JPH01168038A - 磁気浮上式案内装置 - Google Patents
磁気浮上式案内装置Info
- Publication number
- JPH01168038A JPH01168038A JP62325369A JP32536987A JPH01168038A JP H01168038 A JPH01168038 A JP H01168038A JP 62325369 A JP62325369 A JP 62325369A JP 32536987 A JP32536987 A JP 32536987A JP H01168038 A JPH01168038 A JP H01168038A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- guide
- movable
- movable body
- permanent magnet
- permanent magnets
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的コ
（産業上の利用分野）
この発明は案内体に対して移動体を永久磁石によって浮
上させる磁気浮上式案内装置に関する。
上させる磁気浮上式案内装置に関する。
（従来の技＃ｌ）
たとえば半導体の製造工程においては塵埃の発生を避け
、清浄な環境を維持する。ために、上記半導体ウェハを
受渡しなどのために搬送する装置として磁気浮上式案内
装置が採用されている。
、清浄な環境を維持する。ために、上記半導体ウェハを
受渡しなどのために搬送する装置として磁気浮上式案内
装置が採用されている。
従来、上記磁気浮上式案内装置としては、第３図に示す
ような構造のものが用いられていた。す □なわち、図
中１は案内体である。この案内体１には両側に壁部２が
立設されているとともに、内底部には一対の固定側永久
磁石３が支持部材４を介して設けられている。
ような構造のものが用いられていた。す □なわち、図
中１は案内体である。この案内体１には両側に壁部２が
立設されているとともに、内底部には一対の固定側永久
磁石３が支持部材４を介して設けられている。
上記案内体１には移動体５が非接触状態で支持されてい
る。すなわち、移動体５にはその下面に上記固定側永久
磁石３と対向して一対の移動側永久磁石６が設けられて
いる。上記固定側永久磁石３と移動側永久磁石６とは同
じ極性のものが用いられている。したがって、これら永
久磁石３．６間に生じる反発力によって上記移動体５は
浮上した状態で支持されている。
る。すなわち、移動体５にはその下面に上記固定側永久
磁石３と対向して一対の移動側永久磁石６が設けられて
いる。上記固定側永久磁石３と移動側永久磁石６とは同
じ極性のものが用いられている。したがって、これら永
久磁石３．６間に生じる反発力によって上記移動体５は
浮上した状態で支持されている。
また、上記移動体５の移動方向と直交する両側には電磁
石７が設けられ、これら電磁石７と対向する上記案内体
１の壁部２の上端には位置決め用永久磁石８が設けられ
ている。さらに、上記移動体５の両側には取付部材９が
垂設され、その下端には上記支持部材４の側面に対向し
て変位検出器１１が設けられている。この変位検出器１
１は上記支持部材４との対向間隔、つまり移動体５の移
動方向と交差する方向のずれ置を検知し、その検知信号
を制御装置１２にリード線１３を介して入力するように
なっている。すると、この制御ｌ１１２は上記変位検出
器１１からの信号に応じて上記電磁石７への入力電流を
リード線１３を介して１１１６１］する。したがって、
一対の電磁石７と位置決め用永久磁石８との間の吸引力
が制御され、それによって移動体５の左右方向のずれが
除去されるようになっている。なお、移動体５は図示し
ないが磁気吸引力やロープなどによって案内体１に沿う
方向に駆動されるようになっている。
石７が設けられ、これら電磁石７と対向する上記案内体
１の壁部２の上端には位置決め用永久磁石８が設けられ
ている。さらに、上記移動体５の両側には取付部材９が
垂設され、その下端には上記支持部材４の側面に対向し
て変位検出器１１が設けられている。この変位検出器１
１は上記支持部材４との対向間隔、つまり移動体５の移
動方向と交差する方向のずれ置を検知し、その検知信号
を制御装置１２にリード線１３を介して入力するように
なっている。すると、この制御ｌ１１２は上記変位検出
器１１からの信号に応じて上記電磁石７への入力電流を
リード線１３を介して１１１６１］する。したがって、
一対の電磁石７と位置決め用永久磁石８との間の吸引力
が制御され、それによって移動体５の左右方向のずれが
除去されるようになっている。なお、移動体５は図示し
ないが磁気吸引力やロープなどによって案内体１に沿う
方向に駆動されるようになっている。
ところで、このような従来の構造によると、移動体５の
ずれを補正するのに電磁石７への供給電流を制御して行
なうようにしている。そのため、制御装＠１２を必要と
するから、構成の複雑化やコスート”高を招くというこ
とがあった。また、移動体５に設けられた電磁石７およ
び変位検出器１１にはリード線１３が接続されているか
ら、上記移動体５の移動距離に制限を受けるなどのこと
もあった。
ずれを補正するのに電磁石７への供給電流を制御して行
なうようにしている。そのため、制御装＠１２を必要と
するから、構成の複雑化やコスート”高を招くというこ
とがあった。また、移動体５に設けられた電磁石７およ
び変位検出器１１にはリード線１３が接続されているか
ら、上記移動体５の移動距離に制限を受けるなどのこと
もあった。
（発明が解決しようとづる問題点）
このように、従来の磁気浮上式案内装置は移動体のずれ
を補正するのに電磁石を用いていたので、構成の複雑化
によるコスト高や移動体に接続されたリード線によって
その移動体の移動が制限を受けるなどのことがあった。
を補正するのに電磁石を用いていたので、構成の複雑化
によるコスト高や移動体に接続されたリード線によって
その移動体の移動が制限を受けるなどのことがあった。
この発明は上記事情にもとずきなされたもので、その目
的とするところは、電磁石を用いずに移動体のずれを修
正することができるようにした磁気浮上式案内装置を提
供することにある。
的とするところは、電磁石を用いずに移動体のずれを修
正することができるようにした磁気浮上式案内装置を提
供することにある。
［発明の構成］
（問題点を解決するための手段及び作用）上記問題点を
解決するためにこの発明は、水平面側に固定側永久磁石
を有し両側の垂直面を案内面とする案内体と、この案内
体に永久磁石の反発力あパるいは吸引力によって浮上さ
せられた移動体と、この移動体の両側に上記案内部に対
向して設けられた弾性体と、この弾性体に回転自在に設
【プられ上記移動体がその移動方向と交差する方向にず
れると上記案内体の案内部に当接して上記弾性体を弾性
変形させる回転体とを置端する。そして、移動体がずれ
て回転体が案内体に当たることによって生じる弾性体の
反発力で上記移動体のずれを修正するようにしたもので
ある。
解決するためにこの発明は、水平面側に固定側永久磁石
を有し両側の垂直面を案内面とする案内体と、この案内
体に永久磁石の反発力あパるいは吸引力によって浮上さ
せられた移動体と、この移動体の両側に上記案内部に対
向して設けられた弾性体と、この弾性体に回転自在に設
【プられ上記移動体がその移動方向と交差する方向にず
れると上記案内体の案内部に当接して上記弾性体を弾性
変形させる回転体とを置端する。そして、移動体がずれ
て回転体が案内体に当たることによって生じる弾性体の
反発力で上記移動体のずれを修正するようにしたもので
ある。
（実施例）
以下、この発明の一実施例を第１図を参照して説明する
。第１図に示す磁気浮上式案内装置は案内体２１を備え
ている。この案内体２１には両側に壁部２２が立設され
ているとともに、内底面２１ａ上には一対の固定側永久
磁石２３が所定間隔で離開対向して配設されている。
。第１図に示す磁気浮上式案内装置は案内体２１を備え
ている。この案内体２１には両側に壁部２２が立設され
ているとともに、内底面２１ａ上には一対の固定側永久
磁石２３が所定間隔で離開対向して配設されている。
上記案内体２１には移動体２４が支持されている。すな
わち、移動体２４は平板状をなしていて、その下面には
上記固定側永久磁石２３よりもわずかに狭い間隔で一対
の可動側永久磁石２５が設けられている。この可動側永
久磁石２・５は上記固定側永久磁石２３と異なる極性の
ものが用いられている。したがって、移動体２４は上記
永久磁石２３と２５の間に生じる磁気反発力によって浮
上した状態で支持されている。
わち、移動体２４は平板状をなしていて、その下面には
上記固定側永久磁石２３よりもわずかに狭い間隔で一対
の可動側永久磁石２５が設けられている。この可動側永
久磁石２・５は上記固定側永久磁石２３と異なる極性の
ものが用いられている。したがって、移動体２４は上記
永久磁石２３と２５の間に生じる磁気反発力によって浮
上した状態で支持されている。
上記移動体２４の両側にはたとえばばねｕなどからなる
帯板状の弾性体２６の上端がそれぞれ取着されている。
帯板状の弾性体２６の上端がそれぞれ取着されている。
これら弾性体２６の下端にはそれぞれ支持部材２７が設
けられている。この支持部材２７にはたとえばラジアル
軸受からなる回転体２８が支軸２９によって取付けられ
ている。上記回転体２８の外周面は上記案内体２１の壁
部２２の内側面に所定の間隔Ｘを介して対向している。
けられている。この支持部材２７にはたとえばラジアル
軸受からなる回転体２８が支軸２９によって取付けられ
ている。上記回転体２８の外周面は上記案内体２１の壁
部２２の内側面に所定の間隔Ｘを介して対向している。
したがって、上記移動体２４が案内体２１の側方に距離
Ｘ以上ずれると、上記回転体２８の外周面が上記壁部２
２の内側面に当接するようになっている。
Ｘ以上ずれると、上記回転体２８の外周面が上記壁部２
２の内側面に当接するようになっている。
なお、移動体２４は図示しない磁気吸引力や口 、−ブ
などによって上記案内体２１に沿って駆動されるように
なっている。
などによって上記案内体２１に沿って駆動されるように
なっている。
このように構成された磁気浮上式案内装置によると、固
定側永久磁石２３と可動側永久磁石２５との反発力で浮
上した移動体２４に外力が加わると、この移動体２４が
移動方向と交差する幅方向にずれることがある。
定側永久磁石２３と可動側永久磁石２５との反発力で浮
上した移動体２４に外力が加わると、この移動体２４が
移動方向と交差する幅方向にずれることがある。
上記移動体２４が幅方向である、たとえば第１図におけ
る右方向にＸ以上の距離でずれると、移動体２４の右側
に設けられた回転体２８の外周面が右側の壁部２２の内
側面に回転しなから当接し、その回転体２８が設けられ
た弾性体２６を弾性変形させる。すると、この弾性体２
６には弾性変形量に応じた反発力が生じるから、その反
発力によって上記移動体２６はずれ方向と逆方向、つま
り左方向に移動して所定の位置に戻ることになる。
る右方向にＸ以上の距離でずれると、移動体２４の右側
に設けられた回転体２８の外周面が右側の壁部２２の内
側面に回転しなから当接し、その回転体２８が設けられ
た弾性体２６を弾性変形させる。すると、この弾性体２
６には弾性変形量に応じた反発力が生じるから、その反
発力によって上記移動体２６はずれ方向と逆方向、つま
り左方向に移動して所定の位置に戻ることになる。
また、一対の可動側永久磁石２５の間隔が一対の固定側
永久磁石２３の間隔よりも小さな配置されている。その
ため、移動体２４がたとえば右方向にずれる場合、右側
に位置する固定側永久磁石２３に対して可動側永久磁石
２５の対向面積が増大し、それによって固定側永久磁石
２３と可動側永久磁石２５との反発力が増大する。した
がって、その反発力の増大が移動体２４の右方向への移
動を阻止することになる。つまり、一対の可動側永久磁
石２５の間隔を固定側永久磁石２３の間隔よりも小さく
したことにより、移動体２４の移動方向と交差する方向
の安定性を向上させることができる。
永久磁石２３の間隔よりも小さな配置されている。その
ため、移動体２４がたとえば右方向にずれる場合、右側
に位置する固定側永久磁石２３に対して可動側永久磁石
２５の対向面積が増大し、それによって固定側永久磁石
２３と可動側永久磁石２５との反発力が増大する。した
がって、その反発力の増大が移動体２４の右方向への移
動を阻止することになる。つまり、一対の可動側永久磁
石２５の間隔を固定側永久磁石２３の間隔よりも小さく
したことにより、移動体２４の移動方向と交差する方向
の安定性を向上させることができる。
第３図はこの発明の他の実施例で、この実施例は案内体
２１が断面Ｔ字状をなし、移動体２４は上記案内体２１
の水平部４１を覆う断面チャンネル状をなしている。そ
して、上記案内体２１の水平部４１の下面両端には固定
側永久磁石２３ａが設けられ、移動体２４の上記固定側
永久磁石２３ａと対向する部分には可動側永久磁石２５
ａが設けられている。この可動側永久磁石２５ａと上記
固定側永久磁石２３ａとは同じ極性のものが用いられて
いる。したがって、移動体２４は案内体２１に対して磁
気吸引力によって浮上した状態で支持されている。
２１が断面Ｔ字状をなし、移動体２４は上記案内体２１
の水平部４１を覆う断面チャンネル状をなしている。そ
して、上記案内体２１の水平部４１の下面両端には固定
側永久磁石２３ａが設けられ、移動体２４の上記固定側
永久磁石２３ａと対向する部分には可動側永久磁石２５
ａが設けられている。この可動側永久磁石２５ａと上記
固定側永久磁石２３ａとは同じ極性のものが用いられて
いる。したがって、移動体２４は案内体２１に対して磁
気吸引力によって浮上した状態で支持されている。
なお、移動体２４の上部内面の両端部からはそれぞれ弾
性変形自在な弾性体としての支軸４２が垂設され、その
支軸４２に回転体２８が回転自在に設けられ、これら回
転体２日は上記案内体２１の水平部４１の幅方向両端面
に所定の間隔で離間対向している。また、図示しないが
、上下方向の間隔を離間させるためにも同様の構成を備
えるものとづる。
性変形自在な弾性体としての支軸４２が垂設され、その
支軸４２に回転体２８が回転自在に設けられ、これら回
転体２日は上記案内体２１の水平部４１の幅方向両端面
に所定の間隔で離間対向している。また、図示しないが
、上下方向の間隔を離間させるためにも同様の構成を備
えるものとづる。
このような構成においても、上記一実施例と同様移動体
２４が移動方向と交差する方向にずれて回転体２８が案
内体２１の水平部４１の端面に当接すれば、支軸４２が
弾性変形して反発力が生じるから、それによって上記移
動体２４を元の位置に戻すことができる。
２４が移動方向と交差する方向にずれて回転体２８が案
内体２１の水平部４１の端面に当接すれば、支軸４２が
弾性変形して反発力が生じるから、それによって上記移
動体２４を元の位置に戻すことができる。
し発明の効果］
以上述べたようにこの発明は、案内体に対して永久磁石
の反発力あるいは吸引力によって浮上させられた移動体
が移動方向と交差する方向にずれると、弾性体に回転自
在に設けられた回転体が上記案内体に当接し、上記弾性
体を弾性変形させる。したがって、上記弾性体の弾性変
形によって生じる反発力で移動体のずれを補正すること
ができるから、′ｉＭ磁石を用いなければならなかった
従来に比べて構成の簡略化を計ることができるなどの利
点を有する。
の反発力あるいは吸引力によって浮上させられた移動体
が移動方向と交差する方向にずれると、弾性体に回転自
在に設けられた回転体が上記案内体に当接し、上記弾性
体を弾性変形させる。したがって、上記弾性体の弾性変
形によって生じる反発力で移動体のずれを補正すること
ができるから、′ｉＭ磁石を用いなければならなかった
従来に比べて構成の簡略化を計ることができるなどの利
点を有する。
第１図はこの発明の一実施例を示寸全体構成の概略図、
第２図はこの発明の他の実施例を示す全体構成の概略図
、第３図は従来の構成の概略図である。 ２１・・・案内体、２３・・・固定側永久磁石、２４・
・・移動体、２５・・・可動側永久磁石、２６・・・弾
性体、２８・・・回転体。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦
第２図はこの発明の他の実施例を示す全体構成の概略図
、第３図は従来の構成の概略図である。 ２１・・・案内体、２３・・・固定側永久磁石、２４・
・・移動体、２５・・・可動側永久磁石、２６・・・弾
性体、２８・・・回転体。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦
Claims (1)
- 水平面側に固定側永久磁石を有し両側の垂直面を案内
部とする案内体と、この案内体に永久磁石の反発力ある
いは吸引力によって浮上させられた移動体と、この移動
体の両側に上記案内部に対向して設けられた弾性体と、
この弾性体に回転自在に設けられ上記移動体が移動方向
と交差する方向にずれると上記案内体の案内部に当接し
て上記弾性体を弾性変形させる回転体とを具備したこと
を特徴とする磁気浮上式案内装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62325369A JPH01168038A (ja) | 1987-12-24 | 1987-12-24 | 磁気浮上式案内装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62325369A JPH01168038A (ja) | 1987-12-24 | 1987-12-24 | 磁気浮上式案内装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01168038A true JPH01168038A (ja) | 1989-07-03 |
Family
ID=18176062
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62325369A Pending JPH01168038A (ja) | 1987-12-24 | 1987-12-24 | 磁気浮上式案内装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01168038A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007318270A (ja) * | 2006-05-24 | 2007-12-06 | Toshiji Shiba | イヤホンコード保持具 |
| JP2011105446A (ja) * | 2009-11-17 | 2011-06-02 | Miura:Kk | 搬送装置 |
| CN104129650A (zh) * | 2014-07-18 | 2014-11-05 | 华南理工大学 | 一种定位传送投放装置 |
| JP2018197163A (ja) * | 2017-05-25 | 2018-12-13 | 株式会社プロスパイン | 磁気式浮上搬送装置 |
| WO2019015783A1 (en) * | 2017-07-21 | 2019-01-24 | Applied Materials, Inc. | MAGNETIC LEVITATION SYSTEM, MAGNETIC LEVITATION SYSTEM HOLDER AND METHOD FOR IMPLEMENTING MAGNETIC LEVITATION SYSTEM |
-
1987
- 1987-12-24 JP JP62325369A patent/JPH01168038A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007318270A (ja) * | 2006-05-24 | 2007-12-06 | Toshiji Shiba | イヤホンコード保持具 |
| JP2011105446A (ja) * | 2009-11-17 | 2011-06-02 | Miura:Kk | 搬送装置 |
| CN104129650A (zh) * | 2014-07-18 | 2014-11-05 | 华南理工大学 | 一种定位传送投放装置 |
| JP2018197163A (ja) * | 2017-05-25 | 2018-12-13 | 株式会社プロスパイン | 磁気式浮上搬送装置 |
| WO2019015783A1 (en) * | 2017-07-21 | 2019-01-24 | Applied Materials, Inc. | MAGNETIC LEVITATION SYSTEM, MAGNETIC LEVITATION SYSTEM HOLDER AND METHOD FOR IMPLEMENTING MAGNETIC LEVITATION SYSTEM |
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