JPH01180964A - 真空蒸着用Ｉｒ金属 - Google Patents
真空蒸着用Ｉｒ金属Info
- Publication number
- JPH01180964A JPH01180964A JP217388A JP217388A JPH01180964A JP H01180964 A JPH01180964 A JP H01180964A JP 217388 A JP217388 A JP 217388A JP 217388 A JP217388 A JP 217388A JP H01180964 A JPH01180964 A JP H01180964A
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- JP
- Japan
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- 1ppm
- less
- ppm
- elements
- vacuum deposition
- Prior art date
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- Pending
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、リードスイッチ用接点材料などに使用される
真空蒸着用Ｉｒ金属に関する。
真空蒸着用Ｉｒ金属に関する。
（従来の技術とその問題点）
従来よりＩｒは、通常９９．９５％のものが純Ｉｒとし
て、真空蒸着材料に使用されている。
て、真空蒸着材料に使用されている。
ところで、このＩｒの真空蒸着材料の中には不純物とし
て多数の元素が微量存在しているので、真空蒸着時に溶
融状態のＩｒか突沸したり、飛散したりして、溶融Ｉｒ
が基板に付着し、平滑な膜が得られないものである。
て多数の元素が微量存在しているので、真空蒸着時に溶
融状態のＩｒか突沸したり、飛散したりして、溶融Ｉｒ
が基板に付着し、平滑な膜が得られないものである。
これはＩｒの融点が２２８０℃であるが、不純物として
微量存在する多数の元素の沸点は殆んどそれ以下である
為、溶融Ｉｒ中ではそれらの元素が選択的にしかも突沸
的に蒸発するからである。
微量存在する多数の元素の沸点は殆んどそれ以下である
為、溶融Ｉｒ中ではそれらの元素が選択的にしかも突沸
的に蒸発するからである。
（発明の目的）
本発明は、上記問題点を解決すべくなされたもので、不
純物として存在する多数の元素の含有量を少なくして、
真空蒸着時それらの元素の蒸発を少なくし、溶融Ｉｒが
突沸したり、飛散したりするのを減少するようにした真
空蒸着用Ｉｒ金属を提供することを目的とするものであ
る。
純物として存在する多数の元素の含有量を少なくして、
真空蒸着時それらの元素の蒸発を少なくし、溶融Ｉｒが
突沸したり、飛散したりするのを減少するようにした真
空蒸着用Ｉｒ金属を提供することを目的とするものであ
る。
（問題点を解決するための手段）
上記問題点を解決するための本発明の真空蒸着用Ｉｒ金
属は、重量比で、Ｃｄが１ＰＰＭ以下、Ａｓが１ＰＰＭ
以下、Ｎａが１ＰＰＭ以下、Ｋが１ＰＰＭ以下、Ｚｎが
１ＰＰＭ以下、Ｍｇが３ＰＰＭ以下、Ｓｒが１ＰＰＭ以
下、Ｃａが３ＰＰＭ以下、Ｂｉが１ＰＰＭ以下、Ｓｂが
１ＰＰＭ以下、Ｂａが１ＰＰＭ以下、Ｐｂが１ＰＰＭ以
下、Ａｆｆｉが２０ＰＰＭ以下、Ｉｎが１ＰＰＭ以下、
Ｍｎが１ＰＰＭ以下、Ａｇが１ＰＰＭ以下、Ｓｌが１０
ＰＰＭ以下、Ｓｎが１ＰＰＭ以下で、これら元素の総量
が３０ＰＰＭ以下であり、且つＩｒの純度が重量比で９
９．９８％以上であることを特徴どするものである。
属は、重量比で、Ｃｄが１ＰＰＭ以下、Ａｓが１ＰＰＭ
以下、Ｎａが１ＰＰＭ以下、Ｋが１ＰＰＭ以下、Ｚｎが
１ＰＰＭ以下、Ｍｇが３ＰＰＭ以下、Ｓｒが１ＰＰＭ以
下、Ｃａが３ＰＰＭ以下、Ｂｉが１ＰＰＭ以下、Ｓｂが
１ＰＰＭ以下、Ｂａが１ＰＰＭ以下、Ｐｂが１ＰＰＭ以
下、Ａｆｆｉが２０ＰＰＭ以下、Ｉｎが１ＰＰＭ以下、
Ｍｎが１ＰＰＭ以下、Ａｇが１ＰＰＭ以下、Ｓｌが１０
ＰＰＭ以下、Ｓｎが１ＰＰＭ以下で、これら元素の総量
が３０ＰＰＭ以下であり、且つＩｒの純度が重量比で９
９．９８％以上であることを特徴どするものである。
また、本発明の真空蒸着用Ｉｒ金属は、沸点が１０００
℃以下のＣｄ、Ａｓ、Ｎａ、Ｋ、Ｚｎの元素が総量で重
量比３ＰＰＭ以下であることも特徴である。
℃以下のＣｄ、Ａｓ、Ｎａ、Ｋ、Ｚｎの元素が総量で重
量比３ＰＰＭ以下であることも特徴である。
さらに本発明の真空蒸着用Ｉｒ金属は、沸点が１０００
℃〜２０００℃のＭｇ、、Ｓｒ、Ｃａ、、Ｂ １ＸＳｂ
。
℃〜２０００℃のＭｇ、、Ｓｒ、Ｃａ、、Ｂ １ＸＳｂ
。
Ｂａ、Ｐｂの元素が総量で重量比７ＰＰＭ以下であるこ
とも特徴である。
とも特徴である。
さらにまた本発明の真空蒸着用Ｉｒ金属は、沸点が２０
００℃を超えるＡｌ、Ｉｎ、Ｍｎ、Ａｇ、Ｓｉ、Ｓｎの
元素が総量で重量比２０ＰＰＭ以下であることも特徴で
ある。
００℃を超えるＡｌ、Ｉｎ、Ｍｎ、Ａｇ、Ｓｉ、Ｓｎの
元素が総量で重量比２０ＰＰＭ以下であることも特徴で
ある。
本発明の真空蒸着用Ｉｒ金属に於いて、各元素の重量比
の上限を前述の如く限定した理由は、各元素の重量比が
上限を超えると、真空蒸着時各元素が突沸的に蒸発する
為である。また各元素の総量を３０ＰＰＭ以下に限定し
た理由は、３０ＰＰＭを超えると真空蒸着時含有する元
素の蒸発が極端に増加するからである。
の上限を前述の如く限定した理由は、各元素の重量比が
上限を超えると、真空蒸着時各元素が突沸的に蒸発する
為である。また各元素の総量を３０ＰＰＭ以下に限定し
た理由は、３０ＰＰＭを超えると真空蒸着時含有する元
素の蒸発が極端に増加するからである。
沸点が１０００℃以下の蒸気圧の高いＣｄ、Ａｓ、Ｎａ
、Ｋ、Ｚｎの元素の総量を重量比で３ＰＰＭ以下にした
理由は、真空蒸着時それらの元素の蒸発をなくし、溶融
Ｉｒの突沸を減少するためである。
、Ｋ、Ｚｎの元素の総量を重量比で３ＰＰＭ以下にした
理由は、真空蒸着時それらの元素の蒸発をなくし、溶融
Ｉｒの突沸を減少するためである。
沸点が１０００℃〜２０００℃の蒸気圧の低いＭｇ、Ｓ
ｒ、Ｃａ、Ｂｉ、Ｓｂ、Ｂａ、Ｐｂの元素の総量を重量
比で７ＰＰＭ以下にした理由は、真空蒸着時それらの元
素の蒸発を少なくし、溶融Ｉｒの突沸を減少する為であ
る。
ｒ、Ｃａ、Ｂｉ、Ｓｂ、Ｂａ、Ｐｂの元素の総量を重量
比で７ＰＰＭ以下にした理由は、真空蒸着時それらの元
素の蒸発を少なくし、溶融Ｉｒの突沸を減少する為であ
る。
沸点が２０００″Ｃを超える蒸気圧の極めて低いＡｌ、
Ｉ ｎ、Ｍｎ、Ａｇ、Ｓ ｉ、Ｓｎの元素の総量を重量
比で２０ＰＰＭ以下にした理由は、真空蒸着時それらの
元素の蒸発を少なくし、溶融Ｉｒの突沸を減少する為で
ある。
Ｉ ｎ、Ｍｎ、Ａｇ、Ｓ ｉ、Ｓｎの元素の総量を重量
比で２０ＰＰＭ以下にした理由は、真空蒸着時それらの
元素の蒸発を少なくし、溶融Ｉｒの突沸を減少する為で
ある。
Ｉｒを重量比で９９．９８％としたのは、Ｉｒの純度を
より高める為である。
より高める為である。
（実施例）
本発明による真空蒸着用Ｉｒ金属の実施例及び比較例に
ついて説明する。不純物として多数の元素を含有するＩ
ｒを予めアーク溶解炉や電子ビーム溶解炉で５分以上溶
解して、Ｉｒより蒸気圧の高い各元素を選択的に蒸発さ
せて、下記の表に示す成分組成の実施例１〜８及び比較
例１〜４の真空蒸着用Ｉｒ金属を得た。
ついて説明する。不純物として多数の元素を含有するＩ
ｒを予めアーク溶解炉や電子ビーム溶解炉で５分以上溶
解して、Ｉｒより蒸気圧の高い各元素を選択的に蒸発さ
せて、下記の表に示す成分組成の実施例１〜８及び比較
例１〜４の真空蒸着用Ｉｒ金属を得た。
これら実施例及び比較例の真空蒸着用Ｉｒ金属を基板に
真空蒸着した処、当初の１分間で下記の表の右端欄に示
すような回数の突沸かあった。
真空蒸着した処、当初の１分間で下記の表の右端欄に示
すような回数の突沸かあった。
（以下余白）
上記の表で明らかなように比較例１〜４の真空蒸着用Ｉ
ｒ金属は、真空蒸着時の微量に含有する元素の蒸発によ
る溶融Ｉｒの突沸回数が３〜５回と多いのに対し、実施
例１〜８の真空蒸着用Ｉｒ金属は、真空蒸着時の微量に
含有する元素の蒸発による溶融Ｉｒの突沸回数が０〜１
回と極めて少ないことが判る。これはひとえにＩｒ中に
含有するＣｄ、Ａｓ、Ｎａ、Ｋ、Ｚｎの各々が１ＰＰＭ
以下で、Ｍｇ、Ｃａが３ＰＰＭ以下、Ｓｒ、Ｂｉ、Ｓｂ
、Ｂａ、Ｐｂの各々が１ＰＰＭ以下で、Ａ！２０ＰＰＭ
以下、ＳＳｉ１０ＰＰ、Ｉ ｎ、Ｍｎ、Ａｇ、Ｓｎの各
々が１ＰＰＭであり、これら元素の総量が３０ＰＰＭ以
下であるからである。
ｒ金属は、真空蒸着時の微量に含有する元素の蒸発によ
る溶融Ｉｒの突沸回数が３〜５回と多いのに対し、実施
例１〜８の真空蒸着用Ｉｒ金属は、真空蒸着時の微量に
含有する元素の蒸発による溶融Ｉｒの突沸回数が０〜１
回と極めて少ないことが判る。これはひとえにＩｒ中に
含有するＣｄ、Ａｓ、Ｎａ、Ｋ、Ｚｎの各々が１ＰＰＭ
以下で、Ｍｇ、Ｃａが３ＰＰＭ以下、Ｓｒ、Ｂｉ、Ｓｂ
、Ｂａ、Ｐｂの各々が１ＰＰＭ以下で、Ａ！２０ＰＰＭ
以下、ＳＳｉ１０ＰＰ、Ｉ ｎ、Ｍｎ、Ａｇ、Ｓｎの各
々が１ＰＰＭであり、これら元素の総量が３０ＰＰＭ以
下であるからである。
そして沸点１０００’Ｃ以下の元素の総量が３ＰＰＭ以
下、沸点１０００〜２０００℃の元素の総量が７ＰＰＭ
以下、沸点２０００℃以上の元素の総量が２０ＰＰＭ以
下であるからである。
下、沸点１０００〜２０００℃の元素の総量が７ＰＰＭ
以下、沸点２０００℃以上の元素の総量が２０ＰＰＭ以
下であるからである。
（発明の効果）
以上の説明で判るように本発明の真空蒸着用Ｉｒ金属は
、不純物として存在する多数の元素の含有量を少なくし
であるので、真空蒸着時それら元素の蒸発が少なく、溶
融Ｉｒの突沸や飛散が著しく減少し、平滑な膜を形成で
きるという効果がある。
、不純物として存在する多数の元素の含有量を少なくし
であるので、真空蒸着時それら元素の蒸発が少なく、溶
融Ｉｒの突沸や飛散が著しく減少し、平滑な膜を形成で
きるという効果がある。
出願人 田中貴金属工業株式会社
Claims (4)
- （１）重量比で、Ｃｄが１ＰＰＭ以下、Ａｓが１ＰＰＭ
以下、Ｎａが１ＰＰＭ以下、Ｋが１ＰＰＭ以下、Ｚｎが
１ＰＰＭ以下、Ｍｇが３ＰＰＭ以下、Ｓｒが１ＰＰＭ以
下、Ｃａが３ＰＰＭ以下、Ｂｉが１ＰＰＭ以下、Ｓｂが
１ＰＰＭ以下、Ｂａが１ＰＰＭ以下、Ｐｂが１ＰＰＭ以
下、Ａｌが２０ＰＰＭ以下、Ｉｎが１ＰＰＭ以下、Ｍｎ
が１ＰＰＭ以下、Ａｇが１ＰＰＭ以下、Ｓｉが１０ＰＰ
Ｍ以下、Ｓｎが１ＰＰＭ以下で、これら元素の総量が３
０ＰＰＭ以下であり、且つＩｒの純度が重量比で９９．
９８％以上であることを特徴とする真空蒸着用Ｉｒ金属
。 - （２）重量比で、沸点が１０００℃以下のＣｄ、Ａｓ、
Ｎａ、Ｋ、Ｚｎの元素が総量で３ＰＰＭ以下であること
を特徴とする特許請求の範囲第１項記載の真空蒸着用Ｉ
ｒ金属。 - （３）重量比で、沸点が１０００℃〜２０００℃のＭｇ
、Ｓｒ、Ｃａ、Ｂｉ、Ｓｂ、Ｂａ、Ｐｂの元素が総量で
７ＰＰＭ以下であることを特徴とする特許請求の範囲第
１項記載の真空蒸着用Ｉｒ金属。 - （４）重量比で、沸点が２０００℃を超えるＡｌ、Ｉｎ
、Ｍｎ、Ａｇ、Ｓｉ、Ｓｎの元素が総量で２０ＰＰＭ以
下であることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
真空蒸着用Ｉｒ金属。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP217388A JPH01180964A (ja) | 1988-01-08 | 1988-01-08 | 真空蒸着用Ｉｒ金属 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP217388A JPH01180964A (ja) | 1988-01-08 | 1988-01-08 | 真空蒸着用Ｉｒ金属 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01180964A true JPH01180964A (ja) | 1989-07-18 |
Family
ID=11521974
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP217388A Pending JPH01180964A (ja) | 1988-01-08 | 1988-01-08 | 真空蒸着用Ｉｒ金属 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01180964A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009107289A1 (ja) * | 2008-02-27 | 2009-09-03 | 田中貴金属工業株式会社 | 硬度、加工性、並びに、防汚特性に優れたイリジウム合金 |
-
1988
- 1988-01-08 JP JP217388A patent/JPH01180964A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009107289A1 (ja) * | 2008-02-27 | 2009-09-03 | 田中貴金属工業株式会社 | 硬度、加工性、並びに、防汚特性に優れたイリジウム合金 |
| US9063173B2 (en) | 2008-02-27 | 2015-06-23 | Tanaka Kikinzoku Kogyo K.K. | Iridium alloy excellent in hardness, workability and anti-contamination properties |
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