JPH01148697U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01148697U JPH01148697U JP4290488U JP4290488U JPH01148697U JP H01148697 U JPH01148697 U JP H01148697U JP 4290488 U JP4290488 U JP 4290488U JP 4290488 U JP4290488 U JP 4290488U JP H01148697 U JPH01148697 U JP H01148697U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heat
- resistant material
- wire
- heating body
- leader wire
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
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Landscapes
- Resistance Heating (AREA)
Description
第１図は本考案の第１実施例、第２図は本考案
の第２実施例、第３図は従来の加熱体で、いずれ
も加熱体の長手方向の断面図を示す。 ６……耐熱材、７……保護材、４４……引出線
。
の第２実施例、第３図は従来の加熱体で、いずれ
も加熱体の長手方向の断面図を示す。 ６……耐熱材、７……保護材、４４……引出線
。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ シランガス（ＳｉＨ４）雰囲気中に設置され
る、ＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄ
ｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）薄膜形成装置用の加熱体で
あつて、電熱線を埋設している電気絶縁性の熱伝
導体と、前記電熱線に接続され前記熱伝導体の外
側一方に引き出されている引出線を備えたものに
おいて、前記引出線を、前記熱伝導体に連接して
電気絶縁性の耐熱材で覆い、引出線は該耐熱材か
らさらに外側に延長し、引出線が前記耐熱材から
引き出される出口端部における耐熱材の表面温度
がＳｉの結晶化温度未満になるように、前記耐熱
材による覆いが延長していることを特徴とする棒
状加熱体。 ２ 耐熱材を鋼製パイプの保護材で保護した実用
新案登録請求の範囲第１項記載の棒状加熱体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4290488U JPH01148697U (ja) | 1988-04-01 | 1988-04-01 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4290488U JPH01148697U (ja) | 1988-04-01 | 1988-04-01 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01148697U true JPH01148697U (ja) | 1989-10-16 |
Family
ID=31269306
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4290488U Pending JPH01148697U (ja) | 1988-04-01 | 1988-04-01 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01148697U (ja) |
-
1988
- 1988-04-01 JP JP4290488U patent/JPH01148697U/ja active Pending