JPH01149208A - 磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents
磁気ヘッドの製造方法Info
- Publication number
- JPH01149208A JPH01149208A JP30671187A JP30671187A JPH01149208A JP H01149208 A JPH01149208 A JP H01149208A JP 30671187 A JP30671187 A JP 30671187A JP 30671187 A JP30671187 A JP 30671187A JP H01149208 A JPH01149208 A JP H01149208A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- film
- magnetic head
- core
- thin film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 9
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 27
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 14
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 12
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 11
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 7
- 230000004907 flux Effects 0.000 claims description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 6
- 230000004927 fusion Effects 0.000 description 6
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 2
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は磁気記録再生装置用の磁気ヘッドの製造方法に
関する。
関する。
従来の飽和磁束密度（以下Ｂｓと呼ぶ）の高い金属磁性
薄膜を有する磁気ヘッドは、第３図に示す如く、例えば
平坦な第１のコア１の上にＢｓの高い金属磁性薄膜とし
てＦｅ−Ａβ−３ｉ膜３及び、非磁性膜としてＳｉＯ＊
４をスパッタ等によって成膜した後、巻線窓を存する第
２のコア５と融着ガラス６によって一体として磁気ヘッ
ドを得ている。
薄膜を有する磁気ヘッドは、第３図に示す如く、例えば
平坦な第１のコア１の上にＢｓの高い金属磁性薄膜とし
てＦｅ−Ａβ−３ｉ膜３及び、非磁性膜としてＳｉＯ＊
４をスパッタ等によって成膜した後、巻線窓を存する第
２のコア５と融着ガラス６によって一体として磁気ヘッ
ドを得ている。
しかし、前述の従来技術では第１のコア１と第２のコア
５を融着ガラス６によって一体とするので、融着ガラス
の種類にもよるが、概ね５００’Ｃ以上の高温下におい
て行なわれる。従ってその過程において治具、磁性体ブ
ロック及びＦｅ−Ａｌ２−３ｔ膜等の熱膨張率の差によ
って現状では、Ｆｅ−Ａρ−３ｉ膜が加圧され固着され
るのでＦｅ−Ａｌ２−３ ｉｌｌ内に残留応力が残って
おり、Ｆｅ−Ａｌ２−８ｉ膜の磁気特性を劣下させるた
め、磁気ヘッドとしての電磁変換特性も劣化してしまう
、また、磁気ギャップ長も非磁性膜である５ｔＯ１膜の
厚みによって規定されるので融着時の押し付は力によっ
て膜厚が変化するのでギャップ長のばらつきが出てしま
い、高精度のギャップ長を得る事が困難となるという問
題点を存する。そこで本発明はこのような問題点を解決
するもので、その目的とする所は、飽和磁束密度の高い
金属磁性薄膜の磁気特性を劣下させる事なく、電磁変換
特性の優れた磁気ヘッドを得るとともに、高精度でギャ
ップ長を得る事が出来歩留りの高い磁気ヘッドの製造方
法を提供する所にある。
５を融着ガラス６によって一体とするので、融着ガラス
の種類にもよるが、概ね５００’Ｃ以上の高温下におい
て行なわれる。従ってその過程において治具、磁性体ブ
ロック及びＦｅ−Ａｌ２−３ｔ膜等の熱膨張率の差によ
って現状では、Ｆｅ−Ａρ−３ｉ膜が加圧され固着され
るのでＦｅ−Ａｌ２−３ ｉｌｌ内に残留応力が残って
おり、Ｆｅ−Ａｌ２−８ｉ膜の磁気特性を劣下させるた
め、磁気ヘッドとしての電磁変換特性も劣化してしまう
、また、磁気ギャップ長も非磁性膜である５ｔＯ１膜の
厚みによって規定されるので融着時の押し付は力によっ
て膜厚が変化するのでギャップ長のばらつきが出てしま
い、高精度のギャップ長を得る事が困難となるという問
題点を存する。そこで本発明はこのような問題点を解決
するもので、その目的とする所は、飽和磁束密度の高い
金属磁性薄膜の磁気特性を劣下させる事なく、電磁変換
特性の優れた磁気ヘッドを得るとともに、高精度でギャ
ップ長を得る事が出来歩留りの高い磁気ヘッドの製造方
法を提供する所にある。
本発明の磁気ヘッドの製造方法は、飽和磁束密度の高い
金ａｍ性Ｗｌ膜を有する磁気ヘッドにおいて、その金属
磁性薄膜を成膜させる面の磁気ギャップに当る周辺のみ
をあらかじめ凹部にして、この凹部のみに金属磁性薄膜
及び磁気ギャップ長を規定するための非磁性膜をスパッ
タ等によって成膜した後に融着ガラスによって２体の磁
性体ブロックを結合する事を特徴とする。
金ａｍ性Ｗｌ膜を有する磁気ヘッドにおいて、その金属
磁性薄膜を成膜させる面の磁気ギャップに当る周辺のみ
をあらかじめ凹部にして、この凹部のみに金属磁性薄膜
及び磁気ギャップ長を規定するための非磁性膜をスパッ
タ等によって成膜した後に融着ガラスによって２体の磁
性体ブロックを結合する事を特徴とする。
本発明による磁気ヘッドの一実施例を第１図の斜視図に
示す。また、その磁気ヘッドの製造工程を第２図（ａ）
〜（ｆ）の斜視図に示す。ｍ１図に示す如へフェライト
よりなるｔＪｌのコア１のギヤツブ部周辺を凹部２にし
、その凹部２に例えば、Ｂｓの高い金属磁性薄膜として
Ｆｅ−Ａρ−３ｉａ３をスパッタによって１．５〜３．
５μｍの範囲で任意の厚みで成膜しその後、そのＦｅ−
Ａｌ２−３ｉ襲３の上に非磁性膜としてＳ ｉ Ｏ＊膜
４を所定のギャップ長の長さに相当する厚みだけスパッ
タによって被着させ、ギャップ長を規定している。この
様にする事によって第１のコア１と巻線窓を育する！２
のコア５を高温下において、ガラス融着を行っても、残
留応力が小さく、歪による磁気特性劣下のない金属磁性
ＷＩ膜が形成され、電磁変換特性の優れた磁気ヘッドが
得られる。まお凹部の段差は、Ｆｅ−Ａｌ２−８１ｌＩ
Ｉの厚みとＳ ｉ Ｏ＊膜の厚みを足した量とする。こ
の様な磁気ヘッドの製造方法をＷｉ２図（ａ）〜（ｆ）
を用いて説明する。一実施例として、片面のみに金属磁
性膜がある場合を説明するが、両側に膜を成膜する場合
も同様である。第２図（ａ）に示すフェライトよりなる
第１のコア１のギヤツブ部周辺に凹部２をエツチング等
によって、Ｆｅ−Ａβ−８ｉ膜の厚みとして２．５ｕｍ
又、ｓｉＯ＊ｌＫの厚みとして０．５μｍとした場合に
は、３μｍのへこみ量で形成する。その後、精密洗浄に
よって汚れを除去し、スパッタによって第２図（ｂ）に
示す如く、Ｆｅ−Ａｌ２−８ｉｌｌ１３を２．５μｍ５
ｓｉｏ＊膜４を０．５μｍの厚みで形成する。そして、
第２図（Ｃ）に示す、フェライトよりなる第２のコア５
と先の第１のコア１を５００℃以上の高温化で、不活性
ガス（例えばＡ ｒ ｓ Ｎ、）中で融着ガラス６によ
って一体としてｆｉ２図（ｄ）に示すコアブロック７を
得る。この様にして得られたコアブロック７を第２図（
ｅ）に示す様に、ヘッド上部を研削研摩によってＦｅ−
、Ａｆｌ−８ｔ膜３及びＳ ｉ Ｏ’、膜４によって規
定されたギャップが現われるまで加を施こす。具体的に
ギャップ深さをどれ位にするかは要求される電磁変換特
性にもよるが、このヘッドをＨＤＤ用として用いた場合
には、１０μｍ以下にすると、非常に特性の優れたもの
となる。この後、ｔｔｔ２図（「）に示す様に、所定の
トラック幅８になる様にダイシング加工によって溝入れ
を行ない、図中の破線に示す位置で完全切断する事によ
って第１図に示す、磁気ヘッドが得られる。
示す。また、その磁気ヘッドの製造工程を第２図（ａ）
〜（ｆ）の斜視図に示す。ｍ１図に示す如へフェライト
よりなるｔＪｌのコア１のギヤツブ部周辺を凹部２にし
、その凹部２に例えば、Ｂｓの高い金属磁性薄膜として
Ｆｅ−Ａρ−３ｉａ３をスパッタによって１．５〜３．
５μｍの範囲で任意の厚みで成膜しその後、そのＦｅ−
Ａｌ２−３ｉ襲３の上に非磁性膜としてＳ ｉ Ｏ＊膜
４を所定のギャップ長の長さに相当する厚みだけスパッ
タによって被着させ、ギャップ長を規定している。この
様にする事によって第１のコア１と巻線窓を育する！２
のコア５を高温下において、ガラス融着を行っても、残
留応力が小さく、歪による磁気特性劣下のない金属磁性
ＷＩ膜が形成され、電磁変換特性の優れた磁気ヘッドが
得られる。まお凹部の段差は、Ｆｅ−Ａｌ２−８１ｌＩ
Ｉの厚みとＳ ｉ Ｏ＊膜の厚みを足した量とする。こ
の様な磁気ヘッドの製造方法をＷｉ２図（ａ）〜（ｆ）
を用いて説明する。一実施例として、片面のみに金属磁
性膜がある場合を説明するが、両側に膜を成膜する場合
も同様である。第２図（ａ）に示すフェライトよりなる
第１のコア１のギヤツブ部周辺に凹部２をエツチング等
によって、Ｆｅ−Ａβ−８ｉ膜の厚みとして２．５ｕｍ
又、ｓｉＯ＊ｌＫの厚みとして０．５μｍとした場合に
は、３μｍのへこみ量で形成する。その後、精密洗浄に
よって汚れを除去し、スパッタによって第２図（ｂ）に
示す如く、Ｆｅ−Ａｌ２−８ｉｌｌ１３を２．５μｍ５
ｓｉｏ＊膜４を０．５μｍの厚みで形成する。そして、
第２図（Ｃ）に示す、フェライトよりなる第２のコア５
と先の第１のコア１を５００℃以上の高温化で、不活性
ガス（例えばＡ ｒ ｓ Ｎ、）中で融着ガラス６によ
って一体としてｆｉ２図（ｄ）に示すコアブロック７を
得る。この様にして得られたコアブロック７を第２図（
ｅ）に示す様に、ヘッド上部を研削研摩によってＦｅ−
、Ａｆｌ−８ｔ膜３及びＳ ｉ Ｏ’、膜４によって規
定されたギャップが現われるまで加を施こす。具体的に
ギャップ深さをどれ位にするかは要求される電磁変換特
性にもよるが、このヘッドをＨＤＤ用として用いた場合
には、１０μｍ以下にすると、非常に特性の優れたもの
となる。この後、ｔｔｔ２図（「）に示す様に、所定の
トラック幅８になる様にダイシング加工によって溝入れ
を行ない、図中の破線に示す位置で完全切断する事によ
って第１図に示す、磁気ヘッドが得られる。
この様にすると、第２図（ｄ）に示すガラス融着時にお
いては、第１のコア１と第２のコア５のフェライト部で
融着時の荷重を受けるので、ギャップ長もＳ ｉ Ｏ＊
膜の厚みで精度よく規定される。また、Ｆｅ−Ａｌ２−
３ｉ膜も残留応力による磁気的歪も非常に小さく出来る
ので電磁変換特性の優れた磁気ヘッドが得られる。また
、第１のコアと第２のコアの磁気ギャップと反対側の接
合面９においては、ｓｉｏ＊ｒａ等の非磁性介在物がな
いので磁気効率の優れた磁気ヘッドとなる。
いては、第１のコア１と第２のコア５のフェライト部で
融着時の荷重を受けるので、ギャップ長もＳ ｉ Ｏ＊
膜の厚みで精度よく規定される。また、Ｆｅ−Ａｌ２−
３ｉ膜も残留応力による磁気的歪も非常に小さく出来る
ので電磁変換特性の優れた磁気ヘッドが得られる。また
、第１のコアと第２のコアの磁気ギャップと反対側の接
合面９においては、ｓｉｏ＊ｒａ等の非磁性介在物がな
いので磁気効率の優れた磁気ヘッドとなる。
以上述べたように本発明によれば、Ｂｓの高い金属磁性
薄膜及びギャップ長を規定する非磁性膜をあらかじめギ
ャップ周辺に設けた凹部にスパッタ等に成膜する事によ
って、高温下のガラス融着において、金属磁性薄膜の磁
気特性を劣下させる事がなく、非常に優れた電磁変換特
性を育する磁気ヘッドが得られる。また、ギャップ長の
精度においても、融着時の荷重の影響を受けに（（、高
歩留りで高精度のギャップ長が得られる。さらに、磁気
ヘッドの後部接合面において、フェライト同士が直接接
合されるので、磁気効率の高い優れたヘッドが得られる
という効果が育する。
薄膜及びギャップ長を規定する非磁性膜をあらかじめギ
ャップ周辺に設けた凹部にスパッタ等に成膜する事によ
って、高温下のガラス融着において、金属磁性薄膜の磁
気特性を劣下させる事がなく、非常に優れた電磁変換特
性を育する磁気ヘッドが得られる。また、ギャップ長の
精度においても、融着時の荷重の影響を受けに（（、高
歩留りで高精度のギャップ長が得られる。さらに、磁気
ヘッドの後部接合面において、フェライト同士が直接接
合されるので、磁気効率の高い優れたヘッドが得られる
という効果が育する。
第１図は本発明の磁気ヘッドの一実施例を示す斜視図。
第２図（ａ）〜＜ｒ＞は第１図の磁気ヘッドの製造工程
を示す斜視図。 第３図は従来の磁気ヘッドを示す斜視図。 ｌ・・・第１のコア ２・・・凹部 ３ ・Ｆ ｅ −Ａρ−３ｉｆｉ ４・・・ＳｉＯ＊ｖ！。 ５・・・＄２のコア ６・・・融着ガラス ７・・・コアブロック ８・・・トラック幅 ９・・・後部接合面 以 上 出願人 セイコーエプソン株式会社 代理人 弁理士 最 上 務 他１名３ Ｆｅ、−Ａ
Ｉ−５ｔ東 第 １ 図 第２同（ｂ） 富２団（ｃ） 環２１犯 （べ）
を示す斜視図。 第３図は従来の磁気ヘッドを示す斜視図。 ｌ・・・第１のコア ２・・・凹部 ３ ・Ｆ ｅ −Ａρ−３ｉｆｉ ４・・・ＳｉＯ＊ｖ！。 ５・・・＄２のコア ６・・・融着ガラス ７・・・コアブロック ８・・・トラック幅 ９・・・後部接合面 以 上 出願人 セイコーエプソン株式会社 代理人 弁理士 最 上 務 他１名３ Ｆｅ、−Ａ
Ｉ−５ｔ東 第 １ 図 第２同（ｂ） 富２団（ｃ） 環２１犯 （べ）
Claims (1)
- 飽和磁束密度の高い金属磁性薄膜を成膜した面を少な
くとも一面具備した２体の磁性体ブロックを前記金属磁
性薄膜を成膜した面を対向させて磁気ギャップを形成し
つつ融着ガラスによって一体とする磁気ヘッドの製造方
法において、前記金属磁性薄膜を成膜させる面の磁気ギ
ャップに当る周辺のみをあらかじめ凹部にして、この凹
部のみに前記金属磁性薄膜及び磁気ギャップ長を規定す
るための非磁性膜をスパッタ等によって成膜した後、融
着ガラスによって２体の磁性体ブロックを結合すること
を特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30671187A JPH01149208A (ja) | 1987-12-03 | 1987-12-03 | 磁気ヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30671187A JPH01149208A (ja) | 1987-12-03 | 1987-12-03 | 磁気ヘッドの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01149208A true JPH01149208A (ja) | 1989-06-12 |
Family
ID=17960384
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30671187A Pending JPH01149208A (ja) | 1987-12-03 | 1987-12-03 | 磁気ヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01149208A (ja) |
-
1987
- 1987-12-03 JP JP30671187A patent/JPH01149208A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH01149208A (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPS58220232A (ja) | 磁気ヘツド及びその製造法 | |
| JPS60231903A (ja) | 複合型磁気ヘツドおよびその製造方法 | |
| JP2954784B2 (ja) | 磁気ヘッド及びその製造方法 | |
| JP2810820B2 (ja) | 磁気ヘッド及び磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPH0231309A (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 | |
| JP2959909B2 (ja) | 磁気ヘッド | |
| JPS6366703A (ja) | 複合型磁気ヘツドの製造方法 | |
| JPS63288407A (ja) | 磁気ヘツドの製造方法 | |
| JPS58182118A (ja) | 磁気ヘツド及びその製造法 | |
| JPS6371908A (ja) | 複合型録画再生用磁気ヘツド | |
| JPH03222109A (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPH0258712A (ja) | 磁気ヘッドおよびこの磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPH05234029A (ja) | 磁気ヘッドおよびその製造方法 | |
| JPH0448416A (ja) | 磁気ヘッド | |
| JPS61192007A (ja) | 磁気ヘツドの製造方法 | |
| JPH06111230A (ja) | 磁気ヘッド | |
| JPH01311407A (ja) | 磁気ヘッド | |
| JPH0349003A (ja) | 磁気ヘッド | |
| JPH0256706A (ja) | 磁気ヘッドコアの製造方法 | |
| JPH04229407A (ja) | 磁気ヘッド | |
| JPH03225607A (ja) | 磁気ヘッド及びその製造方法 | |
| JPS6243249B2 (ja) | ||
| JPS63164010A (ja) | 磁気ヘツドの製造方法 | |
| JPS61289512A (ja) | 磁気ヘツドの製造方法 |