JPH01137404U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH01137404U JPH01137404U JP3466088U JP3466088U JPH01137404U JP H01137404 U JPH01137404 U JP H01137404U JP 3466088 U JP3466088 U JP 3466088U JP 3466088 U JP3466088 U JP 3466088U JP H01137404 U JPH01137404 U JP H01137404U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reference plate
- cross
- exposing
- developing
- covering
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000839 emulsion Substances 0.000 claims description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 claims 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
Description
図は校正基準板を拡大して示すものであり、第
１図は本考案の基準板の製造工程の第１段階を示
す説明図、第２図は製造工程第２段階の露光状態
を示す説明図、第３図は現像処理工程後の状態を
示す説明図、第４図は製造完了後の本案による基
準板の構成を示す断面説明図、第５図は従来の基
準板の断面形状説明図である。 １…基板、２…乳剤コーテイング層、４…ガラ
スマスク、５…不透明な平行線パターン、６…金
属硬化膜。
１図は本考案の基準板の製造工程の第１段階を示
す説明図、第２図は製造工程第２段階の露光状態
を示す説明図、第３図は現像処理工程後の状態を
示す説明図、第４図は製造完了後の本案による基
準板の構成を示す断面説明図、第５図は従来の基
準板の断面形状説明図である。 １…基板、２…乳剤コーテイング層、４…ガラ
スマスク、５…不透明な平行線パターン、６…金
属硬化膜。
Claims (1)
- 基板素材上にコーテイングされた乳剤層を露光
、現像処理により断面においてｓｉｎ曲線状とし
て形成し、かつその表面を金属による硬化膜をも
つて覆つてなる表面粗さ測定機の校正基準板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3466088U JPH01137404U (ja) | 1988-03-16 | 1988-03-16 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3466088U JPH01137404U (ja) | 1988-03-16 | 1988-03-16 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01137404U true JPH01137404U (ja) | 1989-09-20 |
Family
ID=31261358
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3466088U Pending JPH01137404U (ja) | 1988-03-16 | 1988-03-16 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01137404U (ja) |
-
1988
- 1988-03-16 JP JP3466088U patent/JPH01137404U/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5041359A (en) | Method for forming a patterned photopolymer coating on a printing roller | |
| JPS6354101U (ja) | ||
| JPH01137404U (ja) | ||
| JPS58218119A (ja) | パタ−ン形成方法 | |
| JPS599920A (ja) | 局所的グレ−テイング作製方法 | |
| JPH02238457A (ja) | 厚膜フォトレジストパターンの形成方法 | |
| JPS5914888B2 (ja) | パタ−ン形成方法 | |
| JPS59155839A (ja) | パタ−ン転写用マスク | |
| JPS6319861B2 (ja) | ||
| JPS58219738A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
| JPS5610930A (en) | Manufacture of semiconductor device | |
| JPS6017907Y2 (ja) | フオト・マスク | |
| JPS6141089Y2 (ja) | ||
| JPS6319860B2 (ja) | ||
| CN107357133A (zh) | 光刻胶图案形成方法及压印模具 | |
| JPH0173848U (ja) | ||
| UST954002I4 (en) | Process for increasing mask life | |
| JPS6132718A (ja) | 合成樹脂成型金型の製法 | |
| JPS6185824A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
| JPS6236823A (ja) | レジストパタ−ン形成方法 | |
| JPS6030118B2 (ja) | 混成薄膜集積回路のパタ−ン形成方法 | |
| JPS61269157A (ja) | マスク製造方法 | |
| JPH01157346U (ja) | ||
| JPH0518253B2 (ja) | ||
| JPS6185851U (ja) |