JPH01157155U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は、この考案の一実施例に係るイオン源
を示す断面図である。第２図は、この考案の他の
実施例に係るイオン源を部分的に示す断面図であ
る。第３図は、従来のイオン源の一例を示す断面
図である。 １２……固体物質蒸発源、１６……支柱、１８
……るつぼ、２０……固体物質、２２……ヒータ
、２４……接触器、３４……モータ、３６……温
度計測器、３８……制御装置。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 固体物質を収納したるつぼを加熱してその
   固体物質を蒸気化する固体物質蒸発源であつてそ
   のるつぼが支柱によつて容器内に支持された構造
   のものを有するイオン源において、前記支柱に接
   触させた接触器と、この接触器を支柱に沿つてそ
   の接触を保つた状態で移動させる駆動機構とを設
   けたことを特徴とするイオン源。 (2) 前記るつぼの温度を計測する温度計測器と
   、この温度計測器からの信号に応答して、るつぼ
   の温度が一定になるように前記駆動機構を制御す
   る制御装置とを更に設けた請求項１記載のイオン
   源。