JPH01149222A - 薄膜磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔分野の概要〕 本発明は、両面磁気記録フレキンプルディスクに用いる
連続して薄膜磁気記録媒体を製造する製造方法に関する
。

〔従来技術の内容と問題点〕

従来磁気記録媒体は磁気記録用磁性粉を有機媒体と混合
し、有機フィルム上に薄く塗布し作られていたが、近年
、磁気記録の高密度化の要求にともない、磁気記録を行
なう磁性層を例えばＧｏ−Ｃｒ合金等の磁性材料をスパ
ッタ法等の技法を用いて形成する、いわゆる連続した薄
膜磁気記録媒体に関する製造方法の研究が盛んになって
きた。

真空蒸着法、スパッタ法、あるいはメツキ法によって作
製される連続した薄膜磁気記録媒体は、磁性層が連続薄
膜であるために長手方向の磁気記録は勿論のこと、垂直
磁気記録方式に於ても特に記録密度の飛躍的向上が期待
されており、各種磁気テープ、−あるいはディスク状磁
気記録媒体等、様々な製品形態への応用開発が進められ
ている。

この連続した薄膜磁気記録媒体のスパッタ法による磁性
層の磁気的特性については、主に基板温度によって決定
される事が知られており、また本発明者等は以前にスパ
ッタ法による磁性層の硬さ、密度等についてはスパッタ
リング中のアルゴンガスの圧力によって決定されること
を見出している。

さらに、反りのない磁気記録媒体の作製の為には、第１
図（ｂ）に示すように、磁気記録媒体をスパッタする時
には、押えリング２を、高分子基体膜方向へ移動し高分
子基体膜（以下ベースフィルムと称す）１をサブストレ
ートホルダ３に押し付けた状態でスパッタすることによ
り、ベースフィルム両面に形成した磁性層は磁気的およ
び機械的に良好な磁性層となることを見出した。

すなわち、ベースフィルム１の搬送時には第１図（ａ）
、（ｂ）に示すように、外径、内径が円形で内径の内側
をくり抜いた形状の押えリング２と、押えリングにベー
スフィルムを押し込む外径が円形で、ベースフィルムに
接する部分には丸味をもたせたサブストレートホルダ３
の間を走行させ、スパッタを行なう時はベースフィルム
を停止し押えリング２によってベースフィルムをサブス
トレートホルダ３に押し込むことによって、ベースフィ
ルム１に張力が加えられ、スパッタ、或いは蒸着を行な
い平らな磁気記録媒体を得ている。

しかしながら、この方法によって得られた連続薄膜磁気
記録媒体は、表面粗度があらく磁性層に欠陥が多いとい
う欠点があった。

〔発明の目的〕

本発明はこれらの欠点を除去するため、押えリング２を
固定し、サブストレートホルダ３をスパッタ装置のター
ゲット４の方向に押し込むようにしてベースフィルムに
張力を加えながら、スパッタ、或いは蒸着を行なうこと
により、機械的かつ磁気的に良好で、なおかつ欠陥のな
い連続薄膜磁気記録媒体を効率良く大量に作製する製造
方法である。

〔発明の概要〕

本発明者らは、前記の連続薄膜磁気記録媒体の、表面性
の悪化や欠陥の発生について充分な検討を行なった結果
、押し込みリングの内側に付着しているスパッタした磁
性膜５が、押し込みリングによるベースフィルムの押し
込み動作中に押し込みリングの内側から剥離し、ベース
フィルム表面に飛散することが原因であることを見出し
た。

すなわち、第２図に示すように、押し込みリングの内側
に付着したスパッタされた磁性膜は、磁性媒体のスパッ
タ時に伴う押し込みリング２の押し込み、引きもどし動
作を繰り返す機械的な振れによりリングから剥離し、第
２図に示す様に磁性のちり６となってベースフィルムｌ
の上に付着する。

このちりの上に第１図（ｂ）に示すスパッタした磁気記
録媒体の粒子７が飛来して磁性膜となるため、磁性薄膜
の表面に突起やくぼみをつくり、表面粗度の悪化や磁気
特性欠陥の発生を招いていた。

従って、これらの問題点を解決するためには、スパッタ
した磁性膜が付着している押し込みリング２を動かすの
ではなく、第３図に示すようにサブストレートホルダ３
をターゲット方向に押し込むことによって、ベースフィ
ルムに張力を加える方法とすれば良く、本発明の方法に
より表面粗度が良好な、又磁気記録特性の欠陥の少ない
磁気記録用磁性膜が得られた。

〔実施例〕

第３図に本発明による一実施例を示す。

第３図に示す通り、原反のベースフィルム（ポリイミド
樹脂製フィルム）１は原反ロール８１ないしガイドロー
ル８２．８３を通って巻取りロール８４で巻取られる。

走行時にはベースフィルム１は押えリング２とサブスト
レートホルダ３の間を通る。

所定の位置に来た時フィルムの走行を止め、サブストレ
ートホルダ３をターゲット４の方向に押し込みベースフ
ィルム１に張力を加えながら、１０−２ないし１０−３
トールの圧力のアルゴンガス中で、スパッタ法によりＧ
ｏ−Ｃｒ合金の薄膜磁気記録媒体を形成する。

従来方法により作製された連続薄膜磁気記録媒体と、本
実施例により作製された連続薄膜磁気記、録媒体の表面
粗さの測定結果を第４図に示すが、（ａ）は従来の製造
方法による面粗度の状況を示し、（ｂ）は本発明による
製造方法による面粗度を示す。

即ち、本発明の製造方法によりスパッタした磁性層は、
従来の製造方法による磁性層に比べて表面粗度は格段に
向上している。

さらに、両磁気記録媒体の磁気記録特性をサーテイファ
イヤを用い評価し、発生する欠陥の大きさと頻度につい
て評価した結果を第５図に示す。

本発明による製造方法を用いることにより磁気記録時の
欠陥は格段に減少した。

叙上の第４図および第５図の特性により本発明の製造方
法を用いることにより表面粗度が良く、磁気記録特性の
欠陥の少ない磁気記録媒体が得られた。

又、本発明の製造法に用いるサブストレートホルダの形
状は、ベースフィルムに均等に張力がかかれば第６図に
示すような球面や、第７図に示すようなリング状でも良
く、本実施例に示す形状に限定するものではない。

〔発明の効果〕

以上述べたように、本発明により、機械的、磁気的に良
好で、なおかつ表面粗度も良好で磁気記録特性に欠陥の
少ない連続薄膜磁気記録媒体が効率良く製造する方法を
提供出来る様になった。

【図面の簡単な説明】

第１図はベースフィルム、押えリング、サブストレート
ホルダ、磁性材ターゲットの配置とスパッタリング時の
状況を示す図。 （ａ）は本装置配置の基本構成図。 （ｂ）はベースフィルム上に磁性材をスパッタしている
時の図。 第２図は押えリング内径面に付着した磁性膜と、剥離し
た磁性膜がちりとなってベースフィルム上に付着した状
態を示す図。 第３図は本発明による製造方法を実施する装置を示す図
。 第４図はスパッタした磁性層の表面粗度を示す図。 （ａ）は従来方法の押えリングを移動した時の表面粗度
。 （ｂ）は本発明の製造方法によるサブストレートホルダ
を移動した時の表面粗度。 、　　第５図は、磁気記録特性の欠陥の頻度を示す図で
、横軸は１枚当たりの欠陥の大きさ（ビット数）、縦軸
は１枚の欠陥の大きさ当たりの枚数を示す。 （ａ）従来の製造方法の時の特性。 （ｂ）本発明の製造方法を実施した時の特性。 第６図は、サブストレートホルダのベースフィルム側面
が緩い球面をしている時の図で、（ａ）の状態でベース
フィルムは停止し、（ｂ）に於てサブストレートホルダ
は押えリング側へ移動した時の図。 第７図は、サブストレートホルダがリング状をしている
時の図で、（ａ）の状態でベースフィルムは停止し、（
ｂ）に於てサブストレートホルダは押えリング側へ移動
した時の図。 以下余白 １・・・ベースフィルム。 ２・・・押えリング。 ３、３１．３２・・・サブストレートホルダ。 ４・・・ターゲット。 ５・・・磁性膜。 ６・・・磁性のちり。 ７・・・スパッタ粒子。 ８１・・・原反ロール。 ８２、８３・・・ガイドロール。 ８４・・・巻き取りロール。 特許出願人　東北金属工業株式会社 第１　図 （ａ） （ｂ） 第４図 （Ｇ） ナーーシ １０μｍ （ｂ） ÷−−◆ ＩΦｍ 第５図 欠陥う久３丁（ビット杏欠） 第６図 ＜ａ＞

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　長尺の高分子基体膜上に磁気記録のための磁性層を形
   成し、連続して薄膜磁気記録媒体を製造する方法に於て
   、磁性層を形成する際に該高分子基体膜の搬送を停止し
   、固定された押し込みリングにサブストレートホルダを
   移動して、高分子基体膜を固定し、なおかつ全ての方向
   に張力を加えながら、薄膜磁気記録媒体を構成する磁性
   材で作られたターゲットを用い、押し込みリング方向よ
   りスパッタ、或いは蒸着の技法により磁気記録用磁性層
   を作ることを特徴とする薄膜磁気記録媒体の製造方法。