JPH01145158A - 液体噴射記録ヘッド及び該ヘッド用基板 - Google Patents
液体噴射記録ヘッド及び該ヘッド用基板Info
- Publication number
- JPH01145158A JPH01145158A JP62303713A JP30371387A JPH01145158A JP H01145158 A JPH01145158 A JP H01145158A JP 62303713 A JP62303713 A JP 62303713A JP 30371387 A JP30371387 A JP 30371387A JP H01145158 A JPH01145158 A JP H01145158A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid
- recording head
- layer
- jet recording
- heating resistor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14016—Structure of bubble jet print heads
- B41J2/14088—Structure of heating means
- B41J2/14112—Resistive element
- B41J2/14129—Layer structure
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2002/14379—Edge shooter
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2202/00—Embodiments of or processes related to ink-jet or thermal heads
- B41J2202/01—Embodiments of or processes related to ink-jet heads
- B41J2202/03—Specific materials used
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明はインク等の記録用液体を熱エネルギーを利用し
て吐出し、その液滴を形成し、これを紙などの被記録材
に付着させて記録を行なう液体噴射記録ヘッド及び該ヘ
ッド用基板に関する。
て吐出し、その液滴を形成し、これを紙などの被記録材
に付着させて記録を行なう液体噴射記録ヘッド及び該ヘ
ッド用基板に関する。
［従来の技術］
熱エネルギーを、吐出される液滴の形成に利用する液体
噴射記録法に用いる記録ヘッドは、一般にインク等の記
録用液体を吐出する吐出口と；該吐出口に連通し、液体
を吐出するために利用される熱エネルギーが液体に作用
する部分を有する液路と；基体上に設けられた発熱抵抗
体と該発熱抵抗体に電気的に接続された一対の電極とを
有する前記熱エネルギーを発生させるための電気熱変換
体とを有し、例えば第２図の模式的展開斜視図に示すよ
うな構造を有する。
噴射記録法に用いる記録ヘッドは、一般にインク等の記
録用液体を吐出する吐出口と；該吐出口に連通し、液体
を吐出するために利用される熱エネルギーが液体に作用
する部分を有する液路と；基体上に設けられた発熱抵抗
体と該発熱抵抗体に電気的に接続された一対の電極とを
有する前記熱エネルギーを発生させるための電気熱変換
体とを有し、例えば第２図の模式的展開斜視図に示すよ
うな構造を有する。
このような構成を有していた記録ヘッドのなかで、例え
ば、特開昭５５−１２８４６７号公報、特開昭５９−１
９４８６６号公報に開示された記録ヘッドは、第１図に
示すように、基体表面に熱エネルギーを発生するための
発熱抵抗体２０１と、これに電気信号を供給するための
電極２０９ 、２１０およびこれらを液体から保護する
保護層（２１３，２１４）を薄膜形成技術等により積層
し、この基板上に発熱抵抗体２０１と対応する液路２０
４と、吐出口２１７を構成したものであった。
ば、特開昭５５−１２８４６７号公報、特開昭５９−１
９４８６６号公報に開示された記録ヘッドは、第１図に
示すように、基体表面に熱エネルギーを発生するための
発熱抵抗体２０１と、これに電気信号を供給するための
電極２０９ 、２１０およびこれらを液体から保護する
保護層（２１３，２１４）を薄膜形成技術等により積層
し、この基板上に発熱抵抗体２０１と対応する液路２０
４と、吐出口２１７を構成したものであった。
上記保護層（２１３，２１４）の下部層２１３は主に電
極２０９．２１０間の絶縁性を保つための層として、ま
たその上部層２１４は耐液性と機械的強度の補強のため
の層として設けられる。
極２０９．２１０間の絶縁性を保つための層として、ま
たその上部層２１４は耐液性と機械的強度の補強のため
の層として設けられる。
上部層２１４の形成用材料としては、従来より貴金属、
（■族の元素等）、高融点遷移金属（■、■、■、■族
の元素等）、これらの合金、あるいはこれらの金属の窒
化物、ホウ化物、ケイ化物、炭化物または非晶質シリコ
ン等が知られている。
（■族の元素等）、高融点遷移金属（■、■、■、■族
の元素等）、これらの合金、あるいはこれらの金属の窒
化物、ホウ化物、ケイ化物、炭化物または非晶質シリコ
ン等が知られている。
［発明が解決しようとする問題点］
上記のような発熱抵抗体上に保護層を設けた構成の記録
ヘッドにおいては、その耐久寿命は発熱抵抗体上の保護
層の′性能に大きく依存する。
ヘッドにおいては、その耐久寿命は発熱抵抗体上の保護
層の′性能に大きく依存する。
つまり、この保護層は液体を気化するための熱及び液滴
吐出の際に生じるキャビテーション衝γおよび液体の化
学的作用を受るため、耐熱性、耐破傷性、耐液性、耐酸
化性等に優れたものでなければならない。
吐出の際に生じるキャビテーション衝γおよび液体の化
学的作用を受るため、耐熱性、耐破傷性、耐液性、耐酸
化性等に優れたものでなければならない。
ところが、これらの全ての要求を十分に満足する保護層
、特に保護層の上部層形成用材料は知られていなかった
。
、特に保護層の上部層形成用材料は知られていなかった
。
例えば、上記金属の窒化物、ホウ化物、ケイ化物、炭化
物からなる保護層では、キャビテーション衝撃による機
械的衝撃に弱い場合があり、これは化合物の原子結合が
共有結合性のためと推測される。
物からなる保護層では、キャビテーション衝撃による機
械的衝撃に弱い場合があり、これは化合物の原子結合が
共有結合性のためと推測される。
本発明者らは、上記の問題を解決するために、上述した
要求を満足する保護層形成用材料について種々の検討を
行なフなところ、上記の要求を全て満足する保護層の構
成を見い出すに至り本発明を完成した。
要求を満足する保護層形成用材料について種々の検討を
行なフなところ、上記の要求を全て満足する保護層の構
成を見い出すに至り本発明を完成した。
本発明の目的は、耐衝５性、耐熱性、耐破傷性、耐液性
、耐酸化性等に優れた保護層を有する液体噴射記録ヘッ
ド及び該ヘッド用基板を提供することにある。
、耐酸化性等に優れた保護層を有する液体噴射記録ヘッ
ド及び該ヘッド用基板を提供することにある。
［問題点を解決するための手段］
上記の目的を達成する本発明の液体噴射記録ヘッドは、
液体を吐出する吐出口と；該吐出口に連通し、液体を吐
出するために利用される熱エネルギーが液体に作用する
部分を有する液路と；発熱抵抗体と該発熱抵抗体に電気
的に接続された一対の電極とを有する前記熱エネルギー
を発生させるための電気熱変換体とを有する液体噴射記
録ヘッドにおいて、少なくとも前記発熱抵抗体上に、絶
縁層と、該絶縁層上の設けられたＴｉ、Ｚ「、Ｈｆ、Ｎ
ｂ、Ｔａ、Ｗからなる群より選ばれた１種以上の元素と
Ｆｅ、ＮｉおよびＣｒを含むアモルファス合金層とを有
する上部層を設けたことを特徴とする。
液体を吐出する吐出口と；該吐出口に連通し、液体を吐
出するために利用される熱エネルギーが液体に作用する
部分を有する液路と；発熱抵抗体と該発熱抵抗体に電気
的に接続された一対の電極とを有する前記熱エネルギー
を発生させるための電気熱変換体とを有する液体噴射記
録ヘッドにおいて、少なくとも前記発熱抵抗体上に、絶
縁層と、該絶縁層上の設けられたＴｉ、Ｚ「、Ｈｆ、Ｎ
ｂ、Ｔａ、Ｗからなる群より選ばれた１種以上の元素と
Ｆｅ、ＮｉおよびＣｒを含むアモルファス合金層とを有
する上部層を設けたことを特徴とする。
本発明の記録ヘッドの保護層の上部層の形成に用いる合
金の組成は、 Ｍｙ （Ｆ ｅ＋ｏｏ−ｙ−ｚ Ｎ ｉ 、 Ｃｒｚ
） ＋００−ｘで表わされ、Ｘはこの合金がアモルフ
ァス化する値に選ばれるものであり、例えば１０〜７０
原千％、好ましくは２０〜７０原子％の範囲とされる。
金の組成は、 Ｍｙ （Ｆ ｅ＋ｏｏ−ｙ−ｚ Ｎ ｉ 、 Ｃｒｚ
） ＋００−ｘで表わされ、Ｘはこの合金がアモルフ
ァス化する値に選ばれるものであり、例えば１０〜７０
原千％、好ましくは２０〜７０原子％の範囲とされる。
また、ｙは、５〜３０原子％、Ｚは１０〜３０原千％と
されるのが望ましい。
されるのが望ましい。
ＭはＴｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｗからなる群より
選ばれた１種以上の元素を表わす。すなわち、所望に応
じてこれらの元素を単独で、あるいはその複数を用いる
。
選ばれた１種以上の元素を表わす。すなわち、所望に応
じてこれらの元素を単独で、あるいはその複数を用いる
。
上記組成式で表わされるアモルファス合金膜は、耐熱性
、耐食性、機械的強度等の液体と直接接触する上部層の
構成材料として優れた性質を有する。
、耐食性、機械的強度等の液体と直接接触する上部層の
構成材料として優れた性質を有する。
このアモルファス合金膜を用い上部層（第１図で２１４
で示されたもの）の形成には、通常の薄膜堆積技術等を
適用可能であるが、緻密で高強度のアモルファス合金膜
か得易いという観点からは、スパッタリング法が好適で
ある。
で示されたもの）の形成には、通常の薄膜堆積技術等を
適用可能であるが、緻密で高強度のアモルファス合金膜
か得易いという観点からは、スパッタリング法が好適で
ある。
また、その形成時の基板を１００〜２００℃に加熱して
おくことによりより強い付着力が得られる。
おくことによりより強い付着力が得られる。
この上部層の膜厚は０．１〜５μｍ、好ましくは０．２
〜３μｍとされることが好ましい。
〜３μｍとされることが好ましい。
本発明の液体噴射記録ヘッドの上部層２１４以外の構成
は例えば第１図および第２図で示した構成に限られず、
いかなる構成を有していても良い。
は例えば第１図および第２図で示した構成に限られず、
いかなる構成を有していても良い。
なお、下部層形成用材料としては、５ｉｎ２、ＳｉＮな
どの耐熱性絶縁材料を挙げることができる。
どの耐熱性絶縁材料を挙げることができる。
［実施例］
以下実施例および比較例に従い本発明を更に詳細に説明
する。
する。
実施例１
その表面に熱酸化処理によって蓄熱層２０７としての５
μｍの５ｉｎ２膜が設けられているＳｉウェハー２０６
を基体として用い、その蓄熱層２０７上に発熱抵抗体層
２０８としてＨｆＢ２を１５００人の膜厚で成膜し、更
にその上にＡ１層を５０００Ａの膜厚でスパッタリング
法により成膜した。
μｍの５ｉｎ２膜が設けられているＳｉウェハー２０６
を基体として用い、その蓄熱層２０７上に発熱抵抗体層
２０８としてＨｆＢ２を１５００人の膜厚で成膜し、更
にその上にＡ１層を５０００Ａの膜厚でスパッタリング
法により成膜した。
次に、フォトリソ工程により第２図に示しような所望の
形状にＡ１層および発熱抵抗体層をバターニングして、
発熱抵抗体２０１と一対の電極２０９．２１０を有する
電気熱変換体を形成した。
形状にＡ１層および発熱抵抗体層をバターニングして、
発熱抵抗体２０１と一対の電極２０９．２１０を有する
電気熱変換体を形成した。
更に、この基板の上に保護層の下部層２１３としてのＳ
ｉＯ２を１μｍの厚さにスパッタリング法で積層した後
、スパッタリング法で膜厚０．５μｍのＴａ５ｏ（Ｆｅ
７３Ｎｉ＋ｏＣｒ＋ｙ）ｓｏをＳｉｎ□層上に積層した
。
ｉＯ２を１μｍの厚さにスパッタリング法で積層した後
、スパッタリング法で膜厚０．５μｍのＴａ５ｏ（Ｆｅ
７３Ｎｉ＋ｏＣｒ＋ｙ）ｓｏをＳｉｎ□層上に積層した
。
以上のようにして保護層により保護した電気熱変換体を
有する基板２０２上に、液路２０４となる溝を有するガ
ラス板２０３をエポキシ系接着剤を介して積層して第１
図および第２図に示したような構成を有する液体噴射記
録ヘッドを得た。
有する基板２０２上に、液路２０４となる溝を有するガ
ラス板２０３をエポキシ系接着剤を介して積層して第１
図および第２図に示したような構成を有する液体噴射記
録ヘッドを得た。
実施例２
上部層として厚さ２３００人のＴｉ２５（Ｆｅ７３Ｎｉ
、。Ｃｒ、、）、５をスパッタリングした以外は実施例
１と同様にして記録ヘッドを作製した。
、。Ｃｒ、、）、５をスパッタリングした以外は実施例
１と同様にして記録ヘッドを作製した。
実施例３
上部層として厚さ２０００人のＺｒ２ａ（Ｆｅ７３Ｎ
ｉ １ｏＣｒ １７） ７２をスパッタリングした以外
は実施例１と同様にして記録ヘッドを作製した。
ｉ １ｏＣｒ １７） ７２をスパッタリングした以外
は実施例１と同様にして記録ヘッドを作製した。
実施例４
上部層として厚さ２１００人のＨｆ ２１１ （Ｆ ｅ
７３Ｎ ｉ ＋ｏＣｒ １７） ７２をスパッタリン
グした以外は実施例１と同様にして記録ヘッドを作製し
た。
７３Ｎ ｉ ＋ｏＣｒ １７） ７２をスパッタリン
グした以外は実施例１と同様にして記録ヘッドを作製し
た。
実施例５
上部層として厚さ２４００人のＮｂ５ｓ（ＦｅｅａＮ
ｉ 目Ｃｒ２＋） ４４をスパッタリングした以外は実
施例１と同様にして記録ヘッドを作製した。
ｉ 目Ｃｒ２＋） ４４をスパッタリングした以外は実
施例１と同様にして記録ヘッドを作製した。
実施例６
上部層として厚さ２１００人のＷ３１ （Ｆ ｅ ６６
Ｎ ｓ １１Ｃｒ２．）６９をスパッタリングした以外
は実施例１と同様にして記録ヘッドを作製した。
Ｎ ｓ １１Ｃｒ２．）６９をスパッタリングした以外
は実施例１と同様にして記録ヘッドを作製した。
実施例７
上部層として厚さ２５００人のＴ ａ ＊２Ｔ １ ＋
ａ （Ｆ ｅ 、３Ｎ ｉ 、、Ｃｒ 、、） ｓｏを
スパッタリングした以外は実施例１と同様にして記録ヘ
ッドを作製した。
ａ （Ｆ ｅ 、３Ｎ ｉ 、、Ｃｒ 、、） ｓｏを
スパッタリングした以外は実施例１と同様にして記録ヘ
ッドを作製した。
実施例８
上部層として厚さ２５００人のＮ ｂ ２８２ ｒ ２
０ （Ｆ ｅ ７３Ｎ ｉ １ｏＣｒ １７） ５２を
スパッタリングした以外は実施例１と同様にして記録ヘ
ッドを作製した。
０ （Ｆ ｅ ７３Ｎ ｉ １ｏＣｒ １７） ５２を
スパッタリングした以外は実施例１と同様にして記録ヘ
ッドを作製した。
実施例９
上部層トシテ厚さ２５００人のＨｆ ３ＳＷ２２ （Ｆ
ｅ ７３Ｎ ｉ １０Ｃｒ １７） ４３をスパッタ
リングした以外は実施例１と同様にして記録ヘッドを作
製した。
ｅ ７３Ｎ ｉ １０Ｃｒ １７） ４３をスパッタ
リングした以外は実施例１と同様にして記録ヘッドを作
製した。
実施例１０
上部層として厚さ２５００人のＴ ａ ４ｏＴ ｉ １
３Ｎ ｂ ｚ（Ｆ ｅ ７３Ｎ ｉ ＋ｏＣｒ Ｉ７）
３６をスパッタリングした以外は実施例１と同様にし
て記録ヘッドを作製した。
３Ｎ ｂ ｚ（Ｆ ｅ ７３Ｎ ｉ ＋ｏＣｒ Ｉ７）
３６をスパッタリングした以外は実施例１と同様にし
て記録ヘッドを作製した。
比較例１
上部層として厚さ２４００人のＴ１９ （Ｆｅ、：＋Ｎ
ｉ＋。Ｃｒ 、７） ｇ、をスパッタリングした以外は
実施例１と同様にして記録ヘッドを作製した。
ｉ＋。Ｃｒ 、７） ｇ、をスパッタリングした以外は
実施例１と同様にして記録ヘッドを作製した。
なお、この組成を有する膜をＸ線回折測定で分析したと
ころ多結晶膜であった。
ころ多結晶膜であった。
以上の実施例１〜６および比較例１で得た記録ヘッドを
それぞれ用いて液体噴射記録用のインクを用いて以下の
条件で記録を行ない、その耐久性を試験した。
それぞれ用いて液体噴射記録用のインクを用いて以下の
条件で記録を行ない、その耐久性を試験した。
記録条件；駆動パルスを２ＫＨｚ、５μｓｅｃとし、印
加エネルギーは液体噴射閾値エネルギーの１．３倍とし
た。
加エネルギーは液体噴射閾値エネルギーの１．３倍とし
た。
得られた結果から作成した故障率のワイブルプロットを
第３図に示す。なお、発熱抵抗体の抵抗値が初期値の１
２０％を越えた時点を故障と認定した。
第３図に示す。なお、発熱抵抗体の抵抗値が初期値の１
２０％を越えた時点を故障と認定した。
第３図からも明らかであるように、比較例１で作製した
記録ヘッドに対し、実施例１〜ｌＯの本発明の記録ヘッ
ドは全て長寿命であった。
記録ヘッドに対し、実施例１〜ｌＯの本発明の記録ヘッ
ドは全て長寿命であった。
なお、上記耐久性試験における故障原因を調査したとこ
ろ、保護層の上部層の侵食が、保護層の下部層、さらに
は発熱抵抗体にまで及んだ結果故障が引き起されたこと
が判明した。
ろ、保護層の上部層の侵食が、保護層の下部層、さらに
は発熱抵抗体にまで及んだ結果故障が引き起されたこと
が判明した。
［発明の効果］
本発明の液体噴射記録ヘッド用基板を用いた記録ヘッド
は、液体と接触する保護層の上部層に特定の組成を有し
、耐熱性、耐液性、耐機械衝箪性等に優れたアモルファ
ス合金膜を用いたことにより、十分な耐久性を有し、極
めて長寿命で信頼性の高いものとなった。
は、液体と接触する保護層の上部層に特定の組成を有し
、耐熱性、耐液性、耐機械衝箪性等に優れたアモルファ
ス合金膜を用いたことにより、十分な耐久性を有し、極
めて長寿命で信頼性の高いものとなった。
第１図は液体噴射記録ヘッドの主要部の構造を示す部分
断面図、第２図は液体噴射記録ヘッドの主要部の構造を
示す展開斜視図、第３図は実施例および比較例で得た液
体噴射記録ヘッドの耐久性試験の結果を表わすワイブル
プロットである。 ２０１；発熱抵抗体 ２０２；基板 ２０３；天板 ２０４；液路 ２０５；液路壁 ２０６；基体 ２０７；蓄熱層 ２０８；発熱抵抗体層２０９．
２１０；電極 ２１３：保護層の下部層 ２１４：保護層の上部層 ２１７：吐出口
断面図、第２図は液体噴射記録ヘッドの主要部の構造を
示す展開斜視図、第３図は実施例および比較例で得た液
体噴射記録ヘッドの耐久性試験の結果を表わすワイブル
プロットである。 ２０１；発熱抵抗体 ２０２；基板 ２０３；天板 ２０４；液路 ２０５；液路壁 ２０６；基体 ２０７；蓄熱層 ２０８；発熱抵抗体層２０９．
２１０；電極 ２１３：保護層の下部層 ２１４：保護層の上部層 ２１７：吐出口
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）液体を吐出する吐出口と；該吐出口に連通し、液体
を吐出するために利用される熱エネルギーが液体に作用
する部分を有する液路と；発熱抵抗体と該発熱抵抗体に
電気的に接続された一対の電極とを有する前記熱エネル
ギーを発生させるための電気熱変換体とを有する液体噴
射記録ヘッドにおいて、少なくとも前記発熱抵抗体上に
、絶縁層と、該絶縁層上に設けられたＴｉ、Ｚｒ、Ｈｆ
、Ｎｂ、Ｔａ、Ｗからなる群より選らばれた１種以上の
元素とＦｅ、ＮｉおよびＣｒを含むアモルファス合金層
とを有する層を設けたことを特徴とする液体噴射記録ヘ
ッド。 ２）基体と、該基体上に設けられた発熱抵抗体と、所定
間隔をおいて前記発熱抵抗体に電気的に接続された一対
の電極とを有する電気熱変換体を具備する液体噴射記録
ヘッド用基板において、少なくとも前記発熱抵抗体上に
、絶縁層と、該絶縁層上に設けられたＴｉ、Ｚｒ、Ｈｆ
、Ｎｂ、Ｔａ、Ｗからなる群より選ばれた１種以上の元
素とＦｅ、ＮｉおよびＣｒを含むアモルファス合金層と
を有する層を設けたことを特徴とする液体噴射記録ヘッ
ド用基板。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62303713A JP2683350B2 (ja) | 1987-12-01 | 1987-12-01 | 液体噴射記録ヘッド及び該ヘッド用基板 |
| DE8888120023T DE3879891T2 (de) | 1987-12-01 | 1988-11-30 | Traegerschicht fuer fluessigkeitsstrahlkopf und fluessigkeitsstrahl vorrichtung, versehen mit solch einem kopf. |
| EP88120023A EP0318981B1 (en) | 1987-12-01 | 1988-11-30 | Liquid jet head, substrate for said head and liquid jet apparatus equipped with said head |
| US07/652,364 US5057856A (en) | 1987-12-01 | 1991-02-07 | Liquid jet head, substrate of (tizrhfnb) fenicr and liquid jet head and apparatus using the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62303713A JP2683350B2 (ja) | 1987-12-01 | 1987-12-01 | 液体噴射記録ヘッド及び該ヘッド用基板 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01145158A true JPH01145158A (ja) | 1989-06-07 |
| JP2683350B2 JP2683350B2 (ja) | 1997-11-26 |
Family
ID=17924356
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62303713A Expired - Fee Related JP2683350B2 (ja) | 1987-12-01 | 1987-12-01 | 液体噴射記録ヘッド及び該ヘッド用基板 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5057856A (ja) |
| EP (1) | EP0318981B1 (ja) |
| JP (1) | JP2683350B2 (ja) |
| DE (1) | DE3879891T2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001171127A (ja) * | 1999-10-05 | 2001-06-26 | Canon Inc | インクジェット記録ヘッド用基体、インクジェット記録ヘッド、インクジェット記録ユニットおよびインクジェット記録装置 |
| JP2001171126A (ja) * | 1999-10-05 | 2001-06-26 | Canon Inc | 発熱抵抗素子を備えたインクジェットヘッド用基板と、それを用いるインクジェットヘッド、インクジェット装置及び記録方法 |
Families Citing this family (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5483270A (en) * | 1990-02-26 | 1996-01-09 | Canon Kabushiki Kaisha | Substrate for ink jet head |
| ATE160729T1 (de) * | 1992-04-16 | 1997-12-15 | Canon Kk | Tintenstrahlaufzeichnungskopf und verfahren zu seiner herstellung und aufzeichnungsgerät damit versehen |
| JP3513270B2 (ja) * | 1995-06-30 | 2004-03-31 | キヤノン株式会社 | インクジェット記録ヘッド及びインクジェット記録装置 |
| US5901425A (en) | 1996-08-27 | 1999-05-11 | Topaz Technologies Inc. | Inkjet print head apparatus |
| JP3576888B2 (ja) | 1999-10-04 | 2004-10-13 | キヤノン株式会社 | インクジェットヘッド用基体、インクジェットヘッド及びインクジェット装置 |
| JP3720689B2 (ja) * | 2000-07-31 | 2005-11-30 | キヤノン株式会社 | インクジェットヘッド用基体、インクジェットヘッド、インクジェットヘッドの製造方法、インクジェットヘッドの使用方法およびインクジェット記録装置 |
| JP3710364B2 (ja) | 2000-07-31 | 2005-10-26 | キヤノン株式会社 | インクジェットヘッド |
| US20090049513A1 (en) * | 2007-08-17 | 2009-02-19 | Root Jason E | System and method for controlling a virtual environment of a user |
| WO2009134225A1 (en) | 2008-04-29 | 2009-11-05 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Printing device |
| JP5350205B2 (ja) * | 2009-12-16 | 2013-11-27 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッド用基板及び液体吐出ヘッド、およびその製造方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5913056A (ja) * | 1983-06-06 | 1984-01-23 | Res Inst Iron Steel Tohoku Univ | 高強度、耐疲労、耐全面腐食、耐孔食、耐隙間腐食、耐応力腐食割れ、耐水素脆性用アモルフアス鉄合金 |
Family Cites Families (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4296421A (en) * | 1978-10-26 | 1981-10-20 | Canon Kabushiki Kaisha | Ink jet recording device using thermal propulsion and mechanical pressure changes |
| DE3011919A1 (de) * | 1979-03-27 | 1980-10-09 | Canon Kk | Verfahren zur herstellung eines aufzeichnungskopfes |
| US4335389A (en) * | 1979-03-27 | 1982-06-15 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid droplet ejecting recording head |
| JPS5931942B2 (ja) * | 1979-03-27 | 1984-08-06 | キヤノン株式会社 | 液滴噴射記録装置 |
| US4336548A (en) * | 1979-07-04 | 1982-06-22 | Canon Kabushiki Kaisha | Droplets forming device |
| JPS5833472A (ja) * | 1981-08-24 | 1983-02-26 | Canon Inc | 液体噴射記録ヘツド |
| JPS59106974A (ja) * | 1982-12-11 | 1984-06-20 | Canon Inc | 液体噴射記録ヘツド |
| JPH0624855B2 (ja) * | 1983-04-20 | 1994-04-06 | キヤノン株式会社 | 液体噴射記録ヘッド |
| JPS60116452A (ja) * | 1983-11-30 | 1985-06-22 | Canon Inc | インクジェットヘッド |
| DE3446968A1 (de) * | 1983-12-26 | 1985-07-04 | Canon K.K., Tokio/Tokyo | Fluessigkeitsstrahlaufzeichnungskopf |
| US4756967A (en) * | 1985-05-25 | 1988-07-12 | Canon Kabushiki Kaisha | Magnetic recording medium |
| DE3618533A1 (de) * | 1985-06-10 | 1986-12-11 | Canon K.K., Tokio/Tokyo | Fluessigkeitsstrahl-aufzeichnungskopf und diesen fluessigkeitsstrahl-aufzeichnungskopf enthaltendes aufzeichnungssystem |
| DE3618596A1 (de) * | 1985-06-11 | 1986-12-11 | Canon K.K., Tokio/Tokyo | Fluessigkeitsstrahl-aufzeichnungskopf und diesen fluessigkeitsstrahl-aufzeichnungskopf enthaltendes aufzeichnungssystem |
-
1987
- 1987-12-01 JP JP62303713A patent/JP2683350B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1988
- 1988-11-30 DE DE8888120023T patent/DE3879891T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1988-11-30 EP EP88120023A patent/EP0318981B1/en not_active Expired - Lifetime
-
1991
- 1991-02-07 US US07/652,364 patent/US5057856A/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5913056A (ja) * | 1983-06-06 | 1984-01-23 | Res Inst Iron Steel Tohoku Univ | 高強度、耐疲労、耐全面腐食、耐孔食、耐隙間腐食、耐応力腐食割れ、耐水素脆性用アモルフアス鉄合金 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001171127A (ja) * | 1999-10-05 | 2001-06-26 | Canon Inc | インクジェット記録ヘッド用基体、インクジェット記録ヘッド、インクジェット記録ユニットおよびインクジェット記録装置 |
| JP2001171126A (ja) * | 1999-10-05 | 2001-06-26 | Canon Inc | 発熱抵抗素子を備えたインクジェットヘッド用基板と、それを用いるインクジェットヘッド、インクジェット装置及び記録方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2683350B2 (ja) | 1997-11-26 |
| DE3879891D1 (de) | 1993-05-06 |
| EP0318981B1 (en) | 1993-03-31 |
| DE3879891T2 (de) | 1993-08-05 |
| EP0318981A3 (en) | 1990-01-10 |
| EP0318981A2 (en) | 1989-06-07 |
| US5057856A (en) | 1991-10-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4596994A (en) | Liquid jet recording head | |
| US4335389A (en) | Liquid droplet ejecting recording head | |
| JP2612580B2 (ja) | 液体噴射記録ヘッド及び該ヘッド用基板 | |
| JPS5833472A (ja) | 液体噴射記録ヘツド | |
| JPS59194866A (ja) | 液体噴射記録ヘツド | |
| US4694306A (en) | Liquid jet recording head with a protective layer formed by converting the surface of a transducer into an insulating material | |
| JP2971473B2 (ja) | インクジェットヘッド及び該ヘッド用基体の製造方法 | |
| JPH0466700B2 (ja) | ||
| JPH01145158A (ja) | 液体噴射記録ヘッド及び該ヘッド用基板 | |
| JPH0555307B2 (ja) | ||
| JP2002113870A5 (ja) | ||
| JPS59106974A (ja) | 液体噴射記録ヘツド | |
| GB2188004A (en) | Liquid jet recording head | |
| JPS5943315B2 (ja) | 液滴噴射記録ヘツド | |
| KR100560717B1 (ko) | 잉크젯 헤드 기판, 잉크젯 헤드 및 잉크젯 헤드 기판의제조방법 | |
| JPS6131263A (ja) | 液体噴射記録ヘツド | |
| JPS60116453A (ja) | 液体噴射記録ヘツド | |
| US6547372B1 (en) | Ink jet head | |
| JPH0118867B2 (ja) | ||
| JPH0512150B2 (ja) | ||
| JPH02281951A (ja) | インクジェット記録ヘッドおよび該記録ヘッド用基体 | |
| JPS60159060A (ja) | 液体噴射記録ヘツド | |
| JPS63191648A (ja) | インクジエツト記録ヘツド | |
| JPH08118646A (ja) | インクジェットヘッド及び該ヘッドの製造法 | |
| JPS60157869A (ja) | 液体噴射記録ヘツド |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |