JPH01148482A - 圧延ロールのレーザダル加工方法及び装置 - Google Patents

圧延ロールのレーザダル加工方法及び装置

Info

Publication number
JPH01148482A
JPH01148482A JP62303716A JP30371687A JPH01148482A JP H01148482 A JPH01148482 A JP H01148482A JP 62303716 A JP62303716 A JP 62303716A JP 30371687 A JP30371687 A JP 30371687A JP H01148482 A JPH01148482 A JP H01148482A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
laser
roll
center
reflection
reflected
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP62303716A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2542016B2 (ja
Inventor
Shunji Fujiwara
藤原 俊二
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
JFE Steel Corp
Original Assignee
Kawasaki Steel Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kawasaki Steel Corp filed Critical Kawasaki Steel Corp
Priority to JP62303716A priority Critical patent/JP2542016B2/ja
Publication of JPH01148482A publication Critical patent/JPH01148482A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2542016B2 publication Critical patent/JP2542016B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 【産業上の利用分野】
本発明は、圧延ロールのレーザダル加工方法及び装置に
係り、特に、圧延ロール軸方向にレーザトーチを移動さ
せ、該圧延ロールを回転させながら該レーザトーチより
該圧延ロール表面にレーザ光を照射してダル加工を施す
=際に用いるのに好適な、圧延ロールのレーザダル加工
装置及び装置の改良に関する。
【従来の技術】
冷延鋼板圧延の圧延ロールには、ダル加工を施したもの
がある。このダル加工とは、ロール表面を梨地肌に加工
するものであり、このダル加工の施された圧延ロールで
圧延し冷延鋼板を製造すれば、該鋼板表面層を見え難く
し、あるいは製品鋼板の塗装の密着性を向上させること
ができる。−方、自動車や家庭用電気製品の外板用冷延
鋼板はプレス成形、塗装工程を経てそれら製品に加工さ
れることから、該冷延鋼板には高い鮮映性が要求さ。れ
る。従って、該冷延鋼板を圧延する際には、前記ダル加
工の施された圧延ロールで圧延するのが一般的である。 前記圧延ロールをダル加工する方法にはグリッドを高速
でロール表面に投射する方法の他にレーザビーム(コリ
メートされたレーザ光をいう)をロール表面に照射して
行う方法がある。 このようなレーザビームによる圧延ロールのダル加工方
法には、従来から、第6図に示されるように、短いピッ
チの断続レーザビーム10を回転する圧延ロール12表
面に垂直にレーザトーチ(図示省略)から照射するよう
にしながら、該レーザトーチを該圧延ロール12の回転
軸と平行に移動させて、圧延ロール12表面を溶融させ
てダル目付を行うものがある。なお、前記断続レーザビ
ーム10は、連続的なレーザビームを図中符号14で示
されるようなチョッパによって透過、遮断を繰返して断
続することにより、作成されるものである。
【発明が解決しようとする問題点】
しかしながら、前記従来のダル加工方法の如く、チョッ
パ14によって断続レーザビーム10を作成すると、チ
ョッパ14を透過したレーザビームはそのまま圧延ロー
ル12のダル加工に使用されるが、該チョッパ14で遮
断されるレーザビームはチョッパ14の表面で反射され
るため前記ダル加工に使用されず、そのレーザビームの
エネルギが無駄なものとなってしまい、又、そのエネル
ギの無駄な分だけダル加工時間が延びてしまうという問
題がある。 即ち、−殻内に、第7図に示されるように、チョッパ1
4に入射するレーザ入射光16は、該チョッパ14によ
ってレーザ透過光16Aとレーザ反射光16Bに分けら
れるが、このうちレーザ反射光16Bはダル加工に使用
されず、そのエネルギ分が無駄となってしまうのである
【発明の目的】
本発明は、前記従来の問題点を解消すべくなされたもの
で、断続レーザ光を作成する際のエネルギの無駄を解消
し、レーザ光のエネルギ全量をダル加工に使用できるよ
うにし、電力エネルギの削減及び加工時間の短縮を図る
ことができる圧延ロールのレーザダル加工方法及び装置
を提供することを目的とする。
【問題点を解決するための手段】
本発明は、圧延ロール軸方向にレーザトーチを移動させ
、該圧延ロールを回転させながら該レーザトーチより該
圧延ロール表面にレーザ光を照射してダル加工を施す圧
延ロールのレーザダル加工方法において、反射方向の異
なる2種類の反射面が交互にその周面上に設けられてい
て、且つ、前記各反射面の形状が次式に従って決定され
る回転反射体を回転させながら、前記反射面にレーザ光
を該回転反射体中心に向って入射させ、前記2種類の反
射面から交互に反射されるレーザ反射光を、それぞれ異
なる光路を経て前記圧延ロール上の異なる被加工箇所に
照射すると共に、前記2種類の反射面が交わる稜から前
記回転反射体中心までの距離をr1咳回転反射体中心を
中心とした前記稜からの角度をθ(rad)、前記反射
面に所望される反射角をαとした場合に、前記反射面上
の角度θ(rad)に対応する箇所から前記回転反射体
中心までの距MRを次式の関係 R= r(1−θ−tana )   ・−・−” (
1)で決定することにより、前記目的を達成したもので
ある。 又、本発明は、圧延ロール軸方向にレーザトーチを移動
させる手段と、該圧延ロールを回転させながら該レーザ
トーチより該圧延ロール表面にレーザ光を照射してダル
加工を施す手段とを有する圧延ロールのレーザダル加コ
ニ装置において、反射方向の異なる2種類の反射面が交
互にその周面上に設けられ、且つ、該反射面の形状が次
式に従って決定されていて、回転しながらレーザ光を反
射するための回転反射体と、前記2種類の反射面にレー
ザ光を該回転反射体中心に向って入射するための手段と
、前記種類の反射面から交互に反射されるレーザ反射光
を、それぞれ異なる光路を経て前記圧延ロール上の異な
る被加工箇所に導くための手段と、導かれたレーザ反射
光を集束させて、前記被加工箇所に照射するためのレン
ズ部材とを備え、前記2種類の反射面が交わる稜から前
記回転反射体中心までの距離をr1該回転体中心を中心
とした前記稜からの角度をθ(rad)、前記反射面に
所望される反射角をαとした場合に、前記反射面上の角
度θ(rad)に対応する箇所から前記回転反射体中心
までの距離Rを前記(1)式の関係で決定することによ
り、同じく前記目的を達成したものである。
【作用】
本発明においては、回転反射体の周面に反射方向の異な
る2種類の反射面を交互に設け、且つ、それら各反射面
の各部から回転反射体の中心までの距離Rを前記(1)
式で決定されるものとしている。 即ち、第1図に前記回転反射体の一例を示す。 図のように前記回転反射体18は、中心軸20を中心と
した回転体としての断面形状を有するものであり、その
周面には2種類の反射面22A、22Bが交互に隣り合
って形成されている。なお、図中符@24は各反射面2
2A、22B交わる稜、26は回転反射体18の回転中
心、LCは前記稜24の回転軌跡である。 ここで、前記回転反射体18の各反射面22A。 22Bが交わる稜24から各反射面22A、22Bへか
けての詳細な形状を第2図に示す。第2図に示されるよ
うに、前記稜24から回転反射体中心26までの距fl
irが回転中心26から回転体周囲面(即ち、反射面2
2A、228表面)までの最大距離である。又、’fp
”J2反射面22A、22Bの各断面形状は、回転中心
26を中心として、前記稜24と回転中心26を結んだ
基準線SLより角度θ(rad)回転した位冒における
回転中心26から反射面22Aまでの距離Rが、前出(
1)式で決定される断面形状に形成されている。なお、
第2図においては前記基準線SLから左回転方向に回転
する角度θ(rad)をとった距離Rを示しであるが、
前記基準線SLから右側の反射面22Bについては、前
記基準線SLを基準として右回転方向に角度θ(rad
)をとり、回転中心26が反則面22B表面までの距M
Rが前出(1)式で決定されている。 前記のようにして(1)式の距1lilRに従って反射
面22A、22Bの断面形状を決定とすると、反射面2
2A、22B上のいずれの微小部分においても、円周方
向接線に・対する反射面方向接線の角度即ち反射角がα
となる。第2図には、綾24付近の微小角dθ(rad
)に対する円周と反射面の微小長さ分を前記各接線と近
似して反射角αを示している。 従って、前記回転反射体中心に向って入射して、1つの
種類の反射面22Aに入射したレーザ入射光16は、第
3図(A>に示されるように、反射角αで反射され、第
1のレーザ反射光28Aとなる。又、前記回転反射体1
8を回転させてレーザ入射光16を反射する反射面を反
射面22Aから他の反射面22Bに変えれば、同図<8
)に示されるように前記レーザ入射光16は反射光28
Aとは違う方向に反射角αで反射され第2のレーザ反射
光28Bとなる。 前記の如く各反射面22A、22Bから第1、第2のレ
ーザ反射光28A、28Bが反射してくるため、前記回
転反射体18を回転させ、レーザ入射光16を例えば回
転反射体中心に向って入射させて各反射面22A、22
Bに同じ入射角度十α、−αで交互に入射すれば、前記
入射光16に対する第1、第2のレーザ反射光28A、
28Bの角度が±2αで振分けられて反射してくること
となる。 前記のように各反射面22A、22B?’交互に反射さ
れた第1、第2のレーザ反射光28A、28Bを、例え
ば、後に説明する第4図に示されるような第1、第2の
光路31A、31Bを経て圧延ロール12表面の異なる
被加工箇所30A、30Bに照射することができる。 従って、前記回転反射体18を例えば一定回転速度で回
転させて前記第1、第2のレーザ反射光28A128B
を圧延ロール12のダル加工に使用ずれば、従来のレー
ザトーチでは第5図(A)に示されるような1条の螺旋
軌跡のダル目、(叩ち加工後の被加工箇所)30しか得
られないのに対して同図(B)に示されるように2条の
螺旋v1跡のダル目30A、30Bを得ることができ、
効率的なダル加工を達成できる。 以上のことから、本発明によりレーザダル加工を行えば
、前記従来のチョッパによりレーザ光を遮断、透過して
断続レーザ光を作成するレーザダル加工方式に比べて、
エネルギの損失が反射の際に反射面で熱吸収される等の
損失のみとなり、圧延ロールに入射できるダル加工用エ
ネルギに、従来の方式でレーザ光を遮断した際に無駄に
していたエネルギ分も含めることができる。よって、レ
ーザ発振器からのレーザ光の出力を従来法と同じ出力が
発生ザるようにすれば、ダル加工の供給電力原単位が減
少すると共に、加工能率が向上する。 又、前記チョッパは一般にレーザ光を等間隔で遮断、透
過しているため、本発明によりダル加工用エネルギが2
倍となり前記電力原単位が半減し加工能率が2倍となる
。 なお、稜で交わる隣り合った反射面の回転方向の長さを
異なるものとすれば、圧延ロール上のダル目ピッチが1
条毎に互い違いのものとなり、変形ダル目パターンを圧
延ロール上に得ることができる。 又、回転反射体の各反射面を鏡面に仕上げ、金めつきを
施せば、反射効率が高まるため、各反射面の表面焼付け
による損傷を防止することができる。 更に、前記圧延ロールに入射される各レーザ反射光を、
レンズ部材により被加工箇所上に集束させて照射するよ
うにすれば、照射するレーザ光の拡散を防止して被加工
個所に集中でき、効率良く圧延ロール表面のレーザダル
加工ができる。
【実施例】
以下、図面を参照して、本発明の実施例を詳雅に説明す
る。 この実施例は、前出第1図及び第4図に示したような、
反射方向の異なる2種類の反射面22A122Bが交互
にその周面上に設けられていて、且つ、前記各反射面2
2A、22Bの形状が前出(1)式に従って決定される
、回転しなからレーザ入射光16を反射するための回転
反射体18(この回転中心は図の符号26で示す位置と
なる)と、該回転反射体18に入射するためのレーザ光
16を発生照射するレーザ発振器32と、前記回転反射
体18の各種類の反射面22A、22Bから交互に反射
される第1、第2のレーザ反射光28A、28Bを、そ
れぞれ異なる光路を経て前記圧延ロール12上の異なる
被加工箇所30A、30Bに導くための第1の光路31
A及び第2の光路31Bと、導かれた第1、第2のレー
ザ反射光28A、28Bを集束させて圧延ロール12上
の被加工箇所30A、30Bに照射するための集束レン
ズ34A、34Bとを備えたレーザトーチで圧延ロール
のレーザダル加工を行うレーザダル加工装置である。 前記レーザ発振器32から照射されたレーザ光8は−H
入射用ミラー36で反射されその方向が変えられた後、
入射光用レンズ38で集束されて回転反射体中心26に
向いながら反射面22A122Bに入射する。 ここで、第1の反射面22Aにレーザ入射光16が入射
した場合には、前出第3図(A)及び第4図に示したよ
うに、該入射光16が反射角αで反射されて第1のレー
ザ反則光28Aとなり第1の光路31Aを経るようにな
っている。この第1の光路31Aには、前記反射光28
Aを集束するための反射光用レンズ40Aと、集束され
た反射光28Aの向きを変えるための第1のミラー42
A1第2のミラー44Aと、前記集束レンズ34Aとが
備えられており、この第1の光路31Aを経た第1のレ
ーザ反射光28Aが被加工箇所30Aに入射するように
なっている。 又、前記レーザ入射光16が前記第2の反射面22Bに
入射した場合には前出第3図(B)及び第4図に示した
ように、該入射光16が反射角αで前記反射光28Aと
は、入射光16に対して反対方向に反射されて第2のレ
ーザ反射光28Bとなり、第2の光路31Bを経るよう
になっている。 この第2の光路31Bに前記第1の光路31Aに備えら
れたものと同様の機能を有する反射光用レンズ40Bと
、第1のミラー42Bと、第2のミラー44Bと、集束
レンズ38Bとが備えらでおり、この第2の光路を経た
第2のレーザ反射光28Bが被加工箇所30Bに入射す
るようになっている。 なお、前記回転反射体18の各反射面22A、22Bは
その表面を鏡面に仕上げ、金めつぎを施すことができる
。これにより、反射効率が高まり、表面焼付けによる前
記反射体18の損傷が防止できる。 又、レーザ発振器32から発振、放射されたレーザ光8
は前記回転反射体18に直接に入射するのではなく、入
射用ミラー36で反射され、入射光用レンズ38で集束
されて前記反射面22A122Bに入射するようになっ
ているため、入射光用ミラー36で反射できる範囲であ
れば任意の入射角で、且p1比較的遠方からレーザ光8
を入射することができる。このため、レーザ発振器32
の設置の自由度が高くなる。 又、前記入射光用レンズ38は、その焦点が前記反射面
22A、22B近傍となるように位置決めされている。 以下、実施例の作用を説明する。 この実施例で圧延ロール12のレーザダル加工を行う際
には、まず、回転反射体18を回転させ、その際同時に
レーザ発振器32からレーザ光8を発振、放射させ、入
射光用ミラー38でそのレーザ光8を反射して向きを変
え、入射光用レンズ38で該レーザ光8を絞った後、回
転反射体中心26に向いながら前記回転反射体18にレ
ーザ入射光16として入射する。 そして、入射されたレーザ入射光16は、前記回転反射
体18上の各反射面22A、22Bで交互に反射されて
各々第1、第2のレーザ反射光28A、28Bとなる。 これら第1、第2のレーザ反射光28A、28Bは、各
々の反射光用レンズ40A、40Bで平行ビームとされ
、第1のミラー42A、42Bで反射して光の方向を変
えられ、更に、第2のミラー44A、44Bで圧延ロー
ル12表面に垂直に入射するように光の方向を変えられ
て、集束レンズ34A、34Bで集束された後、前記圧
延ロール12表面にあたる。このように第1、第2のレ
ーザ反射光28A、28Bを圧延ロール12、表面に当
てながら、前記レーザトーチを圧延ロール12軸方向に
移動させて圧延ロール12表面の被加工箇所30A、3
0Bのレーザダル加工を行う。 上記のようにして、レーザダル加工を行うと、加工の後
(軌跡)は第5図(B)に示されるような2条のダル目
ピッチを有するダル加工を行うことができる。 又、前記反射面22A、22Bの回転方向長さを違うも
のとすれば、圧延ロール上のダル目ピッチは1条毎に互
い違いのダル目ピッチを有する2条の変形ダル目パター
ンを得ることができる。 なお、前記実施例においては、第1図に示される構成の
レーザトーチに本発明を実施した構成例を示したが、本
発明を実施するレーザトーチは図の構成のものに限定さ
れるものではない。 即ち、例えば第1、第2の光路31A、31Bのレンズ
及び、ミラーで充分に集束されたレーザ反射光が得られ
るのであれば集光レンズ34A、34Bを設ける必要が
なくなる。 又、前記光路のミラー、レンズの組み合わせはレーザ反
射光の減衰が問題とならない範囲内で、自由に選べるも
のであり、又、前記光路中に光ファイバを用いてレーザ
光を導くようにすることかできる。 【発明の効果) 以上説明した通り、本発明によれば、従来法において生
じていた断続レーザ光を作成する際のエネルギ損失を解
消し、レーザのエネルギ全量を使用して圧延ロールのダ
ル加工ができるため、電力エネルギの削減及び加工時間
の短縮を図ることができる。よって、レーザ発振器で従
来法と同じ出力を発生させれば供給電力原単位が減少し
、加工能率が向上づる等の擾れた効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係る回転反射体の構成例を示す断面図
、第2図は前記回転反射体の要部断面図、第3図は前記
回転反射体の反射面におけるレーザ反射の例を示ず要部
断面図、第4図は本発明の実によりレーザダル加工した
圧延ロール表面の加工軌跡の例を示す斜視図、第6図は
従来法によるレーザダル加工の例を示す斜視図、第7図
は前記従来法で断続レーザを作成する際のレーザビーム
の遮断透過の例を示す断面図である。 8・・・レーザ光、 12・・・圧延ロール、  16・・・レーザ入射光、
18・・・回転反射体、  2o・・・中心軸、22A
、22B・・・反射面、 24・・・稜、      26・・・回転反射体中心
、28A、28B・・・第1、第2のレーザ反射光、3
0A、30B・・・被加工箇所、 31A、31B・・・第1、第2の光路、32・・・レ
ーザ発振器、 34A、34B・・・集束レンズ、 36・・・入射光用ミラー、 38・・・入射光用レンズ、 40A140B・・・反射光用レンズ、42A、42B
・・・第1のミラー、 44A、44B・・・第2のミラー。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)圧延ロール軸方向にレーザトーチを移動させ、該
    圧延ロールを回転させながら該レーザトーチより該圧延
    ロール表面にレーザ光を照射してダル加工を施す圧延ロ
    ールのレーザダル加工方法において、 反射方向の異なる2種類の反射面が交互にその周面上に
    設けられていて、且つ、前記各反射面の形状が次式に従
    つて決定される回転反射体を回転させながら、前記反射
    面にレーザ光を該回転反射体中心に向つて入射させ、 前記2種類の反射面から交互に反射されるレーザ反射光
    を、それぞれ異なる光路を経て前記圧延ロール上の異な
    る被加工箇所に照射すると共に、前記2種類の反射面が
    交わる稜から前記回転反射体中心までの距離をに、該回
    転反射体中心を中心とした前記稜からの角度をθ(ra
    d)、前記反射面に所望される反射角αとした場合に、
    前記反射面上の角度θに対応する箇所から前記回転反射
    体中心までの距離Rを次式の関係 R=r(1−θ・tanα) で決定するようにしたことを特徴とする圧延ロールのレ
    ーザダル加工方法。
  2. (2)圧延ロール軸方向にレーザトーチを移動させる手
    段と、該圧延ロールを回転させながら該レーザトーチよ
    り該圧延ロール表面にレーザ光を照射してダル加工を施
    す手段とを有する圧延ロールのレーザダル加工装置にお
    いて、 反射方向の異なる2種類の反射面が交互にその周面上に
    設けられ、且つ、該反射面の形状が次式に従つて決定さ
    れていて、回転しながらレーザ光を反射するための回転
    反射体と、 前記2種類の反射面にレーザ光を該回転反射体中心に向
    つて入射するための手段と、 前記2種類の反射面から交互に反射されるレーザ反射光
    を、それぞれ異なる光路を経て前記圧延ロール上の異な
    る被加工箇所に導くための手段と、導かれたレーザ反射
    光を集束させて、前記被加工箇所に照射するためのレン
    ズ部材とを備え、前記2種類の反射面が交わる稜から前
    記回転反射体中心までの距離をr、該回転反射体中心を
    中心とした前記稜からの角度をθ(rad)、前記反射
    面に所望される反射角をαとした場合に、前記反射面上
    の角度θに対応する箇所から前記回転反射体中心までの
    距離Rを次式の関係 R=r(1−θ・tanα) で決定するようにしたことを特徴とする圧延ロールのレ
    ーザダル加工装置。
JP62303716A 1987-12-01 1987-12-01 圧延ロ―ルのレ―ザダル加工方法及び装置 Expired - Lifetime JP2542016B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP62303716A JP2542016B2 (ja) 1987-12-01 1987-12-01 圧延ロ―ルのレ―ザダル加工方法及び装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP62303716A JP2542016B2 (ja) 1987-12-01 1987-12-01 圧延ロ―ルのレ―ザダル加工方法及び装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH01148482A true JPH01148482A (ja) 1989-06-09
JP2542016B2 JP2542016B2 (ja) 1996-10-09

Family

ID=17924397

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP62303716A Expired - Lifetime JP2542016B2 (ja) 1987-12-01 1987-12-01 圧延ロ―ルのレ―ザダル加工方法及び装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2542016B2 (ja)

Also Published As

Publication number Publication date
JP2542016B2 (ja) 1996-10-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN107646093B (zh) 用于借助于激光辐射加工材料的装置
US6331692B1 (en) Diode laser, laser optics, device for laser treatment of a workpiece, process for a laser treatment of workpiece
EP0669863B1 (en) Process and apparatus for welding and other heat treatments
US5138490A (en) Arrangement for changing the geometrical form of a light beam
US20130175243A1 (en) Laser Drilling and Trepanning Device
US20190275609A1 (en) Laser Machining Systems and Methods
JPH07227686A (ja) 光伝送装置及び光照射方法
JPH05293730A (ja) レーザ加工可能な複合型工作機械
JPH10111471A (ja) レーザ光学系およびレーザ溶接装置
KR102570759B1 (ko) 레이저 절삭 가공장치 및 이의 가공방법
US12076816B2 (en) Laser scanner and laser machining device
CN121061323B (zh) 多焦点点环光斑生成系统和激光焊接方法
KR20090106561A (ko) 광학 스캐너 및 그 애플리케이션
JPH11245074A (ja) レーザ加工機におけるレーザビームの焦点スポット径可変装置
JPH01148482A (ja) 圧延ロールのレーザダル加工方法及び装置
JPS6317035B2 (ja)
KR100597906B1 (ko) 공작기계의 레이저 가공을 위한 장치
JP4523757B2 (ja) レーザ加工装置および加工方法
JPS6121193Y2 (ja)
JP7710452B2 (ja) レーザービームを使用する材料加工、特にレーザー穴あけを行うアセンブリ
RU2283738C1 (ru) Установка для лазерной обработки
JP2002316289A (ja) レーザ加工装置
JPH04143092A (ja) レーザ加工装置
JP2007277636A (ja) レーザ焼入れ方法
JP2003080389A (ja) レーザ加工装置、レーザ加工方法、およびレーザ加工された被加工物を有する物品の製造方法