JPH0115556Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 本考案は、例えば半導体のような塵埃を極端に
きらう荷をクリーンルーム内で搬送するのに採用
されるクリーンルーム内の荷搬送設備、詳述すれ
ば、クリーンルーム内に配設したレール装置と、
このレール装置に支持案内される荷搬送用の自走
台車と、前記レール装置に取付けた給電レール
と、この給電レールに摺接すべく前記自走台車に
取付けた集電子とからなるクリーンルーム内の荷
搬送設備に関するものである。

従来例の構成とその問題点 上記した荷搬送設備の一般例が第１図、第２図
に示されている。すなわち１は自走台車で、機枠
２に車軸３を介して遊転可能に取付けた左右一対
の第１車輪４と、これよりも走行経路（一定経
路）５方向の何れかに離れた位置において前記機
枠２に車軸６を介して遊転可能に取付けた左右一
対の第２車輪７と、両車軸３，６に取付けた横移
動規制用車輪８と、前記第１車輪４の近くにおい
て前記機枠２に駆動軸９を介して取付けた推進用
回転輪（摩擦回転輪）１０と、この推進用回転輪
１０を駆動すべく前記機枠２に取付けたモータ１
１、および該モータ１１と駆動軸９とを連動連結
する減速装置１２と、前記駆動軸９に取付けたピ
ニオンギヤ１３と、機枠２の側面に取付けた行先
設定用のコードマグネツト１４と、集電子１５な
どからなる。１６は機枠２上に取付けられる連結
部で、機枠２のすぐ上に位置する小幅部１７と、
これから左右上方に位置する二又部１８とから構
成される。１９は箱状の搬送物収納部で、前記二
又部１８に横軸芯２０の周りに相対回転可能に取
付けてある。そして搬送物収納部１９内にはウエ
ハーなどの搬送物２１が収納されている。２２は
前記自走台車１を案内するレール装置で、第１車
輪４に上側から接当する第１走行案内面２３と、
第２車輪７および推進用回転輪１０に下側から接
当する第２走行案内面２４と、横移動規制用車輪
８に外側から接当する第３走行案内面２５とを有
し、前記第２走行案内面２４には、前記集電子15
が摺接する給電レール２６と、傾斜経路などにお
いて前記ピニオンギヤ１３が咬合するラツク２７
とが設けられる。前記自走台車１とレール装置２
２とはダクト２８内に、配置してある。このダク
ト２８の底板上に走行経路５方向の支持レール２
９を左右一対設け、これら支持レール２９間に、
弾性緩衝体３０を介して支持枠体３１を走行経路
５方向に複数本設け、これら支持枠体３１に支持
具３２を介して前記レール装置２２を取付けてい
る。前記ダクト２８の天板には走行経路５の全長
に亘るスリツト３３が形成され、ここに左右から
の弾性シール材３４を設けてシール式スリツト部
３５に形成している。そしてこのシール式スリツ
ト部３５に、前記連結部１６の小幅部１７が位置
するように構成してある。前記ダクト２８の側部
には吸引ダクト３６が配設され、そして両者を吸
引口３７で連通している。

自走台車１の走行は、モータ１１の回転力を減
速装置１２、駆動軸９を介して推進用回転輪１０
に伝達し、この推進用回転輪１０を第２走行案内
面２４上で圧接転動させることにより可能とな
り、さらに第２走行案内面２４に対する第２車輪
７の転動と、第１走行案内面２３に対する第１車
輪４の転動、ならびに横移動規制用車輪８の第３
走行案内面２５に対する転動とにより、水平、傾
斜などの走行経路５上を振れやガタ付きなどない
状態で安定して行なわれる。このような走行中に
おいて、車輪４，７，８や推進用回転輪１０の転
動などにより粉塵が発生するが、この粉塵は吸引
口３７を通して吸引ダクト３６内に吸引されるこ
とになり、またスリツト部３５にもダクト２８内
への吸引力が作用することから、該ダクト２８内
から粉塵が外部に出る恐れはない。

上記構成の荷搬送設備はクリーンルーム３８内
に配設され、また仮想線で示すように、搬送物収
納部１９を含む全体をダクト３９内に納める形式
であつてもよい。

ところで、上記のような荷搬送設備において
は、例えば第３図、第４図に示すように、走行経
路５の適所に一対のレール装置２２を平行させた
平行部を設け、この平行部に、両レール装置２２
間で自走台車１を移動させる分岐合流装置４０を
設けている。この分岐合流装置４０は、固定した
箱状の本体４１と、この本体４１の上方において
該本体４１に横移動自在に支持される１本の可動
レール４２と、この可動レール４２を走行経路５
の方向に対して直交する横方向に横移動させるべ
く本体４１側に取付けた横移動駆動装置４３など
からなる。このような分岐合流部において、自走
台車１はレール装置２２から可動レール４２に乗
り移り、そしてこの可動レール４２の横移動によ
つて経路替えが行なわれたのち、レール装置２２
に乗り移る。ここでレール装置２２と可動レール
４２との相対向する接続端面間には、該可動レー
ル４２が円滑に横移動し得る範囲内の最小限の間
隙ｌが、走行経路５の方向とは直交する方向で予
め形成してあり、給電レール２６も同様に形成し
てある。したがつて第５図、第６図に示すよう
に、乗り移り時に車輪４，７、推進用回転輪１
０、集電子１５が前記間隙ｌ部を落ち込み状で通
過することになり、その際に接続端面でけずられ
るような状態になる。これにより摩損することに
なつて車輪４，７などの耐用期間が短かくなる。
また分岐合流部は通常、ダクト２８をカツトした
オープン状態にあり、したがつて摩損により生じ
た塵埃が搬送物２１やクリーンルーム３８に悪影
響を及ぼすことになる。

考案の目的 本考案の目的とするところは、所定の間隙を形
成しているものでありながら、車輪や集電子を落
ち込ませることなく通過させ得るクリーンルーム
内の荷搬送設備を提供する点にある。

考案の構成 上記目的を達成するために本考案におけるクリ
ーンルーム内の荷搬送設備は、走行経路の適所に
レール装置の平行部を設け、この平行部に、両レ
ール装置間で自走台車を移動させる分岐合流装置
を設け、この分岐合流装置は平行方向である横方
向に移動自在な可動レールを有し、この可動レー
ルと両レール装置との相対向する横続端面を走行
経路方向に対して傾斜して形成している。

実施例と作用 以下に本考案の一実施例を第７図〜第１０図に
基づいて説明する。前記可動レール４２と両レー
ル装置２２との相対向する接続端面を走行経路５
方向に対して傾斜して形成し、傾斜する間隙ｌを
生ぜしめている。前記可動レール４２は傾斜方向
に横移動するものであり、そのために同じように
傾斜したガイドレール４４が本体４１側に取付け
てある。また分岐合流装置４０はモータ４５に連
動するレバー４６を有し、このレバー４６の遊端
に取付けたピン４７を可動レール４２の下面側に
形成したガイド溝４８に嵌合させている。ここで
ガイド溝４８は、走行経路５の方向に対して接続
端面側とは反対向きに且つ等角度で傾斜してい
る。なお接続端面などの傾斜角度（θ）は、各輪
４，７，１０や集電子１５の幅などに応じて任意
に決定されるものである。

次に上記実施例における作用について説明す
る。乗り移り時に車輪４，７、推進用回転輪１
０、集電子１５は、間隙ｌが傾斜していることか
巾方向において順次該間隙ｌを通過することにな
り、したがつて巾方向のどこかがレール装置２２
の走行面２３，２４や給電レール２６に接してい
ることから落込みは生じない。

考案の効果 上記構成の本考案におけるクリーンルーム内の
荷搬送設備によると、次のような効果を期待でき
る。すなわち車輪や集電子などは間隙に落ち込ま
せることなく該間隙部を通過させることができ、
これにより車輪などの摩損を少なくできて長期間
の使用を可能にでき、さらに分岐合流部での塵埃
の発生を極減できる。

【図面の簡単な説明】

第１図、第２図は荷搬送設備の一般例を示し、
第１図は縦断側面図、第２図は縦断正面図、第３
図〜第６図は従来例を示し、第３図は一部切欠き
側面図、第４図は平面図、第５図、第６図は作用
状態を示す要部の側面図、第７図〜第１０図は本
考案の一実施例を示し、第７図は側面図、第８図
は平面図、第９図は作用状態を示す要部の側面
図、第１０図は同平面図である。 １……自走台車、４……第１車輪、５……走行
経路、７……第２車輪、１０……推進用回転輪、
１５……集電子、２２……レール装置、２３……
第１走行案内面、２４……第２走行案内面、２６
……給電レール、３８……クリーンルーム、４０
……分岐合流装置、４２……可動レール、４３…
…横移動駆動装置、４４……ガイドレール、４５
……モータ、４６……レバー、４７……ピン、４
８……ガイド構、ｌ……間隙。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. クリーンルーム内に配設したレール装置と、こ
   のレール装置に支持案内される荷搬送用の自走台
   車と、前記レール装置に取付けた給電レールと、
   この給電レールに摺接すべく前記自走台車に取付
   けた集電子とからなるクリーンルーム内の荷搬送
   設備において、走行経路の適所にレール装置の平
   行部を設け、この平行部に、両レール装置間で自
   走台車を移動させる分岐合流装置を設け、この分
   岐合流装置は平行方向である横方向に移動自在な
   可動レールを有し、この可動レールと両レール装
   置との相対向する接続端面を走行経路方向に対し
   て傾斜して形成したことを特徴とするクリーンル
   ーム内の荷搬送設備。