JPH01165556U - - Google Patents

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JPH01165556U
JPH01165556U JP6107588U JP6107588U JPH01165556U JP H01165556 U JPH01165556 U JP H01165556U JP 6107588 U JP6107588 U JP 6107588U JP 6107588 U JP6107588 U JP 6107588U JP H01165556 U JPH01165556 U JP H01165556U
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JP
Japan
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stage
movement
base
motors
rail
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JP6107588U
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本案の一実施例の全体図、第２図はＸ
軸ナツト部の詳細図である。 １…ベース、２…Ｙテーブル、３…Ｘテーブル
、４…ベアリング、５…Ｘ軸ボールねじ、６…駆
動レール、８…ガイドレール、９…Ｙ軸ボールね
じ、１０…Ｘモータ、１１…Ｙモータ。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ ステージの基板となるベースと、前記ベース
    上で一方向に直線的に移動可能なＹ（Ｘ）テーブ
    ルと、前記Ｙ（Ｘ）テーブル上で、Ｙ（Ｘ）テー
    ブルの移動方向と直交する方向に直線的に移動可
    能なＸ（Ｙ）テーブルと、おのおののテーブルを
    精度よく案内するレールと、駆動するモータと送
    りねじよりなるＸＹステージにおいて、Ｘテーブ
    ルに取り付けた回転体と、Ｘテーブルの移動方向
    と直交する駆動レールとその駆動レールをＸテー
    ブルの移動方向に案内する部材を設け、前記送り
    ねじ及びＸテーブルに回転モーメントが直接加わ
    らないように構成したことを特徴とするＸＹステ
    ージ。 ２ 請求の範囲第１項において、ＸＹ両軸の送り
    ねじ及びモータを前記ベースに固定し、前記モー
    タ及び送りねじがＸＹ方向に移動しないことを特
    徴とするＸＹステージ。
JP6107588U 1988-05-11 1988-05-11 Pending JPH01165556U (ja)

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JP6107588U JPH01165556U (ja) 1988-05-11 1988-05-11

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JP6107588U JPH01165556U (ja) 1988-05-11 1988-05-11

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JPH01165556U true JPH01165556U (ja) 1989-11-20

Family

ID=31286752

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JP6107588U Pending JPH01165556U (ja) 1988-05-11 1988-05-11

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