JPH01181110A - 移動部材駆動装置 - Google Patents

移動部材駆動装置

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Publication number
JPH01181110A
JPH01181110A JP552288A JP552288A JPH01181110A JP H01181110 A JPH01181110 A JP H01181110A JP 552288 A JP552288 A JP 552288A JP 552288 A JP552288 A JP 552288A JP H01181110 A JPH01181110 A JP H01181110A
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JP
Japan
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voltage
mobile member
comparator
moving member
motor
Prior art date
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Pending
Application number
JP552288A
Other languages
English (en)
Inventor
Yasuji Abe
阿部 靖二
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tokyo Electron Yamanashi Ltd
Original Assignee
Tokyo Electron Yamanashi Ltd
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Publication date
Application filed by Tokyo Electron Yamanashi Ltd filed Critical Tokyo Electron Yamanashi Ltd
Priority to JP552288A priority Critical patent/JPH01181110A/ja
Publication of JPH01181110A publication Critical patent/JPH01181110A/ja
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  • Control Of Velocity Or Acceleration (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 発明の目的 (産業上の利用分野) 本発明は、移動部材駆動装置に関するものである。
(従来の技術) 従来のこの種のモータの制御装置を第6図に示す。即ち
、この装置は、アームロボットにおける旋回アーム等の
移動部材の目的位置までの行程データを表す入力電圧と
、位置センサ21により得られた移動部材の現在位置デ
ータを表す位置電圧とを差動増幅器22により比較して
、両電圧間に差があるときに、モータMに駆動用電圧を
供給するようにし、移動部材が目的位置に達して両型圧
が等しくなったとき駆動用電圧の供給を止めるようにし
たものである。
(発明が解決しようとする課題) 上記従来の制御装置においては、特にモータの回転速度
が制御されていないので、移動部材が急激に始動、停止
し、停止位置の精度が低くなる等の問題点がある。
そこで本発明は、上記問題点を解決し、モータの回転速
度を制御することによって、移動部材の急激な始動、停
止をなくし、停止位置の精度を向上させることができる
安価な制御装置を提供しようとするものである。
l乳座復■ (8題を解決するための手段) 本発明は、上記従来の課題を解決するため、移動部材の
目的位置までの予め定めた行程データを表す信号と、移
動部材の現在位置データを表す信号とを比較して両信号
の差値に応じて設定した速度に上記移動部材の移動速度
を制御する移動部材駆動装置を構成した。
(作 用) 本発明の駆動装置においては、移動部材の目的位置まで
の予め定めた行程データを表わす信号と、移動部材の現
在位置データを表わす信号とを比較して両信号の差値に
応じて設定した速度に移動部材の移動速度を制御するよ
うにしたから、駆動における動作範囲を可変することが
可能となり、停止位置精度と急変駆動において安定した
速度制御が効率的に行い得る。
(実施例) 本発明をウェハローダに搭載するアームロボットの旋回
アーム等に適用した一実施例を第1図乃至第5図を参照
して説明する。このアームロボットは、例えばクリーン
ルームで使用される無人搬送車に搭載されたロボットに
おいて特に有効である。
第1図は制御回路図、第2図は第2差動器の回路図、第
3図、第4図は動作説明図、第5図はモータの速度変化
を示すグラフである。
第1図において、1はポテンショメータ等から成る位置
センサで、旋回アームの如き移動部材に取付けられてお
り、その現在位置を感知してこれに応じた電圧を出力す
るものである。
2は位置センサ1からの電圧を受けてこれを所定の倍率
に増幅する増幅器、3は入力されたデータを変換するデ
ジタル/アナログ変換器、4はデジタル/アナログ変換
器3からの電圧を受けてこれを所定の倍率に増幅する増
幅器、5は両槽幅器2.4からの電圧を受けてこれらを
比較し、両者間に差があるとき(移動体の現在位置と目
的位置とが一致していないとき)にモータMへ駆動用電
圧を供給する第1差動器、6は第1差動器5からアナロ
グスイッチ7を介して受けた電圧を増幅してモータMに
供給するパワーオペアンプ、8は両槽幅器2,4からの
電圧を受けてこれらを比較し、両者間の電圧差(移動体
の現在位置と目的位置ととの不一致の度合)に応じた運
屋を出力する第2差動器、9は第2差動器8から出力さ
れた初期電圧(入力電圧に対応する電圧)を記憶するア
ナログメモリ、10は第2差動器8がらの電圧とアナロ
グメモリ9に記憶された電圧とを比較してその差が所定
範囲内にあるときに電圧リミッタ11へ作動信号を供給
する電圧リミッタ11のコントロール用コンパレータで
ある。電圧リミッタ11は、コンパレータ10からの信
号を受けてモータMに供給される駆動電圧を低く抑える
ものである。12は制御信号を受けてアナログスイッチ
7を入り切りし、またアナログメモリ9とコンパレータ
10に動作信号を送る指令装置である。
なお、アナログメモリ9とコンパレータ1oとの間には
、第2図に示すように、可変抵抗器13が介設されてお
り、その調整によって適当な2つのコンパレート入力電
圧1,2を設定できるようになっている。しかして、第
2図における0点の電圧は、差分電圧がマイナスのとき
はマイナス、プラスのときはプラスであり、プラスのと
きは移動部材である旋回アームが目的位置より時計方向
にあり、マイナスのときはそれが目的位置より反時計方
向にあるものとする。
次に第3図乃至5図を参照してこの実施例の作用を説明
する。この実施例の制御装置においては、旋回アーム等
の移動部材の目的位置までの行程データをデジタル/ア
ナログ変換器3を介して電圧として入力し、これを増幅
器4にて増幅する。位置センサ1は、移動部材の現在位
置を感知してこれを位置電圧として出力し、この電圧を
増幅器2で増幅する。そして、増幅器2からの出力電圧
と増幅器4からの出力電圧とを第1差動器5により比較
し、両者間に差があるときに駆動用電圧を出力する。こ
のとき指令装置12からの信号によりアナログスイッチ
7が投入されると、パワーオペアンプ6を介して増幅さ
れた駆動電圧がモータMに供給され、モータMが始動す
る。これに並行して、入力電圧と、位置電圧とを第2差
動器8により比較し、その初期出力電圧(現在位置と目
的位置との差分に対応する電圧)を指令装置12の信号
を受けたアナログメモリ9が記憶すると共に、両型圧の
差に比例した電圧をコンパレータ10に供給する。コン
パレータ10は、この電圧とアナログメモリ9に記憶さ
れた初期電圧とを比較し、その差が所定範囲にあるとき
電圧リミッタ11に動作信号を供給し、モータMに供給
される駆動電圧を一定に制限し、モータMの速度を低下
させる。
即ち、第3図に示すように、旋回アームが時計方向に旋
回移動する場合、アナログメモリ9からコンパレータ1
0に供給されるコンパレート電圧1゜2と、第2差動器
8から供給される差分電圧とを比較し、差分電圧がコン
パレート電圧1,2の間にあるときは電圧リミッタ11
が動作せず、従ってモータMは高速回転するが、それが
コンパレート電圧1,2よりも大きいときまたは小さい
ときには電圧リミッタ11が動作して、モータMは低速
回転することになる。コンパレート電圧1.2は、可変
抵抗13を調整することにより適当に設定することがで
きる。旋回アームが反時計方向に旋回移動する場合には
、第4図に示すように、第2差動器8からの出力電圧で
ある差分電圧及びアナログメモリ9からの出力電圧がマ
イナスである点を除き前記時計方向旋回の場合と同様に
動作する。旋回アームの始動から停止までの速度の変化
を第5図に示す。即ち、モータMの始動後及び停止前の
所定時間内ではコンパレータ10が電圧リミッタ11を
動作させ、モータMの回転速度を抑制するが、その他の
ときには、第2差動器8の出力とアナログメモリ9に記
憶された初期電圧との間の差が所定範囲外にあるので、
コンパレータ10は、電圧リミッタ11を動作させるこ
とがなく、従ってモータMの速度は抑制されない。以上
のように、旋回アームの如き移動部材の急激な始動、停
止がなくるから、移動部材の停止位置の精度を向上させ
ることができる。
さらに、移動部材の速度は階段的に限らず、山状や、第
5図に点線で示すように始動停止に際し、連続的に速度
を変化させてもよい。
発明の効果 以上のように、本発明は、移動部材の目的位置までの予
め定めた行程データを表す信号と、移動部材の現在位置
データを表す信号とを比較して両信号の差値に応じて設
定した速度に上記移動部材の移動速度を制御する移動駆
動装置を構成したため、極めて簡単で安価に得られる回
路構成によってモータの回転速度を制御し、移動部材の
急激な始動、停止をなくし、停止位置の精度を向上させ
ることができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
図面は本発明の一実施例を示すもので、第1図は制御回
路図、第2図は第2差動器の回路図、第3図、第4図は
動作説明図、第5図はモータの速度変化を示すグラフで
あり、第6図は従来の制御回路図である。 1・・・位置センサ、 2.4・・・増幅器、3・・・
D/A変換器、 5・・・第1差動器、 8・・・第2
差動器、 M・・・モータ、  10・・・コンパレー
タ、11・・・電圧リミッ□り。 第1図 第2図 く             λ    雪1    
             把■ 哉−八 it  g

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 移動部材の目的位置までの予め定めた行程データを表す
    信号と、移動部材の現在位置データを表す信号とを比較
    して両信号の差値に応じて設定した速度に上記移動部材
    の移動速度を制御することを特徴とする移動部材駆動装
    置。
JP552288A 1988-01-13 1988-01-13 移動部材駆動装置 Pending JPH01181110A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP552288A JPH01181110A (ja) 1988-01-13 1988-01-13 移動部材駆動装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP552288A JPH01181110A (ja) 1988-01-13 1988-01-13 移動部材駆動装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH01181110A true JPH01181110A (ja) 1989-07-19

Family

ID=11613520

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP552288A Pending JPH01181110A (ja) 1988-01-13 1988-01-13 移動部材駆動装置

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JP (1) JPH01181110A (ja)

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