JPH0317622U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0317622U JPH0317622U JP7812689U JP7812689U JPH0317622U JP H0317622 U JPH0317622 U JP H0317622U JP 7812689 U JP7812689 U JP 7812689U JP 7812689 U JP7812689 U JP 7812689U JP H0317622 U JPH0317622 U JP H0317622U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- alignment
- wafer
- exposure device
- section
- view
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 claims 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
Description
第１図ａは本考案の目合わせ露光装置のプリア
ライメント部、オートハンド部、露光ステージ部
の平面図、第１図ｂはオートハンドの平面図、第
１図ｃはウエハースチヤツク部の断面図である。
第２図は実施例２のウエハースチヤツクの断面図
である。第３図ａは従来の目合わせ露光装置のプ
リアライメント部、露光ステージ部の平面図、第
３図ｂはオートハンドの斜視図、第３図ｃはオー
トハンドのゴミが付着したウエハースの平面図で
ある。 １…露光ステージ部、２…ウエハースチヤツク
、３…オートハンド、４…プリアライメント部、
５…ＯＦ検出部、６…ウエハース。
ライメント部、オートハンド部、露光ステージ部
の平面図、第１図ｂはオートハンドの平面図、第
１図ｃはウエハースチヤツク部の断面図である。
第２図は実施例２のウエハースチヤツクの断面図
である。第３図ａは従来の目合わせ露光装置のプ
リアライメント部、露光ステージ部の平面図、第
３図ｂはオートハンドの斜視図、第３図ｃはオー
トハンドのゴミが付着したウエハースの平面図で
ある。 １…露光ステージ部、２…ウエハースチヤツク
、３…オートハンド、４…プリアライメント部、
５…ＯＦ検出部、６…ウエハース。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 フオトレジストが塗布されたウエハースの目合
わせ露光を行うコンタクト目合わせ露光装置にお
いて、 オリエンテーシヨンフラツトの位置合わせ完了
後のウエハースを裏面から吸着して露光ステージ
に運び込む手段を持つた目合わせ露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7812689U JPH0317622U (ja) | 1989-06-30 | 1989-06-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7812689U JPH0317622U (ja) | 1989-06-30 | 1989-06-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0317622U true JPH0317622U (ja) | 1991-02-21 |
Family
ID=31621121
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7812689U Pending JPH0317622U (ja) | 1989-06-30 | 1989-06-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0317622U (ja) |
-
1989
- 1989-06-30 JP JP7812689U patent/JPH0317622U/ja active Pending