JPH01147352A - 元素分布度の評価方法 - Google Patents
元素分布度の評価方法Info
- Publication number
- JPH01147352A JPH01147352A JP62306302A JP30630287A JPH01147352A JP H01147352 A JPH01147352 A JP H01147352A JP 62306302 A JP62306302 A JP 62306302A JP 30630287 A JP30630287 A JP 30630287A JP H01147352 A JPH01147352 A JP H01147352A
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- JP
- Japan
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- ray intensity
- positions
- ray
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明はエックス線微小分析器による元素分布度の評価
に用いることができる元素分布度の評価方法に関するも
のである。
に用いることができる元素分布度の評価方法に関するも
のである。
従来の技術
近年、元素分布度の評価方法は、しばしば工。
クス線微小分析器により行われている。
以下、上述した従来の元素分布度の評価方法について説
明する。
明する。
従来の元素分布度の評価方法は、エックス線微小分析器
で、被測定試料を２次元にステップ的に移動する工程と
、前記被測定試料各位置での被測定元素のエックス線強
度を測定する工程と、前記測定により得られた各位置で
のエックス線強度の値を平均し平均値を求めると同時に
標準偏差を求める工程と、チャート上に前記エックス線
強度の値と前記平均値との差を表示する工程を有し、前
記標準偏差を前記平均値で除すことによって得られる（
！！（以下変動率と称す）と前記チャート（以下単にチ
ャートと称す）とで被測定元素の分布度を評価する方法
であった。
で、被測定試料を２次元にステップ的に移動する工程と
、前記被測定試料各位置での被測定元素のエックス線強
度を測定する工程と、前記測定により得られた各位置で
のエックス線強度の値を平均し平均値を求めると同時に
標準偏差を求める工程と、チャート上に前記エックス線
強度の値と前記平均値との差を表示する工程を有し、前
記標準偏差を前記平均値で除すことによって得られる（
！！（以下変動率と称す）と前記チャート（以下単にチ
ャートと称す）とで被測定元素の分布度を評価する方法
であった。
発明が解決しようとする問題点
しかしながら上記のような元素分布度の評価方法では、
被評価物同士の相対位置関係が考慮されていないので、
例えば、評価物が磁気記録材料における研磨材のように
粒子として敗らばっているような物では、試料間の比較
に於いて、チャートにより比較した結果と、変動率によ
り比較した結果とが一致しないという問題点を有してい
た。
被評価物同士の相対位置関係が考慮されていないので、
例えば、評価物が磁気記録材料における研磨材のように
粒子として敗らばっているような物では、試料間の比較
に於いて、チャートにより比較した結果と、変動率によ
り比較した結果とが一致しないという問題点を有してい
た。
本発明は上記問題点に鑑み、被評価物同士の相対位置関
係を示す要素を有すると共に、他の資料と照合すること
なく単独で定量的に被測定試料の元素分布度の評価を行
える元素分布度の評価方法を提供するものである。
係を示す要素を有すると共に、他の資料と照合すること
なく単独で定量的に被測定試料の元素分布度の評価を行
える元素分布度の評価方法を提供するものである。
問題点を解決するための手段
上記問題点を解決するために本発明の元素分布度の評価
方法は、エックス線微小分析器で、被測定試料を２次元
にステップ的に移動する工程と、前記被測定試料各位置
での被測定元素のエックス線強度を測定する工程と、前
記測定により得られた各位置でのエックス線強度の値を
平均し平均値を求めると同時に標準偏差を求める工程と
、前記平均値と前記各位置で測定されたエックス線強度
を比較し前記平均値より強いエックス線強度の測定され
た位置の数Ｎを求める工程と、前記平均値より強いエッ
クス線強度の測定された位置を囲む位置のエックス線強
度が前記平均値以上になっている場合の位置の数を、そ
れら前記平均値より強いエックス線強度が測定された一
群の位置と隣合う位置のエックス線強度が前記平均値よ
り小さくなるまでの位置の数を一つとして数えた時に得
られる数Ｍを求める工程を有し、前記標準偏差を前記平
均値で除した値即ち変動率に、前記数Ｍを前記数Ｎで除
した値（以下変動率補正係数と称す）を乗じることによ
って得られる値で被測定元素の分布度を評価するという
工程を備えたものである。
方法は、エックス線微小分析器で、被測定試料を２次元
にステップ的に移動する工程と、前記被測定試料各位置
での被測定元素のエックス線強度を測定する工程と、前
記測定により得られた各位置でのエックス線強度の値を
平均し平均値を求めると同時に標準偏差を求める工程と
、前記平均値と前記各位置で測定されたエックス線強度
を比較し前記平均値より強いエックス線強度の測定され
た位置の数Ｎを求める工程と、前記平均値より強いエッ
クス線強度の測定された位置を囲む位置のエックス線強
度が前記平均値以上になっている場合の位置の数を、そ
れら前記平均値より強いエックス線強度が測定された一
群の位置と隣合う位置のエックス線強度が前記平均値よ
り小さくなるまでの位置の数を一つとして数えた時に得
られる数Ｍを求める工程を有し、前記標準偏差を前記平
均値で除した値即ち変動率に、前記数Ｍを前記数Ｎで除
した値（以下変動率補正係数と称す）を乗じることによ
って得られる値で被測定元素の分布度を評価するという
工程を備えたものである。
作用
本発明は上記した工程によって被評価物同士の相対位置
関係を表す変動率補正係数で変動率を補正するため、従
来の変動率による評価に比べ、被評価物の分布度をより
詳細に、より定量的に把握することとなり、さら番こチ
ャートの示す内容と良く一致することとなる。
関係を表す変動率補正係数で変動率を補正するため、従
来の変動率による評価に比べ、被評価物の分布度をより
詳細に、より定量的に把握することとなり、さら番こチ
ャートの示す内容と良く一致することとなる。
実施例
以下本発明の一実施例の分布度の評価方法について、図
面を参照しながら説明する。
面を参照しながら説明する。
図は本発明の一実施例における分布度の評価方法の変動
率補正係数算出法を示すフローチャートである。１は被
評価元素のエックス線強度の平均値と各位置で測定され
たエックス線強度を比較し平均値より強いエックス線強
度の測定された位置の数Ｎを求める工程を、２は平均値
より強いエックス線強度の測定された位置を囲む位置の
エックス線強度が前記平均値以上になっているかどうか
を判別する工程を、３は２の工程で一群の被評価元素と
判別された群の総数である数Ｍを求める工程を、４は前
記数ＮとＭより変動率補正係数をＭ／Ｎの式で求める工
程を示している。
率補正係数算出法を示すフローチャートである。１は被
評価元素のエックス線強度の平均値と各位置で測定され
たエックス線強度を比較し平均値より強いエックス線強
度の測定された位置の数Ｎを求める工程を、２は平均値
より強いエックス線強度の測定された位置を囲む位置の
エックス線強度が前記平均値以上になっているかどうか
を判別する工程を、３は２の工程で一群の被評価元素と
判別された群の総数である数Ｍを求める工程を、４は前
記数ＮとＭより変動率補正係数をＭ／Ｎの式で求める工
程を示している。
以上のような工程を経て求められた変動率補正係数を、
標準偏差を平均値で除して得られる変動率に乗すること
により得られた値を用いて、分布度の評価を行う。
標準偏差を平均値で除して得られる変動率に乗すること
により得られた値を用いて、分布度の評価を行う。
以上のように本実施例によれば、平均値より強いエック
ス線強度の測定された位置を囲む位置のエックス線強度
が前記平均値以上になっている場合の位置の数を、それ
ら前記平均値より強いエックス線強度が測定された一群
の位置と隣合う位置のエックス線強度が前記平均値より
小さくなるまでの位置の数を一つとして数えた時に得ら
れる数Ｍを設けることにより、例えば、磁気記録材料の
研磨材（例えばＡ１□０３）の分布度の評価に適用した
場合、ＡＩの凝集体の数を求めることができ、得られた
値を用いて補正係数を求め変動率を補正することにより
、ビデオテープ中のＡ１□ｏ３の分布度を把握すること
ができる。
ス線強度の測定された位置を囲む位置のエックス線強度
が前記平均値以上になっている場合の位置の数を、それ
ら前記平均値より強いエックス線強度が測定された一群
の位置と隣合う位置のエックス線強度が前記平均値より
小さくなるまでの位置の数を一つとして数えた時に得ら
れる数Ｍを設けることにより、例えば、磁気記録材料の
研磨材（例えばＡ１□０３）の分布度の評価に適用した
場合、ＡＩの凝集体の数を求めることができ、得られた
値を用いて補正係数を求め変動率を補正することにより
、ビデオテープ中のＡ１□ｏ３の分布度を把握すること
ができる。
発明の効果
以上のように本発明は前記平均値と前記各位置で測定さ
れたエックス線強度を比較し前記平均値より強いエック
ス線強度の測定された位置の数Ｎを求める工程と、前記
平均値より強いエックス線強度の測定された位置を囲む
位置のエックス線強度が前記平均値以上になっている場
合の位置の数を、それら前記平均値より強いエックス線
強度が測定された一群の位置と隣合う位置のエックス線
強度が前記平均値より小さくなるまでの位置の数を一つ
として数えた時に得られるＩＭを求める工程を有し、前
記標準偏差を前記平均値で除した値に前記数Ｍを前記数
Ｎで除した値、即ち変動率補正係数を設けることにより
、被評価物の相対位置関係を把握できるという優れた効
果が得られる。
れたエックス線強度を比較し前記平均値より強いエック
ス線強度の測定された位置の数Ｎを求める工程と、前記
平均値より強いエックス線強度の測定された位置を囲む
位置のエックス線強度が前記平均値以上になっている場
合の位置の数を、それら前記平均値より強いエックス線
強度が測定された一群の位置と隣合う位置のエックス線
強度が前記平均値より小さくなるまでの位置の数を一つ
として数えた時に得られるＩＭを求める工程を有し、前
記標準偏差を前記平均値で除した値に前記数Ｍを前記数
Ｎで除した値、即ち変動率補正係数を設けることにより
、被評価物の相対位置関係を把握できるという優れた効
果が得られる。
その効果により、補正された変動率は従来の変動率に比
べ、被評価物の分布度をより詳細に、より定量的に表す
ことができる。特に、被評価物が粒状となって被測定試
料中に存在している場合は、とりわけ効果が大きい。
べ、被評価物の分布度をより詳細に、より定量的に表す
ことができる。特に、被評価物が粒状となって被測定試
料中に存在している場合は、とりわけ効果が大きい。
図は本発明の一実施例における分布度の評価方法の、変
動率補正係数算出法のフローチャートである。 １・・・・・・数Ｎを求める工程、２・・・・・・相対
位置関係の判別工程、３・・・・・・数Ｍを求める工程
、４・・・・・・変動率補正係数を求める工程。
動率補正係数算出法のフローチャートである。 １・・・・・・数Ｎを求める工程、２・・・・・・相対
位置関係の判別工程、３・・・・・・数Ｍを求める工程
、４・・・・・・変動率補正係数を求める工程。
Claims (1)
- エックス線微小分析器で、被測定試料を２次元にステッ
プ的に移動する工程と、前記被測定試料各位置での被測
定元素のエックス線強度を測定する工程と、前記測定に
より得られた各位置でのエックス線強度の値を平均し平
均値を求めると同時に標準偏差を求める工程と、前記平
均値と前記各位置で測定されたエックス線強度を比較し
前記平均値より強いエックス線強度の測定された位置の
数Ｎを求める工程と、前記平均値より強いエックス線強
度の測定された位置を囲む位置のエックス線強度が前記
平均値以上になっている場合の位置の数を、それら前記
平均値より強いエックス線強度が測定された一群の位置
と隣合う位置のエックス線強度が前記平均値より小さく
なるまでの位置の数を一つとして数えた時に得られる数
Ｍを求める工程とを有し、前記標準偏差を前記平均値で
除した値に前記数Ｍを前記数Ｎで除した値を乗じること
によって得られる値で被測定元素の分布度を評価するこ
とを特徴とする元素分布度の評価方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62306302A JPH01147352A (ja) | 1987-12-03 | 1987-12-03 | 元素分布度の評価方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62306302A JPH01147352A (ja) | 1987-12-03 | 1987-12-03 | 元素分布度の評価方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01147352A true JPH01147352A (ja) | 1989-06-09 |
Family
ID=17955467
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62306302A Pending JPH01147352A (ja) | 1987-12-03 | 1987-12-03 | 元素分布度の評価方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01147352A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005201640A (ja) * | 2004-01-13 | 2005-07-28 | Jeol Ltd | 試料評価方法及び試料評価装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5788355A (en) * | 1980-11-21 | 1982-06-02 | Shimadzu Corp | Apparatus for x-ray analysis |
-
1987
- 1987-12-03 JP JP62306302A patent/JPH01147352A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5788355A (en) * | 1980-11-21 | 1982-06-02 | Shimadzu Corp | Apparatus for x-ray analysis |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005201640A (ja) * | 2004-01-13 | 2005-07-28 | Jeol Ltd | 試料評価方法及び試料評価装置 |
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