JPH01171237A - 板状体移送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はカセット等の収納容器に、等ピッチで収納され
ているウェハ等の板状体を複数個同時に抜き取り、上記
の等ピッチとは異なる等ピッチに変更してボート等の別
の収納容器に移送し、あるいはその逆に移送する板状体
移送装置に関する。

〔従来の技術〕

半導体製造装置の自動化はデバイスの高性能化、特にパ
ーティクルによる汚染からの解決法として、また、大量
生産の要として急速に進んできた。中でもカセットから
ウェハを取り出しどのように各製造装置に入れて処理す
るのかが重要なポイントである。

シリコンウェハは通常、ＳＥＭＩ規格のカセットと呼ば
れる樹脂容器に２５枚単位で３　”　／１６の等ピンチ
で収納されている。ＣＶＤ処理は高温での成膜処理のた
めウェハはカセットより石英ボートと呼ばれる別の容器
に移し替えてから炉中で処理される。

このボートはＣＶＤ処理の膜性能上等の問題から種々の
ピッチのものがある。

従来はカセットからボートへの移し替えは１枚ずつ人手
によるか、１枚ずつロボットアームにより行われている
。また、−括移し替えのものもあるが、そのピッチはカ
セットのピッチかその倍数ピッチのものに限られている
。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記従来の１枚ずつ移し替えるいわゆる枚葉式のものに
あっては、ウェハの移し替えに長時間を要し、非能率的
であるという問題点があり、また−括移し替え式のもの
にあっては、このような問題点はないが、ピッチが決ま
っているため、ピッチの異なるもの同志のウェハの移し
替えができないばかりでなく、固定ピンチに起因するＣ
ＯＤ膜性能が固定されるという問題点がある。

ｃ問題点を解決するための手段〕 本発明の第１装置は板状体４を支持するチャック３を有
する固定ベースエに、板状体４を支持するチャック３を
有する可動ベース２を複数個２等ピッチで並べて配設し
、これらの可動ベース２を固定ベース１に対しガイド９
に沿って移動自在にならしめ、固定ベース１に各可動ベ
ース２を順次回転ネジ軸５とそのネジ部５ａに螺合せし
めたナツト８による機構及び軸方向移動可能な回転伝達
部６を介して連結し、固定ベース１に回転ネジ軸５を回
転せしめる駆動部１１を設置せしめてなる構成としたも
のである。

またぐ本発明の第２装置は板状体４を支持するチャック
３を有する固定ベース１に、板状体４を支持するチャッ
ク３を有する可動ベース２をＡ。

Ｂ……の複数Ｎ列に複数個ずっＰピッチで並べて配置し
、かつ隣接する列Ａ、Ｂ間、Ｂ、０間……において可動
ベース２間のピンチを’／＞ｌ’Ｐとすると共に、各列
の可動ベース２を固定ベース１に対しガイド９に沿って
移動自在にならしめ、固定ベース１に各列の可動ベース
２を順次回転ネジ軸５とそのネジ部５ａに螺合せしめた
ナツト８による機構及び軸方向移動可能な回転伝達部６
を介して連結し、固定ベースｌに各列の回転ネジ軸５を
同期して回転せしめる駆動部１１を設置せしめてなる構
成としたものである。

〔作　用〕

本発明の第１装置において駆動部１１により回転ネジ軸
５を回転すると、各可動ベース２は、回転ネジ軸５のネ
ジ部５ａに螺合せしめたナツト８及び軸方向移動可能な
回転伝達部６を介してガイド９に沿って移動し、チャッ
ク３間のピッチ間隔Ｓを変えることができる。このピッ
チ間隔Ｓは回転方向と回転数によって変えることができ
、可変ピッチ幅をαとすればＳ±α分変えることができ
る。

本発明の第２装置においては、駆動部工１により各列Ａ
、Ｂ……の回転ネジ軸５を同期して回転すると、各列Ａ
、Ｂ……の各可動ベース２が上記と同様にガイド９に沿
って移動し、各列Ａ、Ｂ・旧・・の可動ベース２間のピ
ッチ間隔Ｐに対し、隣接する列Ａ、Ｂ間、Ｂ、０間……
において可動ベース２間のピッチが１八・Ｐになってい
るので、チャック３間のピッチ間隔Ｓ＝’／Ｎ−Ｐを第
１装置より一層細かく任意に変えることができる。

〔実施例〕

以下図面について本発明の詳細な説明する。

第１図（ａ）　、　（ｂ）は本発明装置の第１実施例の
構成及び動作説明図である。

第１図において１は固定ベースで、板状体、この例では
ウェハ４を支持するチャック３を有する。

２はウェハ４を支持するチャック３を有する可動ベース
で、固定ベース１に、複数個１等ピッチＳで並べて配設
されている。これらの可動ベース２は固定ベース１に対
しリニアガイド９に沿って移動自在にならしめられてお
り、１ｏはリニアベアリングである。５は固定ベース１
または可動ベース２に回転ベアリング７により枢支され
た回転ネジ軸であり、５ａはそのネジ部である。

各回転ネジ軸５のネジ部５ａは各可動ベース２に取付け
られたナツト８に螺合されており、かつ各回転ネジ軸５
は軸方向移動可能な回転伝達部６゜例えばスプライン軸
６ａとボス６ｂよりなる部材で連結されている。ＩＩは
固定ベース１上に設けられた回転ネジ軸５の駆動モータ
で、回転センサ（図示せず）を有しており、回転ネジ軸
５をこのモータ１１と回転センサにより回転制御するこ
とにより可動ベース２間のピッチＳ１換言すればチャッ
ク３間のピンチを変えるためのものである。

上記の構成においてモータ１１によりこれに連結された
回転ネジ軸５を回転すると、回転ネジ軸５間に設けられ
たスプライン軸６ａとボス６ｂによる軸方向移動可能な
回転伝達部６により各可動ベース２の回転ネジ軸５が回
転し、それぞれのネジ部５ａに螺合したナツト８が取付
けられた各可動ベース２はガイド９に沿って移動し、チ
ャック３間のピッチ間隔Ｓを変えることができる。

ピッチ間隔Ｓは回転方向と回転数によって変えることが
でき、可変ピッチ幅をαとすればＳ±α分変えることが
できる。可変ピッチ幅αは・回転数の変更により任意に
決めることができる。第１図（ｂ）は第１図Ｔ８）のピ
ッチ間隔Ｓより可変ピッチ幅αだけピッチ間隔が長くな
った状態を示している。

第１実施例の場合、各チャック３間の最小ピンチを通常
のカセット内の溝ピッチ３’／１６　（４，７６鶴）に
するには構成要素の寸法に無理があるので実現し難い。

そのため例えばウェハ４をボートからカセットへ、ある
いはその逆に移し替える場合には適さない。

第２図はボートとカセット間のウェハの移し替えにも適
用できる第２実施例の構成説明図である。

この第２実施例では、ウェハ４を支持するチャック３を
有する固定ベース１に、ウェハ４を支持する可動ベース
２をＰピッチでＡ、Ｂ……の複数Ｎ列に複数個ずつ並べ
て配置し、かつ隣接する列Ａ、Ｂ間、Ｂ、Ｃ間……にお
いて可動ベース２間のピッチＳをｌ八・Ｐとした例であ
る。

例えばカセットの溝ピッチ＝３“／１６−４．７６ｍｍ
の場合、Ｐを５ピンチとすると５ピツチ分、５×３“／
１６　＝１５　”　／１６　＝２３．８１　ｆｌとなり
、これを１ピツチとする機構をＮ＝５列、即ちＡ−Ｅの
５列、組み合わせかつ隣接する列Ａ、Ｂ間、Ｂ、Ｃ間、
Ｃ，Ｄ間及びり、Ｅ間において可動ベース２間のピッチ
Ｓを１７．・Ｐ、長さで４．７６ｍｍとすることにより
１力セツト２５枚に対応する装置が製作可能である。即
ち、構成要素の製作可能な寸法を考慮したピッチの機構
を組み合わせることである。

モータ１１によりこれに連結された５列Ａ−Ｈの回転ネ
ジ軸５をタイミングギヤ１２を介して同期回転すると、
各列Ａ−Ｈの各可動ベース２が上記と同様にガイド９に
沿って移動し、各列Ａ−Ｈの可動ベース２間のピンチ間
隔Ｐ＝５に対し、隣接する列Ａ、Ｂ間、Ｂ、Ｃ間、Ｃ，
Ｄ間及びり、Ｅ間において可動ベース２間のピッチＳが
１八・Ｐ＝１／、・Ｐになっているので、チャック３間
のピッッチ間隔ｓ＝Ｉへ・Ｐを第１装置より一層細かく
任意に替えることができる。

換言すれば、第２図においてＡ列はネジピッチＰでピッ
チが可変する。Ｂ列は上段、固定ベース１側のネジ軸５
はＩ／、・Ｐなのでこの可動ベース２は１八・Ｐで可変
しそれ以降の可動ベースはネジピッチＰで可変する。０
列は上段、固定ベース１側のネジ軸５が２／、・Ｐ、Ｄ
−Ｅ列は各々３八・Ｐ、′／、・Ｐなので、これらの可
動ベース２はそれぞれ２八・ｐ、ｆｌ八・ｐ　、　’／
ｓ・Ｐで可変し、それ以降の可動ベースはネジピッチＰ
で可変する。

従ってこれらの可動ベース２は固定ベース１から等ピッ
チで可変されることになり、延いてはウェハ４を支持し
たチャック３間のピッチＳを任意に可変することができ
る。

第３図は本発明装置の応用例を示す説明図で、ウェハ４
を石英ボート１３とウェハカセット１４間で移し替える
場合の例である。

この例は、Ｘ軸方向（前後方向）、Ｙ軸方向（左右方向
）、Ｘ軸方向（上下方向）に移動可能で、かつ回転可能
（θは回転角）なテーブルまたはロボットアーム１５上
に本発明装置１６を載置したものである。

ＬＰ−ＣＶＤ用石英ボートに、ウェハカセット１４に収
納されているウェハ４を取り出して移し替える場合には
、カセット１４のウェハ収納ピッチをＰｌ＋石英ボート
１３の収納ピッチをＰ２とすると、まず、本発明装置１
６のチャック３間のピッチをＰ、に合わせ、テーブルま
たはロボットアーム１５を駆動して各チャック３により
カセット１４からウェハ４を取り出し、次にチャック３
間のピッチをＰ２に合わせ、チャック３をボー１−１３
の方向に向けて移動することによりウェハ４をボート１
３に収納することができる。またウェハ４をボート１３
から取り出してカセット１４に移し替えることもできる
ことは勿論である。

〔発明の効果〕

上述のように本発明によれば、可動ベース２間のピッチ
、即ちチャック３間のピッチＳを任意に変えることがで
きるので、収納ピンチの異なる板状体収納容器間で板状
体４を一括して移し替えることができ、板状体４の移し
替えを短時間で能率的に行うことができるばかりでなく
、本発明装置１６をボート１３とカセット１４間のウェ
ハ移し替えに応用した場合には、−括移し替えの固定ピ
ーツチに起因するＣＶＤ膜性能の固定化の問題を解決し
ウェハに生成されるＣＶＤ膜性能を高めることができる
。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）　、　（ｂ）は本発明装置の第１実施例の
構成及び動作説明図、第２図はボートとカセット間のウ
ェハの移し替えにも適用できる第２実施例の構成説明図
、第３図は本発明装置の応用例を示す説明図である。 １・・・・・・固定ベース、２・・・・・・可動ベース
、３・・・・・・チャック、４・・・・・・板状体（ウ
ェハ）、５・・・・・・回転ネジ軸、５ａ・・・・・・
ネジ部、６・・・・・・軸方向移動可能な回転伝達部、
６ａ・・・・・・スプライン軸、６ｂ・・・・・・ボス
、８・・・・・・ナツト、９・・・・・・（リニア）ガ
イド、１１・・・・・・駆動部（駆動モータ）、１６・
・・・・・本発明装置。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）板状体４を支持するチャック３を有する固定ベー
   ス１に、板状体４を支持するチャック３を有する可動ベ
   ース２を複数個、等ピッチで並べて配設し、これらの可
   動ベース２を固定ベース１に対しガイド９に沿って移動
   自在にならしめ、固定ベース１に各可動ベース２を順次
   回転ネジ軸５とそのネジ部５ａに螺合せしめたナット８
   による機構及び軸方向移動可能な回転伝達部６を介して
   連結し、固定ベース１に回転ネジ軸５を回転せしめる駆
   動部１１を設置せしめてなる板状体移送装置。
2. （２）板状体４を支持するチャック３を有する固定ベー
   ス１に、板状体４を支持するチャック３を有する可動ベ
   ース２をＡ、Ｂ……の複数Ｎ列に複数個ずつＰピッチで
   並べて配置し、かつ隣接する列Ａ、Ｂ間、Ｂ、Ｃ間……
   において可動ベース２間のピッチを１／ｎ・Ｐとすると
   共に、各列の可動ベース２を固定ベース１に対しガイド
   ９に沿って移動自在にならしめ、固定ベース１に各列の
   可動ベース２を順次回転ネジ軸５とそのネジ部５ａに螺
   合せしめたナット８による機構及び軸方向移動可能な回
   転伝達部６を介して連結し、固定ベース１に各列の回転
   ネジ軸５を同期して回転せしめる駆動部１１を設置せし
   めてなる板状体移送装置。