JPH01154103A - 複合干渉フイルタ - Google Patents
複合干渉フイルタInfo
- Publication number
- JPH01154103A JPH01154103A JP31376287A JP31376287A JPH01154103A JP H01154103 A JPH01154103 A JP H01154103A JP 31376287 A JP31376287 A JP 31376287A JP 31376287 A JP31376287 A JP 31376287A JP H01154103 A JPH01154103 A JP H01154103A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- interference filter
- filters
- composite
- light
- filter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000002131 composite material Substances 0.000 title claims abstract description 41
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 claims abstract description 17
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 16
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 claims description 8
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 abstract description 6
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 abstract description 3
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 abstract description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 abstract description 2
- 230000002950 deficient Effects 0.000 abstract description 2
- 238000005304 joining Methods 0.000 abstract description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 abstract 2
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 abstract 2
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 abstract 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 18
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 108010010803 Gelatin Proteins 0.000 description 1
- 235000010724 Wisteria floribunda Nutrition 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 239000000084 colloidal system Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000000975 dye Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 229920000159 gelatin Polymers 0.000 description 1
- 239000008273 gelatin Substances 0.000 description 1
- 235000019322 gelatine Nutrition 0.000 description 1
- 235000011852 gelatine desserts Nutrition 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L magnesium fluoride Chemical group [F-].[F-].[Mg+2] ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910001635 magnesium fluoride Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 1
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 1
- 238000005019 vapor deposition process Methods 0.000 description 1
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Optical Filters (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、分光特性が異なった複数の干渉フィルラダを
並設した複合干渉フィルタに関するものである。
並設した複合干渉フィルタに関するものである。
複写機の色調節装置やカラーセンサー等には、分光特性
が異なったフィルタを並設してなる複合フィルタが用い
られている。例えば、特公昭４４−２５４２号公報には
、２枚の複合フィルタを用いて色調節を行う装置が記載
されている。これらの複合フィルタは、中央のエリアが
透明となっており、その両側のエリアが三原色のうちの
二色を透過するフィルタ部となっている。そして、三原
色のうち一色は２枚の複合フィルタに共通に用いられて
いる。この２枚の複合フィルタを光軸と直交する方向に
スライドさせ、その挿入位置を調節することにより、透
過光の色を連続的に調節することができる。
が異なったフィルタを並設してなる複合フィルタが用い
られている。例えば、特公昭４４−２５４２号公報には
、２枚の複合フィルタを用いて色調節を行う装置が記載
されている。これらの複合フィルタは、中央のエリアが
透明となっており、その両側のエリアが三原色のうちの
二色を透過するフィルタ部となっている。そして、三原
色のうち一色は２枚の複合フィルタに共通に用いられて
いる。この２枚の複合フィルタを光軸と直交する方向に
スライドさせ、その挿入位置を調節することにより、透
過光の色を連続的に調節することができる。
フィルタには、着色フィルタと干渉フィルタとがある。
この着色フィルタとしては、有機染料や顔料の色材を透
明なゼラチンやプラスチックに混入したもの、金属の酸
化物やコロイドで着色した色ガラスがある。干渉フィル
タは、ガラス等の透明基板に誘電体や金属を蒸着して複
数の薄膜を層設したものであり、膜厚を調節することに
より、薄膜内での光の干渉を利用して特定な波長域の光
だけを通過させる。この干渉フィルタは、分光特性を任
意に設定することができるとともに、高い透過率を得る
ことができるという利点がある。
明なゼラチンやプラスチックに混入したもの、金属の酸
化物やコロイドで着色した色ガラスがある。干渉フィル
タは、ガラス等の透明基板に誘電体や金属を蒸着して複
数の薄膜を層設したものであり、膜厚を調節することに
より、薄膜内での光の干渉を利用して特定な波長域の光
だけを通過させる。この干渉フィルタは、分光特性を任
意に設定することができるとともに、高い透過率を得る
ことができるという利点がある。
第４図に示すように、前述した特公昭４４−２５４２号
公報に示す複合フィルタを干渉フィルタで構成すること
ができる。この場合には、３回のマスキングと４回の蒸
着が必要となる。すなわち、まず透明基板のエリア１．
２をマスキングしてから真空蒸着装置に入れ、露出した
エリア３に２種類の誘電体を交互に蒸着し、複数の薄膜
からなる蒸着膜３ａを形成する。この誘電体としては、
酸化チタンと酸化シリコン等とが用いられ、その膜厚を
調節することで、エリア３を例えば青光と赤光とを透過
するマゼンタ干渉フィルタに仕上げる。
公報に示す複合フィルタを干渉フィルタで構成すること
ができる。この場合には、３回のマスキングと４回の蒸
着が必要となる。すなわち、まず透明基板のエリア１．
２をマスキングしてから真空蒸着装置に入れ、露出した
エリア３に２種類の誘電体を交互に蒸着し、複数の薄膜
からなる蒸着膜３ａを形成する。この誘電体としては、
酸化チタンと酸化シリコン等とが用いられ、その膜厚を
調節することで、エリア３を例えば青光と赤光とを透過
するマゼンタ干渉フィルタに仕上げる。
次に、エリア２，３をマスキングしてから、エリア１に
誘電体を蒸着する。この蒸着膜１ａの膜厚を調節するこ
とで、緑光と赤光とを透過するイエロー干渉フィルタに
仕上げる。このイエロー干渉フィルタの形成後に、エリ
ア１，３をマスキングしてから真空蒸着装置に入れ、誘
電体の蒸着膜２ａを形成してＮＤフィルタに仕上げる。
誘電体を蒸着する。この蒸着膜１ａの膜厚を調節するこ
とで、緑光と赤光とを透過するイエロー干渉フィルタに
仕上げる。このイエロー干渉フィルタの形成後に、エリ
ア１，３をマスキングしてから真空蒸着装置に入れ、誘
電体の蒸着膜２ａを形成してＮＤフィルタに仕上げる。
最後に、透明基板を反転させて真空蒸着装置に入れ、透
明基板の裏側に誘電体を多層コートして反射防止膜４を
形成する。
明基板の裏側に誘電体を多層コートして反射防止膜４を
形成する。
（発明が解決しようとする問題点〕
前述したように、複合干渉フィルタを作製する場合には
、４回の蒸着工程によって２色の干渉フィルタを形成し
ているが、その途中で蒸着失敗が生じると全体が駄目に
なってしまうため、二色の干渉フィルタを所望の分光特
性に仕上げることが極めて困難であった。また、３回の
マスキングが必要であるため、作業工数が多くなってコ
ストがかかるという欠点があった。
、４回の蒸着工程によって２色の干渉フィルタを形成し
ているが、その途中で蒸着失敗が生じると全体が駄目に
なってしまうため、二色の干渉フィルタを所望の分光特
性に仕上げることが極めて困難であった。また、３回の
マスキングが必要であるため、作業工数が多くなってコ
ストがかかるという欠点があった。
本発明は、分光特性の精度が高く、かつ製作が簡単な複
合干渉フィルタを提供することを目的とするものである
。
合干渉フィルタを提供することを目的とするものである
。
上記目的を達成するために、本発明は、異なった分光特
性を有する少なくとも２枚の干渉フィルタを、透光性を
有する支持体上に接合したものである。
性を有する少なくとも２枚の干渉フィルタを、透光性を
有する支持体上に接合したものである。
本発明の複合干渉フィルタは、それぞれ独立に作製した
干渉フィルタを支持体上に接合したものであるから、従
来のようなマスキングが不要となる。また、分光特性が
良好なものだけを選択して用いることができるため、分
光特性の精度が良好な複合干渉フィルタを作製すること
ができ、また良品率も高めることができる。
干渉フィルタを支持体上に接合したものであるから、従
来のようなマスキングが不要となる。また、分光特性が
良好なものだけを選択して用いることができるため、分
光特性の精度が良好な複合干渉フィルタを作製すること
ができ、また良品率も高めることができる。
以下、図面を参照して本発明の実施例について詳細に説
明する。
明する。
第１図において、支持体１０は横長な板状をしており、
透明なガラス又はプラスチックで作られている。この支
持体１０の下面には、複数の薄膜からなる反射防止膜１
０ａが層設されている。この反射防止膜１０ａは、沸化
マグネシウムや酸化ジルコン等を真空蒸着することで形
成する。
透明なガラス又はプラスチックで作られている。この支
持体１０の下面には、複数の薄膜からなる反射防止膜１
０ａが層設されている。この反射防止膜１０ａは、沸化
マグネシウムや酸化ジルコン等を真空蒸着することで形
成する。
シアン干渉フィルタ１１は、透明なガラス又はプラスチ
ックで作った透明基板１１ａの上に、青光と緑光とを透
過し、それ以外を反射する蒸着膜１１ｂが層設されてい
る。この蒸着膜１１ｂは、金属又は誘電体を複数回蒸着
することによって形成した複数の薄膜から構成されてお
り、蒸着膜内での光の干渉によって特定な波長域の光を
透過する。この透過光の波長域は、薄膜の膜厚を調節す
ることで自由に設定することができる。誘電体を蒸着す
る場合には、例えば酸化チタンと酸化シリコン等が用い
られ、これらを交互に透明基板１１ａに蒸着する。
ックで作った透明基板１１ａの上に、青光と緑光とを透
過し、それ以外を反射する蒸着膜１１ｂが層設されてい
る。この蒸着膜１１ｂは、金属又は誘電体を複数回蒸着
することによって形成した複数の薄膜から構成されてお
り、蒸着膜内での光の干渉によって特定な波長域の光を
透過する。この透過光の波長域は、薄膜の膜厚を調節す
ることで自由に設定することができる。誘電体を蒸着す
る場合には、例えば酸化チタンと酸化シリコン等が用い
られ、これらを交互に透明基板１１ａに蒸着する。
ＮＤフィルタ１２は、透明基板１２ａと、この上面に蒸
着された蒸着膜１２ｂとから構成され、白色光の透過率
を調節する。イエロー干渉フィルタ１３は、透明基板１
３ａと、この上面に蒸着された蒸着膜１３ｂとで構成さ
れ、緑光と赤光とを透過する。
着された蒸着膜１２ｂとから構成され、白色光の透過率
を調節する。イエロー干渉フィルタ１３は、透明基板１
３ａと、この上面に蒸着された蒸着膜１３ｂとで構成さ
れ、緑光と赤光とを透過する。
前記フィルタ１１〜１３は、それぞれ別個に作製され、
そして同じ種類のものが同時に複数個作製される。これ
らの中から分光特性が良好なものを選び出し、透明な接
着剤を介して支持体１０上に接合すれば、複合干渉フィ
ルタ１４となる。これらのフィルタ１１〜１３は、その
端面同士が接触するが、その間に隙間があると、この部
分に入射した光が散乱してゴーストの原因となる。これ
を防止するには、鏡面仕上げ例えば端面の凹凸が可視光
の波長（４０００〜７０００人１例えば６３２８人の１
／２以下となるように仕上げ、オプチカルコンタクトの
状態にするのがよい。
そして同じ種類のものが同時に複数個作製される。これ
らの中から分光特性が良好なものを選び出し、透明な接
着剤を介して支持体１０上に接合すれば、複合干渉フィ
ルタ１４となる。これらのフィルタ１１〜１３は、その
端面同士が接触するが、その間に隙間があると、この部
分に入射した光が散乱してゴーストの原因となる。これ
を防止するには、鏡面仕上げ例えば端面の凹凸が可視光
の波長（４０００〜７０００人１例えば６３２８人の１
／２以下となるように仕上げ、オプチカルコンタクトの
状態にするのがよい。
第２図は本発明の複合干渉フィルタを用いた色調節装置
を示すものである。レンズの前群２０と後群２１との間
に、複合干渉フィルタ２２．絞り板２３．複合干渉フィ
ルタ２４とが順番に配置されている。複合干渉フィルタ
２２は、中心部がＮＤフィルタであり、その両側がマゼ
ンタ干渉フィルタＭとイエロー干渉フィルタＹになって
いる。
を示すものである。レンズの前群２０と後群２１との間
に、複合干渉フィルタ２２．絞り板２３．複合干渉フィ
ルタ２４とが順番に配置されている。複合干渉フィルタ
２２は、中心部がＮＤフィルタであり、その両側がマゼ
ンタ干渉フィルタＭとイエロー干渉フィルタＹになって
いる。
また、複合干渉フィルタ２４は、中心部がＮＤフィルタ
であり、その両側がマゼンタ干渉フィルタＭとシアン干
渉フィルタＣになっている。これらの２枚の複合干渉フ
ィルタ２２．２４を光軸２５に対して直交する方向にス
ライドすることにより、マゼンタ、イエロー、シアンの
いずれか２つの光量を調節することができる。
であり、その両側がマゼンタ干渉フィルタＭとシアン干
渉フィルタＣになっている。これらの２枚の複合干渉フ
ィルタ２２．２４を光軸２５に対して直交する方向にス
ライドすることにより、マゼンタ、イエロー、シアンの
いずれか２つの光量を調節することができる。
前記実施例の複合干渉フィルタは矩形状をしているが、
用途に応じて任意の形状にすることができる。第３図は
カラーセンサーに用いる複合干渉フィルタの例を示すも
のである。（Ａ）に示す複合干渉フィルタ３０は、赤色
光を透過する赤色干渉フィルタ３１と、緑色光を透過す
る緑色干渉フィルタ３２と、青色光を透過する青色干渉
フィルタ３３とが隣接して配置されている。この複合干
渉フィルタ３０の背後には、３個の測光エリアを備えた
センサー基板（図示せず）が配置され、赤色光、緑色光
、青色光をそれぞれ測光する。なお、この複合干渉フィ
ルタ３０は、第１図において説明した複合干渉フィルタ
１４と同じ構造をしている。
用途に応じて任意の形状にすることができる。第３図は
カラーセンサーに用いる複合干渉フィルタの例を示すも
のである。（Ａ）に示す複合干渉フィルタ３０は、赤色
光を透過する赤色干渉フィルタ３１と、緑色光を透過す
る緑色干渉フィルタ３２と、青色光を透過する青色干渉
フィルタ３３とが隣接して配置されている。この複合干
渉フィルタ３０の背後には、３個の測光エリアを備えた
センサー基板（図示せず）が配置され、赤色光、緑色光
、青色光をそれぞれ測光する。なお、この複合干渉フィ
ルタ３０は、第１図において説明した複合干渉フィルタ
１４と同じ構造をしている。
（Ｂ）に示す複合干渉フィルタ３５は、白色光を透過す
るＮＤフィルタ３６を囲むように、赤色干渉フィルタ３
７．緑色干渉フィルタ３８．青色干渉フィルタ３９が配
置されている。（Ｃ）に示す複合干渉フィルタ４０は、
赤色干渉フィルタ４１、緑色干渉フィルタ４２．青色干
渉フィルタ４３、ＮＤフィルタ４４がそれぞれ扇形をし
ており、これらが１個の円を形成するように配置されて
いる。
るＮＤフィルタ３６を囲むように、赤色干渉フィルタ３
７．緑色干渉フィルタ３８．青色干渉フィルタ３９が配
置されている。（Ｃ）に示す複合干渉フィルタ４０は、
赤色干渉フィルタ４１、緑色干渉フィルタ４２．青色干
渉フィルタ４３、ＮＤフィルタ４４がそれぞれ扇形をし
ており、これらが１個の円を形成するように配置されて
いる。
前記実施例では、干渉フィルタは透明基板の片面にのみ
蒸着膜が形成されているが、これは両面であってもよい
。この場合には、一方の蒸着膜により透過光の長波長側
を規制し、他方の蒸着膜で短波長側を規制し、それによ
り分光特性の精度を高めることができる。また、着色フ
ィルタと干渉フィルタとを接合し、これらを支持体に接
着することで、任意の分光特性を得ることもできる。
蒸着膜が形成されているが、これは両面であってもよい
。この場合には、一方の蒸着膜により透過光の長波長側
を規制し、他方の蒸着膜で短波長側を規制し、それによ
り分光特性の精度を高めることができる。また、着色フ
ィルタと干渉フィルタとを接合し、これらを支持体に接
着することで、任意の分光特性を得ることもできる。
以上詳細に説明したように、本発明の複合干渉フィルタ
は、別個に作製した複数の干渉フィルタを支持体に接合
したものであるから、蒸着時にマスキングが不要となり
、製造工程数を少なくすることができる。また、分光特
性が良好な干渉フィルタを選んで用いることができるた
め、精度のよい複合干渉フィルタを作製することができ
るとともに、従来のような製作失敗が起こることがない
。
は、別個に作製した複数の干渉フィルタを支持体に接合
したものであるから、蒸着時にマスキングが不要となり
、製造工程数を少なくすることができる。また、分光特
性が良好な干渉フィルタを選んで用いることができるた
め、精度のよい複合干渉フィルタを作製することができ
るとともに、従来のような製作失敗が起こることがない
。
更にまた、蒸着膜の形成後は、従来のように真空状態に
おかれることがないため、分光特性の変化が少ない。
おかれることがないため、分光特性の変化が少ない。
第１図は本発明の複合干渉フィルタの製造工程を示す説
明図である。 第２図は複合干渉フィルタの利用例を示す断面図である
。 第３図は複合干渉フィルタの形状の例をそれぞれ示す平
面図である。 第４図を従来の複合干渉フィルタを示す斜視図である。 １０・・・・支持体 １１・・・・シアン干渉フィルタ １２・・・・ＮＤフィルタ １３・・・・イエロー干渉フィルタ １４・・・・複合干渉フィルタ ２２．２４．３０，３５．４０・・複合干渉フィルタ。 ２２（卆１合千手フィルタ） 手続補正書 １．事件の表示 昭和６２年 特許願 第３１３７６２号２、発明の名称 複合干渉フィルタ ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 神奈川県南足柄市中沼２１０番地名称 （５２０
）富士写真フィルム株式会社４、代理人 ◎１７０ 東京都豊島区北大塚２−２５−１ （１） 明細舎の「発明の詳細な説明」の欄。 ６、補正の内容 （１）明細書第９頁第１５行の「・・・得ることもでき
る。」の後に以下を加入する。 「さらに、干渉フィルタとの接合面またはこの接合面の
反対側の支持体の全面に、波長選択性のある誘電体多層
膜を蒸着してもよい。」以上
明図である。 第２図は複合干渉フィルタの利用例を示す断面図である
。 第３図は複合干渉フィルタの形状の例をそれぞれ示す平
面図である。 第４図を従来の複合干渉フィルタを示す斜視図である。 １０・・・・支持体 １１・・・・シアン干渉フィルタ １２・・・・ＮＤフィルタ １３・・・・イエロー干渉フィルタ １４・・・・複合干渉フィルタ ２２．２４．３０，３５．４０・・複合干渉フィルタ。 ２２（卆１合千手フィルタ） 手続補正書 １．事件の表示 昭和６２年 特許願 第３１３７６２号２、発明の名称 複合干渉フィルタ ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 神奈川県南足柄市中沼２１０番地名称 （５２０
）富士写真フィルム株式会社４、代理人 ◎１７０ 東京都豊島区北大塚２−２５−１ （１） 明細舎の「発明の詳細な説明」の欄。 ６、補正の内容 （１）明細書第９頁第１５行の「・・・得ることもでき
る。」の後に以下を加入する。 「さらに、干渉フィルタとの接合面またはこの接合面の
反対側の支持体の全面に、波長選択性のある誘電体多層
膜を蒸着してもよい。」以上
Claims (3)
- （１）異なった分光特性を有する少なくとも２枚の干渉
フィルタを、透光性を有する支持体上に接合したことを
特徴とする複合干渉フィルタ。 - （２）前記干渉フィルタは、透明な基板と、誘電体を蒸
着した蒸着膜とからなることを特徴とする特許請求の範
囲第１項記載の複合干渉フィルタ。 - （３）前記支持体は干渉フィルタの接合面と反対の面に
、反射防止膜が蒸着されていることを特徴とする特許請
求の範囲第１項又は第２項記載の複合干渉フィルタ。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31376287A JPH01154103A (ja) | 1987-12-11 | 1987-12-11 | 複合干渉フイルタ |
| US07/668,331 US5073008A (en) | 1987-12-11 | 1991-03-14 | Multicolor interference filters with side surfaces to prevent entry of undesirable light |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31376287A JPH01154103A (ja) | 1987-12-11 | 1987-12-11 | 複合干渉フイルタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01154103A true JPH01154103A (ja) | 1989-06-16 |
Family
ID=18045218
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31376287A Pending JPH01154103A (ja) | 1987-12-11 | 1987-12-11 | 複合干渉フイルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01154103A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004012961A (ja) * | 2002-06-10 | 2004-01-15 | Nikon Corp | 蛍光観察用の落射照明装置およびそれを備えた蛍光顕微鏡 |
-
1987
- 1987-12-11 JP JP31376287A patent/JPH01154103A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004012961A (ja) * | 2002-06-10 | 2004-01-15 | Nikon Corp | 蛍光観察用の落射照明装置およびそれを備えた蛍光顕微鏡 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TW298626B (ja) | ||
| US5073008A (en) | Multicolor interference filters with side surfaces to prevent entry of undesirable light | |
| US5217832A (en) | Permanent color transparencies on single substrates and methods for making the same | |
| JPS61296304A (ja) | 多層膜干渉フイルタ | |
| JPS6139641B2 (ja) | ||
| JPH01154103A (ja) | 複合干渉フイルタ | |
| JPH01154104A (ja) | 複合干渉フイルタ | |
| JP4475955B2 (ja) | 構造化光学素子及び同じものの製造 | |
| JP3166115B2 (ja) | フィルタ装置 | |
| US7940463B2 (en) | Fabricating and using hidden features in an image | |
| JPH046502A (ja) | 可変色フィルタ装置 | |
| JPH10133253A (ja) | 光量絞り装置 | |
| JPS6132802A (ja) | 色分離フイルタ | |
| DE69625956D1 (de) | Mehrschichten-Spiegel mit neutralem Farbton | |
| JPH02149803A (ja) | 光学多層膜 | |
| JPS58184109A (ja) | カラ−フイルタ− | |
| JP2935765B2 (ja) | ダイクロイックミラーの製造方法 | |
| JPS638702A (ja) | 無偏光ビ−ムスプリツタ− | |
| JP3002002B2 (ja) | バンドパスフィルタ | |
| JPS59208511A (ja) | 色分解フイルタ−の製造方法 | |
| JPH04133003A (ja) | 光学多層選択反射膜 | |
| JP4192512B2 (ja) | 半透過型ｌｃｄ用カラーフイルタ及びその製造方法 | |
| JPH0518803Y2 (ja) | ||
| JPH01227471A (ja) | 固体撮像素子用カラーフィルタ | |
| JPS60258503A (ja) | 光学干渉フイルタ−の製造方法 |