JPH01164247U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01164247U JPH01164247U JP5948788U JP5948788U JPH01164247U JP H01164247 U JPH01164247 U JP H01164247U JP 5948788 U JP5948788 U JP 5948788U JP 5948788 U JP5948788 U JP 5948788U JP H01164247 U JPH01164247 U JP H01164247U
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- JP
- Japan
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- belt
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 2
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- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Delivering By Means Of Belts And Rollers (AREA)
Description
図はこの考案の粘着性ベルトを使用した半導体
基板搬送用ベルトコンベアの斜視図である。 １はベース、２は回転軸、３，４は駆動プーリ
ー、５，６は従動プーリー、７，８は基板搬送用
ベルト、９は半導体基板、１０は半導体基板が移
送される位置を示す、１１はモーター、１２は駆
動ベルト、１３は回転伝達プーリー。
基板搬送用ベルトコンベアの斜視図である。 １はベース、２は回転軸、３，４は駆動プーリ
ー、５，６は従動プーリー、７，８は基板搬送用
ベルト、９は半導体基板、１０は半導体基板が移
送される位置を示す、１１はモーター、１２は駆
動ベルト、１３は回転伝達プーリー。
Claims (1)
- 粘着性ゴムを使用した半導体基板搬送用ベルト
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5948788U JPH01164247U (ja) | 1988-05-02 | 1988-05-02 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5948788U JPH01164247U (ja) | 1988-05-02 | 1988-05-02 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01164247U true JPH01164247U (ja) | 1989-11-16 |
Family
ID=31285245
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5948788U Pending JPH01164247U (ja) | 1988-05-02 | 1988-05-02 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01164247U (ja) |
-
1988
- 1988-05-02 JP JP5948788U patent/JPH01164247U/ja active Pending