する。
第１図において、ウェハー搬送車１はウェハー７をキャ
リア１ａに保持して搬送する。該ウェハー搬送車１は、
空気吸入パイプ３を通して空気を吸い込んでゴミの値を
測定するゴミ測定器２と、ゴミ測定器２から出力される
ゴミの値によって搬送車１の走行及び停止を制御する走
行制御器５とを搭載している。８は走行制御器からの制
御指令を制御ケーブル６を通して受けてウェハー搬送車
１の駆動を行う駆動部、４はゴミ測定器２からの測定信
号を走行制御器５に伝送する出カケープルである。
リア１ａに保持して搬送する。該ウェハー搬送車１は、
空気吸入パイプ３を通して空気を吸い込んでゴミの値を
測定するゴミ測定器２と、ゴミ測定器２から出力される
ゴミの値によって搬送車１の走行及び停止を制御する走
行制御器５とを搭載している。８は走行制御器からの制
御指令を制御ケーブル６を通して受けてウェハー搬送車
１の駆動を行う駆動部、４はゴミ測定器２からの測定信
号を走行制御器５に伝送する出カケープルである。
実施例において、ウェハー搬送車１はウェハー７を乗せ
て走行する。ウェハー搬送車１の走行時に、ゴミ測定器
２は吸入パイプ３がら空気を取り入れて空気中のゴミを
測定し、ゴミの測定値を出カケープル４によって走行制
御器５へ出力する。
て走行する。ウェハー搬送車１の走行時に、ゴミ測定器
２は吸入パイプ３がら空気を取り入れて空気中のゴミを
測定し、ゴミの測定値を出カケープル４によって走行制
御器５へ出力する。
走行制御器５は、ゴミ測定器２からのゴミ測定値よりウ
ェハー搬送車１が走行している周囲の空気のゴミがウェ
ハー７に付着して、ウェハ−７を汚染するかどうかを判
断する。もし、走行制御器５が、ウェハー搬送車１の走
行している周囲の空気中のゴミがウェハー７に付着して
ウェハー７を汚染すると判断したときには、走行制御器
５はウェハー搬送車走行制御ケーブル６を介して駆動部
８に制御指令を発し、ウェハー搬送車１を停止させてウ
ェハー７へのゴミの付着を防止する。
ェハー搬送車１が走行している周囲の空気のゴミがウェ
ハー７に付着して、ウェハ−７を汚染するかどうかを判
断する。もし、走行制御器５が、ウェハー搬送車１の走
行している周囲の空気中のゴミがウェハー７に付着して
ウェハー７を汚染すると判断したときには、走行制御器
５はウェハー搬送車走行制御ケーブル６を介して駆動部
８に制御指令を発し、ウェハー搬送車１を停止させてウ
ェハー７へのゴミの付着を防止する。
以上説明したように本発明はウェハーをウェハー搬送車
が搬送する際にゴミ測定器及び走行制御器を用いること
により、ウェハー搬送車の周囲の空気がゴミを多く含ん
でいる場合にはウェハー搬送車を停止させてウェハーへ
のゴミの付着を防止できる効果がある。
が搬送する際にゴミ測定器及び走行制御器を用いること
により、ウェハー搬送車の周囲の空気がゴミを多く含ん
でいる場合にはウェハー搬送車を停止させてウェハーへ
のゴミの付着を防止できる効果がある。
第１図は本発明の一実施例を示す構成図である。
１・・・ウェハー搬送車 ２・・・ゴミ測定器３・・
・吸入パイプ ４・・・出カケープル５・・・走
行制御器 ６・・・制御ケーブル７・・・ウェハ
ー
・吸入パイプ ４・・・出カケープル５・・・走
行制御器 ６・・・制御ケーブル７・・・ウェハ
ー
Claims (1)
- （１）ウェハーを搬送する搬送車において、空気中のゴ
ミを測定するゴミ測定器と、ゴミ測定器から出力される
ゴミの値によって搬送車の走行及び停止を制御する走行
制御器とを有することを特徴とするウェハー搬送車。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62286731A JPH01128540A (ja) | 1987-11-13 | 1987-11-13 | ウェハー搬送車 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62286731A JPH01128540A (ja) | 1987-11-13 | 1987-11-13 | ウェハー搬送車 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01128540A true JPH01128540A (ja) | 1989-05-22 |
Family
ID=17708288
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62286731A Pending JPH01128540A (ja) | 1987-11-13 | 1987-11-13 | ウェハー搬送車 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01128540A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60210720A (ja) * | 1984-04-05 | 1985-10-23 | Ohbayashigumi Ltd | クリ−ンル−ムの検査装置 |
| JPS60211315A (ja) * | 1984-04-06 | 1985-10-23 | Ohbayashigumi Ltd | クリ−ンル−ムの検査装置 |
-
1987
- 1987-11-13 JP JP62286731A patent/JPH01128540A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60210720A (ja) * | 1984-04-05 | 1985-10-23 | Ohbayashigumi Ltd | クリ−ンル−ムの検査装置 |
| JPS60211315A (ja) * | 1984-04-06 | 1985-10-23 | Ohbayashigumi Ltd | クリ−ンル−ムの検査装置 |
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