JPH01138659U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01138659U JPH01138659U JP3458088U JP3458088U JPH01138659U JP H01138659 U JPH01138659 U JP H01138659U JP 3458088 U JP3458088 U JP 3458088U JP 3458088 U JP3458088 U JP 3458088U JP H01138659 U JPH01138659 U JP H01138659U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- abrasive
- side plate
- prevention device
- scattering prevention
- carrier
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000002265 prevention Effects 0.000 claims description 6
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims 3
Landscapes
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
Description
１……上定盤、２……下定盤、３……被加工物
、５……キヤリア、６……内歯車、８……研磨剤
供給手段、１９……研磨剤飛散防止装置、２０…
…側板、２１……取付部材。
、５……キヤリア、６……内歯車、８……研磨剤
供給手段、１９……研磨剤飛散防止装置、２０…
…側板、２１……取付部材。
補正 昭６３．６．７
図面の簡単な説明を次のように補正する。
明細書第８頁第３行目〜第４行目「４、図面の
簡単な説明」と次の行の１…上定盤との間に「第
１図は本考案の一実施例を示す断面図、第２図は
従来装置を示す断面図である。」を挿入する。
簡単な説明」と次の行の１…上定盤との間に「第
１図は本考案の一実施例を示す断面図、第２図は
従来装置を示す断面図である。」を挿入する。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 内歯車と、太陽歯車と、前記両歯車に噛合
つて自転および公転するキヤリアと、同キヤリア
を上下より挾んでキヤリア内に装填した被加工物
を研磨する上下定盤と、研磨剤を供給する研磨剤
供給手段とを備え、研磨剤を供給しながら研磨加
工を行なう研磨機の研磨剤飛散防止装置において
、内歯車の外側に位置し、前記内歯車の上面より
上下方向に延びた側板と、同側板を保持する取付
部材とから成り、前記取付部材を上定盤または上
定盤と一諸に昇降する部材に取付けたことを特徴
とする研磨機の研磨剤飛散防止装置。 (2) 取付部材は側板の全体に取付けたものであ
る請求項１記載の研磨剤飛散防止装置。 (3) 取付部材は側板の一部に取付けたものであ
る請求項１記載の研磨剤飛散防止装置。 (4) 取付部材と側板とは１体形状である請求項
１記載の研磨剤飛散防止装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3458088U JPH01138659U (ja) | 1988-03-16 | 1988-03-16 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3458088U JPH01138659U (ja) | 1988-03-16 | 1988-03-16 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01138659U true JPH01138659U (ja) | 1989-09-21 |
Family
ID=31261281
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3458088U Pending JPH01138659U (ja) | 1988-03-16 | 1988-03-16 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01138659U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999033612A1 (en) * | 1997-12-26 | 1999-07-08 | Ebara Corporation | Polishing device |
-
1988
- 1988-03-16 JP JP3458088U patent/JPH01138659U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999033612A1 (en) * | 1997-12-26 | 1999-07-08 | Ebara Corporation | Polishing device |
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