JPH01145658A - Ｌｓｉマスク - Google Patents
ＬｓｉマスクInfo
- Publication number
- JPH01145658A JPH01145658A JP62305098A JP30509887A JPH01145658A JP H01145658 A JPH01145658 A JP H01145658A JP 62305098 A JP62305098 A JP 62305098A JP 30509887 A JP30509887 A JP 30509887A JP H01145658 A JPH01145658 A JP H01145658A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lsi
- mask
- recesses
- lsi mask
- outer edge
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 101100269850 Caenorhabditis elegans mask-1 gene Proteins 0.000 abstract description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 3
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
Landscapes
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明はＬＳＩマスク（レティクル： ｒｅｔｉｃｌｅ
）に関し、特にＬＳＩの製造に用いるＬＳＩマスクに
関する。
）に関し、特にＬＳＩの製造に用いるＬＳＩマスクに
関する。
従来技術
従来この種のＬＳＩマスクはその形状が四角形の板状で
あった。その従来例を図面を用いて説明する。
あった。その従来例を図面を用いて説明する。
第２図は従来のＬＳＩマスクの形状を示す概略図である
。図において、従来のＬＳＩマスク１は表面にＬＳＩパ
ターン２を有し、四角形の板状となっていた。したがっ
て、その外縁部４は各辺が直線の形状となっていた。そ
のため、手で持つ際に持ちにくくかつ落し易いという欠
点があった。
。図において、従来のＬＳＩマスク１は表面にＬＳＩパ
ターン２を有し、四角形の板状となっていた。したがっ
て、その外縁部４は各辺が直線の形状となっていた。そ
のため、手で持つ際に持ちにくくかつ落し易いという欠
点があった。
発明の目的
本発明の目的は、手で持ち易くかつ落しにくいＬＳＩマ
スクを提供することである。
スクを提供することである。
発明の構成
本発明のＬＳＩマスクは、外縁部にすべり止めを有する
ことを特徴とする。
ことを特徴とする。
実施例
以下、図面を用いて本発明の詳細な説明する。
第１図は本発明によるＬＳＩマスクの一実施例の形状を
示す概略図であり、第２図と同等部分は同一符号により
示す。図において本発明の一実施例によるＬＳＩマスク
１は、表面にし３１パターン２を有し、その外縁部４の
対向する２辺にすべり止めとして凹部３及び５が設けら
れている。そして、作業者等が手で持つ際にはこれら凹
部及び３及び５を指で保持することにより、持ち易くか
つ落しにくいのである。
示す概略図であり、第２図と同等部分は同一符号により
示す。図において本発明の一実施例によるＬＳＩマスク
１は、表面にし３１パターン２を有し、その外縁部４の
対向する２辺にすべり止めとして凹部３及び５が設けら
れている。そして、作業者等が手で持つ際にはこれら凹
部及び３及び５を指で保持することにより、持ち易くか
つ落しにくいのである。
ここで重要なことは、凹部３及び５の大きさはＬＳＩの
製造に影響のない大きさとすることであり、指で保持し
易い大きさとしたものを設ければ十分である。
製造に影響のない大きさとすることであり、指で保持し
易い大きさとしたものを設ければ十分である。
また、外縁部４に凹部３を設けたことにより、ＬＳＩマ
スクの方向を判別することもできるのである。
スクの方向を判別することもできるのである。
なお、本実施例においては凹部３は円弧状の切欠きとし
ているが、■字形や四角形のり欠きとしてもよいことは
明らかである。
ているが、■字形や四角形のり欠きとしてもよいことは
明らかである。
また、本実施例においては外縁部にすべり止めとして凹
部を設けているが、代りに凸状のすべり止めを設けたり
、外縁部を波状にしてもよいことは明らかである。
部を設けているが、代りに凸状のすべり止めを設けたり
、外縁部を波状にしてもよいことは明らかである。
さらにまた、本実施例においては外縁部の対向する２辺
にすべり止めを設けているが、４辺全部にすべり止めを
設けてもよいことは明らかである。
にすべり止めを設けているが、４辺全部にすべり止めを
設けてもよいことは明らかである。
１１立１１
以上説明したように本発明は、ＬＳＩマスクの外縁部に
すべり止めを設けることにより、手で持ち易くかつ落し
にくいという効果がある。
すべり止めを設けることにより、手で持ち易くかつ落し
にくいという効果がある。
また、本発明は、ＬＳＩマスクの外縁部に凹状のすべり
止めを設けることにより、ＬＳＩマスクの方向を判別す
ることができるという効果もある。
止めを設けることにより、ＬＳＩマスクの方向を判別す
ることができるという効果もある。
第１図は本発明の実施例によるＬＳＩマスクの形状を示
す概略図、第２図は従来のＬＳＩマスクの形状を示す概
略図である。 主要部分の符号の説明 １・・・・・・ＬＳＩマスク ３．５・・・・・・凹部 ４・・・・・・外縁部
す概略図、第２図は従来のＬＳＩマスクの形状を示す概
略図である。 主要部分の符号の説明 １・・・・・・ＬＳＩマスク ３．５・・・・・・凹部 ４・・・・・・外縁部
Claims (1)
- 外縁部にすベり止めを有することを特徴とするＬＳＩ
マスク。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62305098A JPH01145658A (ja) | 1987-12-02 | 1987-12-02 | Ｌｓｉマスク |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62305098A JPH01145658A (ja) | 1987-12-02 | 1987-12-02 | Ｌｓｉマスク |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01145658A true JPH01145658A (ja) | 1989-06-07 |
Family
ID=17941079
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62305098A Pending JPH01145658A (ja) | 1987-12-02 | 1987-12-02 | Ｌｓｉマスク |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01145658A (ja) |
-
1987
- 1987-12-02 JP JP62305098A patent/JPH01145658A/ja active Pending
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