JPS62142837U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62142837U JPS62142837U JP3041286U JP3041286U JPS62142837U JP S62142837 U JPS62142837 U JP S62142837U JP 3041286 U JP3041286 U JP 3041286U JP 3041286 U JP3041286 U JP 3041286U JP S62142837 U JPS62142837 U JP S62142837U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- motor
- rotating
- clutch
- slipping
- transmitting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Delivering By Means Of Belts And Rollers (AREA)
Description
第１図は、この考案の一実施例に係るウエハ搬
送装置を用いたイオン注入装置のエンドステーシ
ヨンの一例を示す図である。第２図は、従来のウ
エハ搬送装置を用いたイオン注入装置のエンドス
テーシヨンの一例を示す図である。 ２…ウエハ、２ａ…オリエンテーシヨンフラツ
ト、２４〜２７…搬送ベルト、３０〜３３…回転
軸、５４〜５６…クラツチ、６０〜６６…タイミ
ングベルト、７０…モータ。
送装置を用いたイオン注入装置のエンドステーシ
ヨンの一例を示す図である。第２図は、従来のウ
エハ搬送装置を用いたイオン注入装置のエンドス
テーシヨンの一例を示す図である。 ２…ウエハ、２ａ…オリエンテーシヨンフラツ
ト、２４〜２７…搬送ベルト、３０〜３３…回転
軸、５４〜５６…クラツチ、６０〜６６…タイミ
ングベルト、７０…モータ。
Claims (1)
- ウエハを載置搬送する複数の互いに直列状態に
配置された搬送ベルトと、各搬送ベルトをそれぞ
れ回転させるためのものであつて中間にクラツチ
を有するものを含む複数の回転軸と、一つのモー
タと、当該モータの回転運動を各回転軸に滑りが
ない状態で伝達する複数の伝達手段とを備えるこ
とを特徴とするウエハ搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3041286U JPS62142837U (ja) | 1986-03-03 | 1986-03-03 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3041286U JPS62142837U (ja) | 1986-03-03 | 1986-03-03 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62142837U true JPS62142837U (ja) | 1987-09-09 |
Family
ID=30835195
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3041286U Pending JPS62142837U (ja) | 1986-03-03 | 1986-03-03 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62142837U (ja) |
-
1986
- 1986-03-03 JP JP3041286U patent/JPS62142837U/ja active Pending
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