JPH01137465U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01137465U JPH01137465U JP3403388U JP3403388U JPH01137465U JP H01137465 U JPH01137465 U JP H01137465U JP 3403388 U JP3403388 U JP 3403388U JP 3403388 U JP3403388 U JP 3403388U JP H01137465 U JPH01137465 U JP H01137465U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thick film
- sensor element
- comb
- ceramic substrate
- sensing element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Description
第１図はこの考案の第１実施例の厚膜湿度検知
素子の一部切欠平面図、第２図は第１図の―
線における断面図、第３図はこの考案の第２実施
例の厚膜湿度検知素子の一部切欠平面図、第４図
はこの考案の第３実施例の厚膜湿度検知素子の一
部切欠平面図、第５図は同じく第３実施例の厚膜
湿度検知素子の一部切欠底面図、第６図は第４図
の―線における断面図、第７図はこの考案の
厚膜湿度検知素子の信号処理系の一例を示すブロ
ツク図、第８図はこの考案の厚膜湿度検知素子に
おける各センサ素子部の湿度対インピーダンス特
性の一例を示す線図、第９図および第１０図はそ
れぞれ第８図に示される特性のセンサ素子部を用
いた湿度測定における湿度とインピーダンスとの
関係を示す線図、第１１図は従来の厚膜湿度検知
素子の一例を示す一部切欠平面図、第１２図は第
１１図の―線における断面図、第１３図
は従来の厚膜湿度検知素子の製造プロセスを示す
フローチヤートである。 １…セラミツク基板、２Ａ，３Ａ，２Ｂ，３Ｂ
…くし型電極、４Ａ，４Ｂ…感湿膜、７Ａ，７Ｂ
…センサ素子部。
素子の一部切欠平面図、第２図は第１図の―
線における断面図、第３図はこの考案の第２実施
例の厚膜湿度検知素子の一部切欠平面図、第４図
はこの考案の第３実施例の厚膜湿度検知素子の一
部切欠平面図、第５図は同じく第３実施例の厚膜
湿度検知素子の一部切欠底面図、第６図は第４図
の―線における断面図、第７図はこの考案の
厚膜湿度検知素子の信号処理系の一例を示すブロ
ツク図、第８図はこの考案の厚膜湿度検知素子に
おける各センサ素子部の湿度対インピーダンス特
性の一例を示す線図、第９図および第１０図はそ
れぞれ第８図に示される特性のセンサ素子部を用
いた湿度測定における湿度とインピーダンスとの
関係を示す線図、第１１図は従来の厚膜湿度検知
素子の一例を示す一部切欠平面図、第１２図は第
１１図の―線における断面図、第１３図
は従来の厚膜湿度検知素子の製造プロセスを示す
フローチヤートである。 １…セラミツク基板、２Ａ，３Ａ，２Ｂ，３Ｂ
…くし型電極、４Ａ，４Ｂ…感湿膜、７Ａ，７Ｂ
…センサ素子部。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 セラミツク基板の表面に、一対のくし型電極と
そのくし型電極を覆う感湿膜とからなるセンサ素
子部が形成され、前記電極間のインピーダンス変
化により湿度を検出するようにした厚膜湿度検知
素子において、 同一のセラミツク基板に複数のセンサ素子部が
形成されていることを特徴とする厚膜湿度検知素
子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3403388U JPH01137465U (ja) | 1988-03-15 | 1988-03-15 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3403388U JPH01137465U (ja) | 1988-03-15 | 1988-03-15 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01137465U true JPH01137465U (ja) | 1989-09-20 |
Family
ID=31260752
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3403388U Pending JPH01137465U (ja) | 1988-03-15 | 1988-03-15 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01137465U (ja) |
-
1988
- 1988-03-15 JP JP3403388U patent/JPH01137465U/ja active Pending