JPH01148710A - 結晶質酸化第二セリウムゾルの製造法 - Google Patents
結晶質酸化第二セリウムゾルの製造法Info
- Publication number
- JPH01148710A JPH01148710A JP62306575A JP30657587A JPH01148710A JP H01148710 A JPH01148710 A JP H01148710A JP 62306575 A JP62306575 A JP 62306575A JP 30657587 A JP30657587 A JP 30657587A JP H01148710 A JPH01148710 A JP H01148710A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sol
- gel
- acid
- present
- added
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 229910000422 cerium(IV) oxide Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 31
- CETPSERCERDGAM-UHFFFAOYSA-N ceric oxide Chemical compound O=[Ce]=O CETPSERCERDGAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 30
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 11
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 22
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims abstract description 19
- 150000008044 alkali metal hydroxides Chemical class 0.000 claims abstract description 9
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 claims abstract description 8
- 229940044927 ceric oxide Drugs 0.000 claims description 23
- -1 cerium salt compound Chemical class 0.000 claims description 10
- 239000002253 acid Substances 0.000 abstract description 17
- 238000000576 coating method Methods 0.000 abstract description 16
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 abstract description 14
- VYLVYHXQOHJDJL-UHFFFAOYSA-K cerium trichloride Chemical compound Cl[Ce](Cl)Cl VYLVYHXQOHJDJL-UHFFFAOYSA-K 0.000 abstract description 4
- 239000012535 impurity Substances 0.000 abstract description 3
- 229910004664 Cerium(III) chloride Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 abstract 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 18
- 238000010335 hydrothermal treatment Methods 0.000 description 15
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 14
- 238000000034 method Methods 0.000 description 11
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 10
- 239000010408 film Substances 0.000 description 10
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 10
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 8
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 7
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 7
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 6
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 6
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 6
- VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N Ammonium hydroxide Chemical compound [NH4+].[OH-] VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 description 5
- 235000011114 ammonium hydroxide Nutrition 0.000 description 5
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 5
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 5
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 4
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 4
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 4
- 238000011282 treatment Methods 0.000 description 4
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 4
- WMFOQBRAJBCJND-UHFFFAOYSA-M Lithium hydroxide Chemical compound [Li+].[OH-] WMFOQBRAJBCJND-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 239000003082 abrasive agent Substances 0.000 description 3
- 239000011358 absorbing material Substances 0.000 description 3
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 3
- 229960000583 acetic acid Drugs 0.000 description 3
- VZDYWEUILIUIDF-UHFFFAOYSA-J cerium(4+);disulfate Chemical compound [Ce+4].[O-]S([O-])(=O)=O.[O-]S([O-])(=O)=O VZDYWEUILIUIDF-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 3
- 229910000355 cerium(IV) sulfate Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 3
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 3
- 239000000047 product Substances 0.000 description 3
- PAWQVTBBRAZDMG-UHFFFAOYSA-N 2-(3-bromo-2-fluorophenyl)acetic acid Chemical compound OC(=O)CC1=CC=CC(Br)=C1F PAWQVTBBRAZDMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- AEMRFAOFKBGASW-UHFFFAOYSA-N Glycolic acid Chemical compound OCC(O)=O AEMRFAOFKBGASW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 2
- BFNBIHQBYMNNAN-UHFFFAOYSA-N ammonium sulfate Chemical compound N.N.OS(O)(=O)=O BFNBIHQBYMNNAN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052921 ammonium sulfate Inorganic materials 0.000 description 2
- 235000011130 ammonium sulphate Nutrition 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- XMPZTFVPEKAKFH-UHFFFAOYSA-P ceric ammonium nitrate Chemical compound [NH4+].[NH4+].[Ce+4].[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O XMPZTFVPEKAKFH-UHFFFAOYSA-P 0.000 description 2
- 239000000084 colloidal system Substances 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 238000011161 development Methods 0.000 description 2
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 2
- 235000013305 food Nutrition 0.000 description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 2
- JVTAAEKCZFNVCJ-UHFFFAOYSA-N lactic acid Chemical compound CC(O)C(O)=O JVTAAEKCZFNVCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 2
- BDAGIHXWWSANSR-UHFFFAOYSA-N methanoic acid Natural products OC=O BDAGIHXWWSANSR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000003472 neutralizing effect Effects 0.000 description 2
- 229910000069 nitrogen hydride Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 2
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 2
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 2
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- SFKTYEXKZXBQRQ-UHFFFAOYSA-J thorium(4+);tetrahydroxide Chemical compound [OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[Th+4] SFKTYEXKZXBQRQ-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 2
- 238000004627 transmission electron microscopy Methods 0.000 description 2
- NWUYHJFMYQTDRP-UHFFFAOYSA-N 1,2-bis(ethenyl)benzene;1-ethenyl-2-ethylbenzene;styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1.CCC1=CC=CC=C1C=C.C=CC1=CC=CC=C1C=C NWUYHJFMYQTDRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OSWFIVFLDKOXQC-UHFFFAOYSA-N 4-(3-methoxyphenyl)aniline Chemical compound COC1=CC=CC(C=2C=CC(N)=CC=2)=C1 OSWFIVFLDKOXQC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000000703 Cerium Chemical class 0.000 description 1
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M Chloride anion Chemical compound [Cl-] VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- KZBUYRJDOAKODT-UHFFFAOYSA-N Chlorine Chemical compound ClCl KZBUYRJDOAKODT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 1
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 description 1
- 239000008186 active pharmaceutical agent Substances 0.000 description 1
- 238000011276 addition treatment Methods 0.000 description 1
- 150000001447 alkali salts Chemical class 0.000 description 1
- 150000003863 ammonium salts Chemical class 0.000 description 1
- FZIZEIAMIREUTN-UHFFFAOYSA-N azane;cerium(3+) Chemical compound N.[Ce+3] FZIZEIAMIREUTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 1
- 238000005119 centrifugation Methods 0.000 description 1
- VGBWDOLBWVJTRZ-UHFFFAOYSA-K cerium(3+);triacetate Chemical compound [Ce+3].CC([O-])=O.CC([O-])=O.CC([O-])=O VGBWDOLBWVJTRZ-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- HSJPMRKMPBAUAU-UHFFFAOYSA-N cerium(3+);trinitrate Chemical compound [Ce+3].[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O HSJPMRKMPBAUAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OZECDDHOAMNMQI-UHFFFAOYSA-H cerium(3+);trisulfate Chemical compound [Ce+3].[Ce+3].[O-]S([O-])(=O)=O.[O-]S([O-])(=O)=O.[O-]S([O-])(=O)=O OZECDDHOAMNMQI-UHFFFAOYSA-H 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 238000010981 drying operation Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000000706 filtrate Substances 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 235000019253 formic acid Nutrition 0.000 description 1
- 238000004108 freeze drying Methods 0.000 description 1
- 239000012362 glacial acetic acid Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M hydroxide Chemical compound [OH-] XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 239000003456 ion exchange resin Substances 0.000 description 1
- 229920003303 ion-exchange polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000004310 lactic acid Substances 0.000 description 1
- 235000014655 lactic acid Nutrition 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 229910001510 metal chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000006386 neutralization reaction Methods 0.000 description 1
- 239000005304 optical glass Substances 0.000 description 1
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 229920006254 polymer film Polymers 0.000 description 1
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 1
- 238000010298 pulverizing process Methods 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 239000003381 stabilizer Substances 0.000 description 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 1
- 239000012209 synthetic fiber Substances 0.000 description 1
- 229920002994 synthetic fiber Polymers 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- XJDNKRIXUMDJCW-UHFFFAOYSA-J titanium tetrachloride Chemical compound Cl[Ti](Cl)(Cl)Cl XJDNKRIXUMDJCW-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 238000001291 vacuum drying Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 230000004580 weight loss Effects 0.000 description 1
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01F—COMPOUNDS OF THE METALS BERYLLIUM, MAGNESIUM, ALUMINIUM, CALCIUM, STRONTIUM, BARIUM, RADIUM, THORIUM, OR OF THE RARE-EARTH METALS
- C01F17/00—Compounds of rare earth metals
- C01F17/20—Compounds containing only rare earth metals as the metal element
- C01F17/206—Compounds containing only rare earth metals as the metal element oxide or hydroxide being the only anion
- C01F17/224—Oxides or hydroxides of lanthanides
- C01F17/235—Cerium oxides or hydroxides
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Geology (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Compounds Of Alkaline-Earth Elements, Aluminum Or Rare-Earth Metals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は結晶質酸化第二セリウムゾル及びその製造方法
に関する。
に関する。
酸化第二セリウムは、研磨材、触媒、IC基板のマスキ
ング剤、紫外線吸収剤、ガラスの消色剤、電子線吸収剤
、セラミック誘電体などに利用されている。本発明はこ
れら利用分野の内、紫外線吸収ガラス、紫外線吸収高分
子フィルム、プラスチック、合成繊維の耐液性改良等に
適用できる優れた紫外線吸収材料を供与するものである
。
ング剤、紫外線吸収剤、ガラスの消色剤、電子線吸収剤
、セラミック誘電体などに利用されている。本発明はこ
れら利用分野の内、紫外線吸収ガラス、紫外線吸収高分
子フィルム、プラスチック、合成繊維の耐液性改良等に
適用できる優れた紫外線吸収材料を供与するものである
。
(従来の技術)
近年、透光性に優れた紫外線吸収ガラスやフィルムの開
発が行われている。従来、このようなガラスを得る方法
は、紫外線吸収能を有する金属酸化物等をガラス成分と
ともに溶融し製造されていた。
発が行われている。従来、このようなガラスを得る方法
は、紫外線吸収能を有する金属酸化物等をガラス成分と
ともに溶融し製造されていた。
また、化学蒸着法(CVD法)によりガラス表面に金属
酸化物を蒸着させるコーティング方法も開発されている
。
酸化物を蒸着させるコーティング方法も開発されている
。
しかし、化学蒸着法では、原料として一般に金属の無水
塩化物を使用する結果、I1着時に腐食性の塩素ガスが
発生したり、密閉炉内で高温下に蒸着させるため、この
時の蒸着ガスのコントロールが難しく、均一な薄膜を得
ることが困難であった。
塩化物を使用する結果、I1着時に腐食性の塩素ガスが
発生したり、密閉炉内で高温下に蒸着させるため、この
時の蒸着ガスのコントロールが難しく、均一な薄膜を得
ることが困難であった。
更には、この際に使用する装置は大型化し、製造コスト
が高くなるなどの欠点があった。
が高くなるなどの欠点があった。
また、金属の物理的蒸着法(PVD法)によると、ガラ
ス面に可視光を吸収する金属の薄膜が形成されるため、
ガラスの透光性は著しく低下し、囚って透光性の悪い暗
いガラスとなることで、この方法によるものは使用用途
が制限されていた。
ス面に可視光を吸収する金属の薄膜が形成されるため、
ガラスの透光性は著しく低下し、囚って透光性の悪い暗
いガラスとなることで、この方法によるものは使用用途
が制限されていた。
一方、最近では自動車等のガラスに紫外線吸収能を持た
せる要望が高く、従来以上に大型ガラスの表面処理技術
が必要であり、蒸着法では益々困難、且つコスl−にと
なる傾向にある。
せる要望が高く、従来以上に大型ガラスの表面処理技術
が必要であり、蒸着法では益々困難、且つコスl−にと
なる傾向にある。
従って、CVD法やPVD法に代わって、安価で大型品
に対しても均一な薄膜が形成できる方法の開発が要望さ
れている。
に対しても均一な薄膜が形成できる方法の開発が要望さ
れている。
また、食品包装用のフィルム等についても紫外線による
プラスチックの光酸化劣化の防止、または食品の変質防
止のため、有機紫外線吸収剤に代わる無害の代替品の要
望が高まりつつあるのが現状である。
プラスチックの光酸化劣化の防止、または食品の変質防
止のため、有機紫外線吸収剤に代わる無害の代替品の要
望が高まりつつあるのが現状である。
(発明が解決しようとする問題点)
本発明者らはこれらの実情に鑑み、透光性、紫外線吸収
性に優れ、更には使用時の分散性、コーテイング性等の
緒特性に於て優れる紫外線吸収材料を得るべく、結晶質
ゾルについて鋭意研究を重ねた結果、結晶質酸化第二七
リウムからなる本発明の新規なゾルが紫外線吸収材料と
して優れることを見出し、係る知見に基づき本発明を完
成したものである。
性に優れ、更には使用時の分散性、コーテイング性等の
緒特性に於て優れる紫外線吸収材料を得るべく、結晶質
ゾルについて鋭意研究を重ねた結果、結晶質酸化第二七
リウムからなる本発明の新規なゾルが紫外線吸収材料と
して優れることを見出し、係る知見に基づき本発明を完
成したものである。
(問題点を解決するための手段)
即ち、本発明は結晶質酸化第二セリウムゾル及びその製
造法に関し、水筒−の発明は、粒子径300大以下の酸
化第二セリウムゾルであり、また本第二の発明は、セリ
ウム塩化合物とアルカリ金属の水酸化物またはアンモニ
アとを反応させゲルを生成させた後、これを水熱処理す
ることを特徴とする結晶質酸化第二セリウムゾルの製造
法である。
造法に関し、水筒−の発明は、粒子径300大以下の酸
化第二セリウムゾルであり、また本第二の発明は、セリ
ウム塩化合物とアルカリ金属の水酸化物またはアンモニ
アとを反応させゲルを生成させた後、これを水熱処理す
ることを特徴とする結晶質酸化第二セリウムゾルの製造
法である。
(作 用)
先ず、水筒−の発明である結晶質酸化第二セリウムゾル
について以下詳記する。
について以下詳記する。
従来、結晶質の酸化第二セリウムゾルについては全く知
られていない。
られていない。
水溶性のセリウム塩化合物をアルカリ剤で中和する際に
、溶液がゾル状となる場合がある。しかし、これはごく
一部の中和析出物が、−時的にコロイドレベルの大きさ
になったためにゾル状となるものであり、このものは非
晶質か或いは水酸化物の粒子からなるゾル状物である。
、溶液がゾル状となる場合がある。しかし、これはごく
一部の中和析出物が、−時的にコロイドレベルの大きさ
になったためにゾル状となるものであり、このものは非
晶質か或いは水酸化物の粒子からなるゾル状物である。
従って、中和反応が進むとこの析出物は大きく成長して
沈澱となり、溶液はゾル状からゲル状となる。
沈澱となり、溶液はゾル状からゲル状となる。
また、セリウム塩化合物の酸根をイオン交換樹脂で除去
するか、或いはセリウム塩化合物を中和して得たゲルを
当量以下の酸に溶解させることにより(例えば、塩酸の
場合組成として、Ce(O)l)、C14−ゎで示され
るようなものが得られる)、塩基性塩水溶液またはゾル
状物を得ることができる。
するか、或いはセリウム塩化合物を中和して得たゲルを
当量以下の酸に溶解させることにより(例えば、塩酸の
場合組成として、Ce(O)l)、C14−ゎで示され
るようなものが得られる)、塩基性塩水溶液またはゾル
状物を得ることができる。
しかし、このような方法により得られるゾル状物は、全
て非晶質であり、且つ不安定なものである。
て非晶質であり、且つ不安定なものである。
これに対して、本発明の酸化第二セリウムゾルは結晶質
であり、またこれが300A以下という極めて微細なコ
ロイド粒子であり、且つ水溶液状態で安定であって、数
ケ月間放置しても沈降することはない。
であり、またこれが300A以下という極めて微細なコ
ロイド粒子であり、且つ水溶液状態で安定であって、数
ケ月間放置しても沈降することはない。
このようなゾルは従来全く知られていなかったものであ
り、酸化第二セリウム系複合材料の適用分野に於て、新
たな用途を生み出すものである。
り、酸化第二セリウム系複合材料の適用分野に於て、新
たな用途を生み出すものである。
本発明の結晶質酸化第二セリウムゾルの特徴を更に挙げ
れば次の通りである。
れば次の通りである。
第一に、本発明のゾルは、溶液状態で酸化第二セリウム
として40%以上の高濃度のゾルで得ることができる。
として40%以上の高濃度のゾルで得ることができる。
非晶質のゾルは、一般に高粘性であるが、本発明のゾル
は低粘度で高濃度のゾルであることがら、紫外線吸収材
、電子線吸収材、IC基板のマスキング剤等への使用時
には、−回のコーティング作業で所望の膜厚のものを調
製でき、優れた性能のコーテイング膜を得ることができ
る。
は低粘度で高濃度のゾルであることがら、紫外線吸収材
、電子線吸収材、IC基板のマスキング剤等への使用時
には、−回のコーティング作業で所望の膜厚のものを調
製でき、優れた性能のコーテイング膜を得ることができ
る。
また、非晶質ゾルのような低濃度高粘性のもののコーテ
ィングでは、乾燥時にクラックが発生し易い。そのため
、希釈して多数回コーティングをしなければならないが
、乾燥程度では2回目以降にもどり現象が起こる。
ィングでは、乾燥時にクラックが発生し易い。そのため
、希釈して多数回コーティングをしなければならないが
、乾燥程度では2回目以降にもどり現象が起こる。
従って、コーティングの都度、焼成して酸化第二セリウ
ム質とした後、再度コーティングを行わなければならず
、これは工業的にがなり煩雑な作業となる。
ム質とした後、再度コーティングを行わなければならず
、これは工業的にがなり煩雑な作業となる。
第二に、本発明のゾルをコーテイング後乾燥したものは
、CeO2と安定化剤のみとなり、水分を殆ど含有して
いないため、これを焼成しても重量減少が少なく、因っ
て堅牢なコーティング被膜が得られる。
、CeO2と安定化剤のみとなり、水分を殆ど含有して
いないため、これを焼成しても重量減少が少なく、因っ
て堅牢なコーティング被膜が得られる。
この場合に、本発明のゾルに代えてセリウム塩水溶液を
用いると、乾燥してもまだ多くの酸根や結晶水を残すこ
とから、基板上に結晶析出する等、皮膜はポーラスとな
り、堅牢なコーテイング膜が得られない。
用いると、乾燥してもまだ多くの酸根や結晶水を残すこ
とから、基板上に結晶析出する等、皮膜はポーラスとな
り、堅牢なコーテイング膜が得られない。
第三に、本発明のゾルは、研磨剤としても優れた特質を
有するものである。
有するものである。
酸化第二セリウムは、一般に酸化ジルコニウムや弁柄に
比べて優れた研磨力を有することから、適用分野の中で
研磨剤として大きな需要をしめている。
比べて優れた研磨力を有することから、適用分野の中で
研磨剤として大きな需要をしめている。
近年の技術の進歩により、光学ガラス、単結晶や透光性
セラミックの表面精度への要求が厳密となり、研磨剤と
しては、より細かい砥粒のものが要望されている。本発
明のゾルは、粒子径が小さく、均一であると共に、結晶
質であることから研磨力が高く、またその結晶粒子径も
所望のものが75I!lJでき、これら研磨剤として要
求される性能を満たすものである。
セラミックの表面精度への要求が厳密となり、研磨剤と
しては、より細かい砥粒のものが要望されている。本発
明のゾルは、粒子径が小さく、均一であると共に、結晶
質であることから研磨力が高く、またその結晶粒子径も
所望のものが75I!lJでき、これら研磨剤として要
求される性能を満たすものである。
尚、本発明に於いてコロイド粒子径の測定は、電子顕微
鏡観察により行ったが、本発明のゾルは、実質上全ての
コロイド粒子が300λ以下の粒子径であった。
鏡観察により行ったが、本発明のゾルは、実質上全ての
コロイド粒子が300λ以下の粒子径であった。
次に、本第二の発明である、結晶質酸化第二セリウムゾ
ルの製造方法について詳述する。
ルの製造方法について詳述する。
本第二の発明は、セリウム塩化合物とアルカリ金属の水
酸化物またはアンモニアとを反応させゲルを生成させた
後、これを水熱処理することを特徴とする結晶質酸化第
二セリウムゾルの製造法に関する。
酸化物またはアンモニアとを反応させゲルを生成させた
後、これを水熱処理することを特徴とする結晶質酸化第
二セリウムゾルの製造法に関する。
本発明に用いるセリウム塩化合物としては、硫酸第二セ
リウム、硝酸第二七リウムアンモニウム、硫酸第二セリ
ウムアンモニウム、酢酸第一セリウム、塩化第一セリウ
ム、硝酸第一七リウムアンモニウム、硝酸第一セリウム
、疏酸第−セリウム等を例示できる。
リウム、硝酸第二七リウムアンモニウム、硫酸第二セリ
ウムアンモニウム、酢酸第一セリウム、塩化第一セリウ
ム、硝酸第一七リウムアンモニウム、硝酸第一セリウム
、疏酸第−セリウム等を例示できる。
また、アルカリ金属の水酸化物としては、水酸化すトリ
ウム、水酸化カリウム、水酸化リチウム等を例示するこ
とができる。
ウム、水酸化カリウム、水酸化リチウム等を例示するこ
とができる。
本発明では、先ず前記のセリウム塩化合物とアルカリ金
属の水酸化物またはアンモニアとを反応させゲルを生成
させる。
属の水酸化物またはアンモニアとを反応させゲルを生成
させる。
このゲルの製造条件に関して云えば、両者の反応時の温
度は大略10〜90°Cで行う。
度は大略10〜90°Cで行う。
また、これらの使用割合に関しては、アルカリ金属の水
酸化物またはアンモニア(A)とセリウム塩化合物に由
来する酸根(B)との当量比がA/Bとして大略0,9
〜1.3の範囲となるように各々を使用する。
酸化物またはアンモニア(A)とセリウム塩化合物に由
来する酸根(B)との当量比がA/Bとして大略0,9
〜1.3の範囲となるように各々を使用する。
尚、セリウム・アンモニウム複塩使用の場合には、アン
モニウム塩に由来する酸根は、上記(B)から除いた量
で算出する。
モニウム塩に由来する酸根は、上記(B)から除いた量
で算出する。
添加順序に関して特段限定はなく、セリウム塩化合物と
アルカリ金属の水酸化物またはアンモニアのいずれか一
方を先に、あるいは両者を同時に添加反応させてもよい
。
アルカリ金属の水酸化物またはアンモニアのいずれか一
方を先に、あるいは両者を同時に添加反応させてもよい
。
尚、第一セリウム塩を用いる場合には、ゲル生成後、第
一セリウムは第二セリウムに徐々に酸化されるが、酸化
時間が長くまた酸化率が低いことより、工業的には適当
な酸化剤を併用することが好ましい。
一セリウムは第二セリウムに徐々に酸化されるが、酸化
時間が長くまた酸化率が低いことより、工業的には適当
な酸化剤を併用することが好ましい。
このようにして得られたゲルは、次いでろ過、洗浄を行
い、ゲル中の不純物を除去する。
い、ゲル中の不純物を除去する。
この残存不純物は、酸化第二セリウムゾルの製造上、ま
た用途上、少なくする必要があり、例えば上述のろ過洗
浄作業を全く行わない場合には、得られるゾルは不安定
なものとなり、本発明のゾルを得ることができない。
た用途上、少なくする必要があり、例えば上述のろ過洗
浄作業を全く行わない場合には、得られるゾルは不安定
なものとなり、本発明のゾルを得ることができない。
ろ過、洗浄手段に関しては特に限定されず、通常用いら
れているフィルタープレスや遠心ろ過のような注水ろ過
、リパルプ−遠心分離法等の任意の手段を用いることが
できる。
れているフィルタープレスや遠心ろ過のような注水ろ過
、リパルプ−遠心分離法等の任意の手段を用いることが
できる。
ろ過、洗浄後のゲルに次いで酸を添加し、水熱処理に供
する。添加する酸の種類としては、塩酸、硝酸、酢酸、
蟻酸、乳酸、グリコール酸等を例示できる。また酸の添
加量はゲル中のCe081モルに対して0,01〜1.
00モルの範囲とする。この場合に、酸の添加量がこの
範囲を逸脱すると、本発明の分散性に優れたゾルを得る
ことができない。
する。添加する酸の種類としては、塩酸、硝酸、酢酸、
蟻酸、乳酸、グリコール酸等を例示できる。また酸の添
加量はゲル中のCe081モルに対して0,01〜1.
00モルの範囲とする。この場合に、酸の添加量がこの
範囲を逸脱すると、本発明の分散性に優れたゾルを得る
ことができない。
尚、酸の添加は水熱処F!l!後でもよく、酸の添加と
水熱処理の順序は特段限定されるものではない。
水熱処理の順序は特段限定されるものではない。
水熱処理条件に関しては、温度は100°C以上で行う
が、一般に処理温度が高く、また処理時間が長くなる程
、結晶形の発達が良好となり、粒径の大きなコロイド粒
子が得られる。
が、一般に処理温度が高く、また処理時間が長くなる程
、結晶形の発達が良好となり、粒径の大きなコロイド粒
子が得られる。
また、100°Cを下回る温度での処理は、長時間行っ
てもコロイド粒子が結晶化せず、たとえ一部が結晶化し
てもその結晶化度は著しく低く、非晶質の性質が残るも
のしか得ることができないことより、本発明の目的を達
成することができない。
てもコロイド粒子が結晶化せず、たとえ一部が結晶化し
てもその結晶化度は著しく低く、非晶質の性質が残るも
のしか得ることができないことより、本発明の目的を達
成することができない。
尚、本発明の方法によると、本発明のゾルの各用途に応
じて水熱処理条件を選択し、所望する粒子径のゾルを得
ることができ、その制御が水熱処理条件の選択によって
可能である点が本発明の大きな特徴である。
じて水熱処理条件を選択し、所望する粒子径のゾルを得
ることができ、その制御が水熱処理条件の選択によって
可能である点が本発明の大きな特徴である。
次いで、水熱処理して得られたゾルを乾燥工程に供する
。
。
乾燥方法は、加熱乾燥、真空乾燥、凍結乾燥等の任意の
手段を用いることができる。
手段を用いることができる。
乾燥条件は、加熱乾燥による場合には、添加した酸が蒸
発または変質する温度以下で行う必要がある。
発または変質する温度以下で行う必要がある。
乾燥によってゾル溶液中の水分のみを除去し、粉末化す
ることで、これを再溶解した時のゾル液は、極めて安定
なものとなる。
ることで、これを再溶解した時のゾル液は、極めて安定
なものとなる。
尚、前工程に於いて、酸の添加を水熱処理前に行い、且
つ酸の添加量をゲル中のCe021モルに対して0.2
モル以上で行う場合には、この乾燥操作を行わなくとも
本発明のゾルを得ることができる。
つ酸の添加量をゲル中のCe021モルに対して0.2
モル以上で行う場合には、この乾燥操作を行わなくとも
本発明のゾルを得ることができる。
即ち、この乾燥工程は、本発明ゾルの製造条件の選択に
よっては特段必要なものではない。
よっては特段必要なものではない。
また、乾燥によって得られるゾル粉末は、所望するゾル
液濃度の調整が可能となり、更に水以外の溶媒に分散し
てオルガノゾルとすることも出来、このことは本発明の
結晶質酸化第二セリウムゾルの利用用途を更に拡大する
ものである。
液濃度の調整が可能となり、更に水以外の溶媒に分散し
てオルガノゾルとすることも出来、このことは本発明の
結晶質酸化第二セリウムゾルの利用用途を更に拡大する
ものである。
(実施例)
以下に本発明の実施例を揚げ、更に説明を行うが、本発
明はこれらに限定されるものではない。
明はこれらに限定されるものではない。
また%は特にことわらない限り、全て重量%を示す。
実施例1
硫酸第二セリウム水溶液(CeL8.0%) 1000
gにアンモニア水(NH34,0%)1028[を攪拌
下で添加し、ゲルを生成させた。
gにアンモニア水(NH34,0%)1028[を攪拌
下で添加し、ゲルを生成させた。
これをろ液中に804′−イオンが認められなくなるま
で充分に水洗し、CeO□21.0%のゲルを得た。
で充分に水洗し、CeO□21.0%のゲルを得た。
このゲル200gにHN O9/ Ce O2モル比0
.1となるように硝酸(HN0361%)2.5g及び
水322gを加え、これをオートクレーブに入れ、15
0°Cで15時間の水熱処理を行った。
.1となるように硝酸(HN0361%)2.5g及び
水322gを加え、これをオートクレーブに入れ、15
0°Cで15時間の水熱処理を行った。
水熱処理後、このスラリーを100°Cで恒星となるま
で乾燥させ、本発明ゾルの粉末を得た。
で乾燥させ、本発明ゾルの粉末を得た。
このゾル粉末の分析を行ったところ、Ce0p92.5
%、NO33,3%8040%、であった。
%、NO33,3%8040%、であった。
また、このゾル粉末を水に分散させCeO21,0%の
ゾルを調製して静置したところ、1ケ月後の分散率は9
9.5%であった・ 更に、透過型電子顕微鏡観察によりコロイド粒子径を測
定した結果、平均粒子径は90スであった。
ゾルを調製して静置したところ、1ケ月後の分散率は9
9.5%であった・ 更に、透過型電子顕微鏡観察によりコロイド粒子径を測
定した結果、平均粒子径は90スであった。
また、本発明ゾルのX線回折測定を行い、この回折図を
第1図に示した。
第1図に示した。
第1図で明らかなように、回折ピークがブロードである
のは、 5cherrerの式から理解できるように、
本発明の結晶質酸化第二セリウムゾルの粒子径が90に
と、かなり小さいことに由来するものである。
のは、 5cherrerの式から理解できるように、
本発明の結晶質酸化第二セリウムゾルの粒子径が90に
と、かなり小さいことに由来するものである。
尚、X線回折の測定に於いて、X線回折装置は■リガク
製RAD・−Ia型を使用し、Cu管球を用いて30K
V、20mAの条件下で行った。
製RAD・−Ia型を使用し、Cu管球を用いて30K
V、20mAの条件下で行った。
実施例2
実施例1に於いて硫酸第二セリウムとアンモニア水との
反応により得たゲル100gにCH3CO0)1/Ce
O2モル比0.25となるように氷酢酸1.8gと水3
20gを加え、これをオートクレーブに入れ、200
’Cで24時間の水熱処理を行い、本発明のゾルを得た
。
反応により得たゲル100gにCH3CO0)1/Ce
O2モル比0.25となるように氷酢酸1.8gと水3
20gを加え、これをオートクレーブに入れ、200
’Cで24時間の水熱処理を行い、本発明のゾルを得た
。
このゾル液の分析を行ったところ、CeO□5.0%、
5O4O%、C1(3COOH0,4%であった。
5O4O%、C1(3COOH0,4%であった。
また、このゾルを80°Cで恒量となるまで乾燥さ・V
、乾燥物を実施例1と同様にX線回折の測定に供し、そ
の回折図を第1図に示した。
、乾燥物を実施例1と同様にX線回折の測定に供し、そ
の回折図を第1図に示した。
更に、透過型電子顕微鏡観察によりコロイド粒子径を測
定した結果、平均粒子径は170′Aであった。
定した結果、平均粒子径は170′Aであった。
尚、X線回折に於てd(入)値は、3.12.1691
.1.63であったが、これは回折値を記載したJCP
DSカード(Joint Comm1ttee on
Powder Diffraction 5tanda
rcl) 1986午版によると、酸化第二セリウム結
晶(Cerianite)と同定される。
.1.63であったが、これは回折値を記載したJCP
DSカード(Joint Comm1ttee on
Powder Diffraction 5tanda
rcl) 1986午版によると、酸化第二セリウム結
晶(Cerianite)と同定される。
実施例3
硝酸第二セリウムアンモニウム水溶液(CeO22,0
%)5000gと水酸化すトリウム水溶液(Na1.5
%)3380gを予め水1000gを加えておいた反応
槽中に攪拌下、別々の定量ポンプで約1時間を要して同
時に添加した。この時の反応液温度は21°Cであった
。
%)5000gと水酸化すトリウム水溶液(Na1.5
%)3380gを予め水1000gを加えておいた反応
槽中に攪拌下、別々の定量ポンプで約1時間を要して同
時に添加した。この時の反応液温度は21°Cであった
。
反応後、ゲルをろ別水洗し、Ce021?、33%、N
o30.3%、Na、 NH3は、20 p p m以
下のつxッ(−ケーキを得た。
o30.3%、Na、 NH3は、20 p p m以
下のつxッ(−ケーキを得た。
このウェットケーキ200gに水145gを加えて均一
なスラリーとし、これをオートクレーブに入れ、180
℃で15時間の水熱処理を行った。
なスラリーとし、これをオートクレーブに入れ、180
℃で15時間の水熱処理を行った。
水熱処理後、硝酸(HN0361%)5.2gを添加し
、均一に混合した。
、均一に混合した。
このスラリーを100 ’Cで恒量となるまで乾燥させ
本発明のゾルを得た。
本発明のゾルを得た。
このゾル粉末を水に分散し、Ce0235%としたもの
は、高濃度であるにもかかわらず流動性に優れるもので
あった。
は、高濃度であるにもかかわらず流動性に優れるもので
あった。
次いで、これをCe026%に調製したゾルを石英ガラ
ス上にコーティング処理した。
ス上にコーティング処理した。
尚、コーティング装置は、ミカサ■製スピンナー1)1
−02型を使用した。
−02型を使用した。
ゾルをガラス上にコーティングした後、これを乾燥し、
次に500°Cで1時間の焼成を行った。
次に500°Cで1時間の焼成を行った。
焼成後のコーティングガラスの紫外から可視領域の吸収
をみるため、分光光度計(■島津製作所製UV−260
型)を用い、波長190〜900nmの範囲の光透過率
を測定した。
をみるため、分光光度計(■島津製作所製UV−260
型)を用い、波長190〜900nmの範囲の光透過率
を測定した。
結果を第2図に示した。
また比較のために、下記の方法で酸化チタンゾルを製造
し、同様に紫外領域から可視領域の光透過率を測定し、
結果を第2図に示した。(比較例(酸化チタンゾルの製
法) 四塩化チタン水溶液(TiO83,0%) 600gに
アンモニア水(NH,2,0%)812gを約1時間を
要して攪拌下、添加反応を行いゲルを得た。
し、同様に紫外領域から可視領域の光透過率を測定し、
結果を第2図に示した。(比較例(酸化チタンゾルの製
法) 四塩化チタン水溶液(TiO83,0%) 600gに
アンモニア水(NH,2,0%)812gを約1時間を
要して攪拌下、添加反応を行いゲルを得た。
生成したゲルをろ別した後、ゲル中に塩素イオンが認め
られなくなるまで注水濾過洗浄を行った。
られなくなるまで注水濾過洗浄を行った。
このゲル100gにアンモニア水(NH,2,0%)1
6gと水24gを加え、これをオートクレーブに移し、
120°Cで10時間の水熱処理を行い、比較例のTi
026%の酸化チタンゾルを得た。
6gと水24gを加え、これをオートクレーブに移し、
120°Cで10時間の水熱処理を行い、比較例のTi
026%の酸化チタンゾルを得た。
第2図から明らかなように、本発明例は比較例の酸化チ
タンよりも優れた紫外線吸収能を有することがわかる。
タンよりも優れた紫外線吸収能を有することがわかる。
実施例4
硫酸第二セリウムアンモニウム溶液CCeO32,5%
)tooogをアンモニア水(NH34,2%)260
gに常温で攪拌下に添加し、ゲルを生成させた。
)tooogをアンモニア水(NH34,2%)260
gに常温で攪拌下に添加し、ゲルを生成させた。
生成したゲルをろ別した後、ゲル中に304イオンが認
められなくなるまで洗浄を行った。
められなくなるまで洗浄を行った。
このゲルを分析した結果、CeO223,5%でNH3
イオンは検出されなかった。
イオンは検出されなかった。
このゲル100gにCH3CO0H/CeO。モル比0
.4となるように、酢酸3.3gと水130gを加え、
これをオートクレーブに入れ、130°Cで15時間の
水熱処理を行い、次いでこのスラリーを恒量となるまで
凍結乾燥し、本発明のゾルを得た。
.4となるように、酢酸3.3gと水130gを加え、
これをオートクレーブに入れ、130°Cで15時間の
水熱処理を行い、次いでこのスラリーを恒量となるまで
凍結乾燥し、本発明のゾルを得た。
このゾル粉末に水を加えてI:’eo215%のゾルと
し、これとポリビニルアルコール(日本合成化学工業■
製、NL−05)を 混合 し 、 Ce0I2/ホ0
リヒゝニルアルコ一ル重量比が0.05となる溶液を調
製した。
し、これとポリビニルアルコール(日本合成化学工業■
製、NL−05)を 混合 し 、 Ce0I2/ホ0
リヒゝニルアルコ一ル重量比が0.05となる溶液を調
製した。
この溶液を100 X 100mmの型枠に流し込み、
40°Cで約70時間乾燥させて、100X100X1
00.2+nm17のフィルムを得た。
40°Cで約70時間乾燥させて、100X100X1
00.2+nm17のフィルムを得た。
このフィルムの可視領域から紫外領域の光透!AI!を
測定し、結果を第3図に示した。
測定し、結果を第3図に示した。
第1図は、実施例1及び実施例2で得た本発明結晶質酸
化第二セリウムゾルのX線回折図である。 第2図は、実施例3で得た本発明結晶質酸化第二セリウ
ムゾル及び酸化チタンゾルをガラスコーティング処理し
たものの紫外から可視領域の光透過率を示す図である。 第3図は、実施例4で得た本発明結晶質酸化第二セリウ
ムゾルを含有するポリビニルアルコールフィルムの紫外
から可視領域の光透過率を示す図である。 特許出願人 多木化学株式会社 ニー づを吟) 一^^駄=;□0 稽窄2+云
化第二セリウムゾルのX線回折図である。 第2図は、実施例3で得た本発明結晶質酸化第二セリウ
ムゾル及び酸化チタンゾルをガラスコーティング処理し
たものの紫外から可視領域の光透過率を示す図である。 第3図は、実施例4で得た本発明結晶質酸化第二セリウ
ムゾルを含有するポリビニルアルコールフィルムの紫外
から可視領域の光透過率を示す図である。 特許出願人 多木化学株式会社 ニー づを吟) 一^^駄=;□0 稽窄2+云
Claims (2)
- (1)粒子径300Å以下の結晶質酸化第二セリウムゾ
ル。 - (2)セリウム塩化合物とアルカリ金属の水酸化物また
はアンモニアとを反応させゲルを生成させた後、これを
水熱処理することを特徴とする結晶質酸化第二セリウム
ゾルの製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62306575A JPH062582B2 (ja) | 1987-12-02 | 1987-12-02 | 結晶質酸化第二セリウムゾル及びその製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62306575A JPH062582B2 (ja) | 1987-12-02 | 1987-12-02 | 結晶質酸化第二セリウムゾル及びその製造法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01148710A true JPH01148710A (ja) | 1989-06-12 |
| JPH062582B2 JPH062582B2 (ja) | 1994-01-12 |
Family
ID=17958710
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62306575A Expired - Lifetime JPH062582B2 (ja) | 1987-12-02 | 1987-12-02 | 結晶質酸化第二セリウムゾル及びその製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH062582B2 (ja) |
Cited By (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5279789A (en) * | 1988-12-23 | 1994-01-18 | Rhone-Poulenc Chimie | Ceric oxide particulates having improved morphology |
| US5376304A (en) * | 1991-03-28 | 1994-12-27 | Taki Chemical Co., Ltd. | Ceric oxide sol |
| US5466428A (en) * | 1987-06-26 | 1995-11-14 | Rhone-Poulenc Chimie | Morphologically improved ceric oxide particulates |
| JP2000328044A (ja) * | 1999-05-17 | 2000-11-28 | Hitachi Chem Co Ltd | セリウム化合物研磨剤及び基板の研磨法 |
| FR2801298A1 (fr) * | 1999-11-19 | 2001-05-25 | Rhodia Terres Rares | Dispersion colloidale d'un compose de cerium et contenant du cerium iii, procede de preparation et utilisation |
| WO2004104134A1 (en) * | 2003-05-22 | 2004-12-02 | Hanwha Chemical Corporation | Concentrate of fine ceria particles for chemical mechanical polishing and preparing method thereof |
| JP2006082994A (ja) * | 2004-09-14 | 2006-03-30 | Daiichi Kigensokagaku Kogyo Co Ltd | セリアゾル及びその製造方法並びに酸化第二セリウム |
| JP2006182604A (ja) * | 2004-12-28 | 2006-07-13 | Catalysts & Chem Ind Co Ltd | 金属酸化物ゾルの製造方法および金属酸化物ゾル |
| JP2006335635A (ja) * | 2005-06-01 | 2006-12-14 | Daiichi Kigensokagaku Kogyo Co Ltd | セリアゾルの製造方法 |
| JP2007063108A (ja) * | 2005-08-26 | 2007-03-15 | Daiichi Kigensokagaku Kogyo Co Ltd | 酸化ネオジムゾル及びその製造方法 |
| JP2008508175A (ja) * | 2004-07-29 | 2008-03-21 | エルジー・ケム・リミテッド | 酸化セリウム粉末及びその製造方法 |
| KR100873940B1 (ko) * | 2008-07-16 | 2008-12-12 | (주) 뉴웰 | 고순도 산화세륨 분말 그 제조 방법 및 이를 포함하는씨엠피 슬러리 |
| KR100873945B1 (ko) * | 2008-07-16 | 2008-12-12 | (주) 뉴웰 | 미세 산화세륨 분말 그 제조 방법 및 이를 포함하는 씨엠피슬러리 |
| JP2009010402A (ja) * | 2001-02-20 | 2009-01-15 | Hitachi Chem Co Ltd | 研磨剤及び基板の研磨方法 |
| CN101205078B (zh) | 2006-12-21 | 2010-06-09 | 中国科学院研究生院 | 一种二氧化铈纳米管的制备方法 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6596042B1 (en) * | 2001-11-16 | 2003-07-22 | Ferro Corporation | Method of forming particles for use in chemical-mechanical polishing slurries and the particles formed by the process |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56169126A (en) * | 1980-05-09 | 1981-12-25 | Atomic Energy Authority Uk | Improvement on compound |
| US4637992A (en) * | 1984-12-17 | 1987-01-20 | Shell Oil Company | Intercalated clay compositions |
| JPS6236022A (ja) * | 1985-06-20 | 1987-02-17 | ロ−ヌ−プ−ラン・スペシアリテ・シミ−ク | 新規セリウム(4)化合物およびその製造方法 |
| JPS62275021A (ja) * | 1986-03-26 | 1987-11-30 | ロ−ヌ−プ−ラン・シミ | 新規なセリウム4化合物の製造方法 |
-
1987
- 1987-12-02 JP JP62306575A patent/JPH062582B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56169126A (en) * | 1980-05-09 | 1981-12-25 | Atomic Energy Authority Uk | Improvement on compound |
| US4356106A (en) * | 1980-05-09 | 1982-10-26 | United Kingdom Atomic Energy Authority | Cerium compounds |
| US4637992A (en) * | 1984-12-17 | 1987-01-20 | Shell Oil Company | Intercalated clay compositions |
| JPS6236022A (ja) * | 1985-06-20 | 1987-02-17 | ロ−ヌ−プ−ラン・スペシアリテ・シミ−ク | 新規セリウム(4)化合物およびその製造方法 |
| JPS62275021A (ja) * | 1986-03-26 | 1987-11-30 | ロ−ヌ−プ−ラン・シミ | 新規なセリウム4化合物の製造方法 |
Cited By (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5466428A (en) * | 1987-06-26 | 1995-11-14 | Rhone-Poulenc Chimie | Morphologically improved ceric oxide particulates |
| US5279789A (en) * | 1988-12-23 | 1994-01-18 | Rhone-Poulenc Chimie | Ceric oxide particulates having improved morphology |
| US5891412A (en) * | 1988-12-23 | 1999-04-06 | Rhone-Poulenc Chimie | Ceric oxide particulates having improved morphology |
| US5376304A (en) * | 1991-03-28 | 1994-12-27 | Taki Chemical Co., Ltd. | Ceric oxide sol |
| JP2000328044A (ja) * | 1999-05-17 | 2000-11-28 | Hitachi Chem Co Ltd | セリウム化合物研磨剤及び基板の研磨法 |
| FR2801298A1 (fr) * | 1999-11-19 | 2001-05-25 | Rhodia Terres Rares | Dispersion colloidale d'un compose de cerium et contenant du cerium iii, procede de preparation et utilisation |
| WO2001036331A1 (fr) * | 1999-11-19 | 2001-05-25 | Rhodia Terres Rares | Dispersion colloidale d'un compose de cerium et contenant du cerium iii, procede de preparation et utilisation |
| JP2009010402A (ja) * | 2001-02-20 | 2009-01-15 | Hitachi Chem Co Ltd | 研磨剤及び基板の研磨方法 |
| WO2004104134A1 (en) * | 2003-05-22 | 2004-12-02 | Hanwha Chemical Corporation | Concentrate of fine ceria particles for chemical mechanical polishing and preparing method thereof |
| JP2008508175A (ja) * | 2004-07-29 | 2008-03-21 | エルジー・ケム・リミテッド | 酸化セリウム粉末及びその製造方法 |
| JP2006082994A (ja) * | 2004-09-14 | 2006-03-30 | Daiichi Kigensokagaku Kogyo Co Ltd | セリアゾル及びその製造方法並びに酸化第二セリウム |
| JP2006182604A (ja) * | 2004-12-28 | 2006-07-13 | Catalysts & Chem Ind Co Ltd | 金属酸化物ゾルの製造方法および金属酸化物ゾル |
| JP2006335635A (ja) * | 2005-06-01 | 2006-12-14 | Daiichi Kigensokagaku Kogyo Co Ltd | セリアゾルの製造方法 |
| JP2007063108A (ja) * | 2005-08-26 | 2007-03-15 | Daiichi Kigensokagaku Kogyo Co Ltd | 酸化ネオジムゾル及びその製造方法 |
| CN101205078B (zh) | 2006-12-21 | 2010-06-09 | 中国科学院研究生院 | 一种二氧化铈纳米管的制备方法 |
| KR100873940B1 (ko) * | 2008-07-16 | 2008-12-12 | (주) 뉴웰 | 고순도 산화세륨 분말 그 제조 방법 및 이를 포함하는씨엠피 슬러리 |
| KR100873945B1 (ko) * | 2008-07-16 | 2008-12-12 | (주) 뉴웰 | 미세 산화세륨 분말 그 제조 방법 및 이를 포함하는 씨엠피슬러리 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH062582B2 (ja) | 1994-01-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH01148710A (ja) | 結晶質酸化第二セリウムゾルの製造法 | |
| JP3946982B2 (ja) | ジルコニア・セリア基複合酸化物の製造方法 | |
| JP3980272B2 (ja) | ペロブスカイト型チタン含有複合酸化物粒子、そのゾルと製造方法、および薄膜 | |
| JP2783417B2 (ja) | ルチル型酸化チタンゾルの製造法 | |
| JPH0262499B2 (ja) | ||
| JPS62207718A (ja) | 結晶質酸化チタンゾルの製造方法 | |
| JPWO2003004416A1 (ja) | チタン酸バリウムおよびその製造方法 | |
| JPWO2000035811A1 (ja) | ペロブスカイト型チタン含有複合酸化物粒子、そのゾルと製造方法、および薄膜 | |
| KR101750473B1 (ko) | 무소성 고결정성 이산화바나듐의 제조방법 | |
| NL8001098A (nl) | Vezelachtige titaanzuurmetaalzouten en werkwijze voor de bereiding ervan. | |
| JPH05139744A (ja) | 易焼結性チタン酸バリウム微細粒子粉末およびその製法 | |
| JPH0445453B2 (ja) | ||
| JP3537885B2 (ja) | アナタース型酸化チタンの製造方法 | |
| JP3490012B2 (ja) | 結晶性チタン酸化物粒子分散液体の製造方法 | |
| KR101517369B1 (ko) | 지르코니아 졸의 제조방법 | |
| JPS63210027A (ja) | 結晶質酸化チタン一酸化スズゾル及びその製造方法 | |
| JP2875486B2 (ja) | 酸化タンタルゾル及びその製造方法 | |
| JPS62207717A (ja) | 結晶質酸化スズゾル及びその製造方法 | |
| JPH07242422A (ja) | 微粒子針状酸化チタンおよびその製造方法 | |
| JP4800914B2 (ja) | 金属酸化物膜の製造方法 | |
| JPH0527571B2 (ja) | ||
| EP0200176B1 (en) | Method for producing fine particles of lead zirconate | |
| JP2001089111A (ja) | 高純度アモルファス化合物粉末の製造法 | |
| JPH0524861B2 (ja) | ||
| JPH10245225A (ja) | 酸化チタン−酸化セリウム−酸化スズ複合ゾルの製造方法 |