JPH01181537A - Ｘｙ移動ステージ - Google Patents
Ｘｙ移動ステージInfo
- Publication number
- JPH01181537A JPH01181537A JP63005243A JP524388A JPH01181537A JP H01181537 A JPH01181537 A JP H01181537A JP 63005243 A JP63005243 A JP 63005243A JP 524388 A JP524388 A JP 524388A JP H01181537 A JPH01181537 A JP H01181537A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- motor
- coil
- magnetic circuit
- magnetic
- moving
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004804 winding Methods 0.000 abstract 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 1
- 230000000276 sedentary effect Effects 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
- Die Bonding (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔座業上の利用分野〕
本発明ｌｌ１ＸＹ移動ステージ、％に、ボンディングヘ
ッドを載置してＸ−Ｙ平面上を移動するＸＹ移動ステー
ジに関する。
ッドを載置してＸ−Ｙ平面上を移動するＸＹ移動ステー
ジに関する。
従来の技術としては１例えば、４！公昭５９−５２５４
０公報に示されている様にボンディング装置における移
動台送シ装置がある。
０公報に示されている様にボンディング装置における移
動台送シ装置がある。
従来のＸＹ移動ステージは、支持台に固定されたモータ
と、このモータによって駆動されて回転する送シねじと
、この送９ねじに螺合するす、トと、このす、トにより
＠籾的に移動させられる移動板とより構成された送シ軸
系を２組有し、これら２組の送り軸系を前記支持台に平
ｍｌ的に、かつ前記２本の込シねじが直交するよう罠配
設してなるボンディング装置における移動台送シ装置に
おいて、前Ｂビ２組り送）軸系の一方の第２の移動板と
直交する方向に移動可能に移動台を載置し、この移動台
と他方の第１の移動板とを前記移動台が前記一方の第２
の移動板の移動方向に移動可能に連結することで構成さ
れる。
と、このモータによって駆動されて回転する送シねじと
、この送９ねじに螺合するす、トと、このす、トにより
＠籾的に移動させられる移動板とより構成された送シ軸
系を２組有し、これら２組の送り軸系を前記支持台に平
ｍｌ的に、かつ前記２本の込シねじが直交するよう罠配
設してなるボンディング装置における移動台送シ装置に
おいて、前Ｂビ２組り送）軸系の一方の第２の移動板と
直交する方向に移動可能に移動台を載置し、この移動台
と他方の第１の移動板とを前記移動台が前記一方の第２
の移動板の移動方向に移動可能に連結することで構成さ
れる。
次ぎに従来のＸＹステージについて図面を参照して詳細
に説明する。
に説明する。
第４図は従来のＸＹ移動ステージを示す平面図である。
支持台２０４に柩り付けられたモータ２１２は図示され
ていない送りねじとナツトを介して移動板２５０を直−
状に駆動する。一方モータ２１２ｂは支持台２０４に移
動板２５０の移動方向に対し直角に取シ付けられており
図示されていない送シねじとす、トを介して移動板２０
２を移動板２０２を移動板２５０の移動方向に直交する
方向に直線的に駆動する。父、移動板２０２は移動板２
５０と移動板２０２の移動方向にスライド可能なジ１イ
ンド２６０を介して連結している。このため移動板２０
２は支持台２０４に［ｉ！ｌ＋定されているモータ２１
２及び２１２ｂを駆動することで平面内を自在に動かす
事が出来るが、ジ曹インド機構があるためにジ■インド
部分の機械的な剛性が低、く位置決めの際に振動を生じ
やすく１位置決め精度が低くなる。さらにジｌインド機
栴が比較的複雑となるため泗１１ｄｂになり、しかも重
量の増大をも招くのでモータにかかる負荷も大きくなる
ため非効率的である。
ていない送りねじとナツトを介して移動板２５０を直−
状に駆動する。一方モータ２１２ｂは支持台２０４に移
動板２５０の移動方向に対し直角に取シ付けられており
図示されていない送シねじとす、トを介して移動板２０
２を移動板２０２を移動板２５０の移動方向に直交する
方向に直線的に駆動する。父、移動板２０２は移動板２
５０と移動板２０２の移動方向にスライド可能なジ１イ
ンド２６０を介して連結している。このため移動板２０
２は支持台２０４に［ｉ！ｌ＋定されているモータ２１
２及び２１２ｂを駆動することで平面内を自在に動かす
事が出来るが、ジ曹インド機構があるためにジ■インド
部分の機械的な剛性が低、く位置決めの際に振動を生じ
やすく１位置決め精度が低くなる。さらにジｌインド機
栴が比較的複雑となるため泗１１ｄｂになり、しかも重
量の増大をも招くのでモータにかかる負荷も大きくなる
ため非効率的である。
上述した従来のＸＹステージは、移動板を平面内で移動
させるためにジ１インド磯構を必要とするが、ジ曹イン
ド部分は機械的な剛性が低く位置決めの際に振動を生じ
やすく１位置決め精度が低くなるという欠点があった。
させるためにジ１インド磯構を必要とするが、ジ曹イン
ド部分は機械的な剛性が低く位置決めの際に振動を生じ
やすく１位置決め精度が低くなるという欠点があった。
さらにジツィント機構が比較的複雑となるため高価にな
り易く、シかも重量の増大をも招くのでモータにかかる
負荷も大きくなるため非効率的になるという欠点があっ
た。
り易く、シかも重量の増大をも招くのでモータにかかる
負荷も大きくなるため非効率的になるという欠点があっ
た。
本発明のＸＹステージは、支持台に固定されたモータと
、前記モータにより直巌的に移動する第１の移動台と、
前記第１の移動台に載置されりエアモータによって前記
第１の移動台の移動方向（以下Ｘ方向と表す）とは直交
する方向（以下Ｘ方向と表す）に移動する第２の移動台
を有すボンディング装置における移動台送シ装置におい
て、前記第２の移動台を駆動するりエアモータが、前記
Ｘ方向とＸ方向の双方に直交する方向（以下２方向と表
す）に磁界を形成するように配置されていて前記支持台
に固定された第１の磁気回路と。
、前記モータにより直巌的に移動する第１の移動台と、
前記第１の移動台に載置されりエアモータによって前記
第１の移動台の移動方向（以下Ｘ方向と表す）とは直交
する方向（以下Ｘ方向と表す）に移動する第２の移動台
を有すボンディング装置における移動台送シ装置におい
て、前記第２の移動台を駆動するりエアモータが、前記
Ｘ方向とＸ方向の双方に直交する方向（以下２方向と表
す）に磁界を形成するように配置されていて前記支持台
に固定された第１の磁気回路と。
前記磁界と同じ大きさで逆向きの磁界を形成するように
配置されていて前記第１の磁気回路に対し前記Ｘ方向に
並べて前記支持台に固定された第２の磁気回路と、前記
第２の移動台に固定さていて前記Ｚ方向に垂直な同一平
面内で長辺を前記Ｘ方向にして長方形状に巻いたコイル
で長辺の長さが前記第１及び第２の磁気回路の前記Ｘ方
向の長さに対し少なくとも前記第１の移動台の移動ｔａ
だけ長くて一方の長辺が前記第１の磁気回路に形成式れ
る磁界を横切シ対辺が前記第２の磁気回路が形成するｄ
界を扶切っているコイルとを含んで構成される。
配置されていて前記第１の磁気回路に対し前記Ｘ方向に
並べて前記支持台に固定された第２の磁気回路と、前記
第２の移動台に固定さていて前記Ｚ方向に垂直な同一平
面内で長辺を前記Ｘ方向にして長方形状に巻いたコイル
で長辺の長さが前記第１及び第２の磁気回路の前記Ｘ方
向の長さに対し少なくとも前記第１の移動台の移動ｔａ
だけ長くて一方の長辺が前記第１の磁気回路に形成式れ
る磁界を横切シ対辺が前記第２の磁気回路が形成するｄ
界を扶切っているコイルとを含んで構成される。
次ぎに１本発明の実施例について２図面を参照して詳細
に説明する。
に説明する。
第１図は本発明の一実施例を示す斜視図である。
第１図に示すＸＹ移動ステージは支持台１０と。
支持台ｌＯに保持されているＸモータ２０と、Ｘモータ
２０に直接駆動されるＸテーブル４０と。
２０に直接駆動されるＸテーブル４０と。
支持台１０に保持されているＹモータ３０と、Ｘテーブ
ルに載置されていてＹモータ３０に直接駆動されるＸテ
ーブル５０とを含んで構成される。
ルに載置されていてＹモータ３０に直接駆動されるＸテ
ーブル５０とを含んで構成される。
ＸモータｌＯはボイスコイルモータ（ＶＣＭ）で、その
可動部分がＸテーブルに直結されておシＸテーブル４０
を直線的に移動させる。
可動部分がＸテーブルに直結されておシＸテーブル４０
を直線的に移動させる。
第２図及び第３図はＹテーブル駆動用の＋７エアモータ
の断面図で、磁気回路３１及び３２とコイル３３とを示
している。第２図は矢印Ｘ方向に垂直な断面図、第３図
は矢印Ｘ方向に垂直な断面図である。
の断面図で、磁気回路３１及び３２とコイル３３とを示
している。第２図は矢印Ｘ方向に垂直な断面図、第３図
は矢印Ｘ方向に垂直な断面図である。
磁気回路３１Ｆｉ磁石３４及び３５によって構成されそ
の形成する磁界はＸＹ平面に対し垂直に矢印２方向であ
る。また磁気回路３２は磁石３６及び３７によって構成
されその形成する磁界は磁気回路３１と逆向きになるよ
うに配置されている。
の形成する磁界はＸＹ平面に対し垂直に矢印２方向であ
る。また磁気回路３２は磁石３６及び３７によって構成
されその形成する磁界は磁気回路３１と逆向きになるよ
うに配置されている。
第１図においてＸモータ２０がＸテーブル４０を駆動す
ると、コイル３３もＸテーブルと共に矢印Ｘ方向に移動
するが、第２図に示すコイルの矢印Ｘ方向の内径りと磁
気回路３１と３２の矢印Ｘ方向の長さｌとの差はＸテー
ブルの移動量よシ大きく設定されているので磁気回路３
１と３２が形成する磁界内でのコイル線材の総長さは変
化しないために、Ｙモータのモータとしての性能は変化
しない、又、磁気回路３１と３２が形成する磁界内での
コイルの巻巌方向とＸ方向は平行であるためリエアモー
タ３ｏはＸ方向の移動に対し抵抗力や推力を受けない、
この様にリエアモータ３ｏはジ冒インドを介すること無
く貞接Ｙテーブル５゜を駆動できるので機械的な剛性が
島〈制御性が良いために良好なボンディングが可能であ
る。
ると、コイル３３もＸテーブルと共に矢印Ｘ方向に移動
するが、第２図に示すコイルの矢印Ｘ方向の内径りと磁
気回路３１と３２の矢印Ｘ方向の長さｌとの差はＸテー
ブルの移動量よシ大きく設定されているので磁気回路３
１と３２が形成する磁界内でのコイル線材の総長さは変
化しないために、Ｙモータのモータとしての性能は変化
しない、又、磁気回路３１と３２が形成する磁界内での
コイルの巻巌方向とＸ方向は平行であるためリエアモー
タ３ｏはＸ方向の移動に対し抵抗力や推力を受けない、
この様にリエアモータ３ｏはジ冒インドを介すること無
く貞接Ｙテーブル５゜を駆動できるので機械的な剛性が
島〈制御性が良いために良好なボンディングが可能であ
る。
本実施例ではコイルを矢印２方向に対して一重巻きとし
ているが、これを数重巻きにしても良いことは当然であ
る。
ているが、これを数重巻きにしても良いことは当然であ
る。
本発明のＸＹ８動スデステージたく巻いたコイルとｘｙ
ｘ１’−面に垂直で互いに逆向きの磁界を形成する磁気
回路で構成されたリエアモータでジ冒インドを介さずに
Ｙチーグルを直接駆動するので。
ｘ１’−面に垂直で互いに逆向きの磁界を形成する磁気
回路で構成されたリエアモータでジ冒インドを介さずに
Ｙチーグルを直接駆動するので。
機械的な剛性が高いために良好な制御性が得られるとい
う効果がある。さらにＹテーブルの駆動用リエアモータ
の磁気回路は支持台ＧＣ［ｉ！ｉｌ定されているため、
Ｘテーブル駆動用のモータの負荷３ｋ［１１は軽減され
るので効率的であるという効果がある。
う効果がある。さらにＹテーブルの駆動用リエアモータ
の磁気回路は支持台ＧＣ［ｉ！ｉｌ定されているため、
Ｘテーブル駆動用のモータの負荷３ｋ［１１は軽減され
るので効率的であるという効果がある。
第１図は本発明の一実施例を示す斜視図，第２図及びｍ
３図は第１図に示すＸＹ移動ステージのＸ方向，Ｘ方向
に垂直な断面崗，弟４図は従来の一例を示す平面図であ
る。 ｌＯ・・・・・・支持台，２０・・・・・・テーブル駆
動モータ。 ３０・・・・・・Ｙモータ駆動テーブル，３１・旧・・
磁気回路，３２・・・・・・磁気回路，３３・・・・・
・コイル．４０−・・・・・Ｘテーブル，５０・・・・
・・Ｙｆ−７ル，２０４・・・・・・支持台。
３図は第１図に示すＸＹ移動ステージのＸ方向，Ｘ方向
に垂直な断面崗，弟４図は従来の一例を示す平面図であ
る。 ｌＯ・・・・・・支持台，２０・・・・・・テーブル駆
動モータ。 ３０・・・・・・Ｙモータ駆動テーブル，３１・旧・・
磁気回路，３２・・・・・・磁気回路，３３・・・・・
・コイル．４０−・・・・・Ｘテーブル，５０・・・・
・・Ｙｆ−７ル，２０４・・・・・・支持台。
Claims (1)
- 支持台に固定されたモータと、前記モータにより直線
的に移動する第１の移動台と、前記第１の移動台に載置
されりエアモータによって前記第１の移動台の移動方向
の移動台を有すボンディング装置における移動台送り装
置において、前記第２の移動台を駆動するりエアモータ
が、前記Ｘ方向とＹ方向の双方に直交する方向（以下Ｚ
方向と表す）に磁界を形成するように配置されていて前
記支持台に固定された第１の磁気回路と、前記磁界と同
じ大きさで逆向きの磁界を形成するように配置されてい
て前記第１の磁気回路に対し前記Ｙ方向に並べて前記支
持台に固定された第２の磁気回路と、前記第２の移動台
に固定していて前記Ｚ方向に垂直な同一平面内で長辺を
前記Ｘ方向にして長方形状に巻いたコイルで長辺の長さ
が前記第１及び第２の磁気回路の前記Ｘ方向の長さに対
し少なくとも前記第１の移動台の移動量だけ長くて一方
の長辺が前記第１の磁気回路に形成される磁界を横切り
対辺が前記第２の磁気回路が形成する磁界を横切ってい
るコイルとを含む事を特徴とするＸＹ移動ステージ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63005243A JPH01181537A (ja) | 1988-01-12 | 1988-01-12 | Ｘｙ移動ステージ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63005243A JPH01181537A (ja) | 1988-01-12 | 1988-01-12 | Ｘｙ移動ステージ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01181537A true JPH01181537A (ja) | 1989-07-19 |
Family
ID=11605761
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63005243A Pending JPH01181537A (ja) | 1988-01-12 | 1988-01-12 | Ｘｙ移動ステージ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01181537A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7654207B1 (en) | 1999-09-10 | 2010-02-02 | Nec Corporation | XY stage |
| WO2010079632A1 (ja) * | 2009-01-06 | 2010-07-15 | 株式会社新川 | ２方向移動テーブル |
-
1988
- 1988-01-12 JP JP63005243A patent/JPH01181537A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7654207B1 (en) | 1999-09-10 | 2010-02-02 | Nec Corporation | XY stage |
| WO2010079632A1 (ja) * | 2009-01-06 | 2010-07-15 | 株式会社新川 | ２方向移動テーブル |
| CN102272910A (zh) * | 2009-01-06 | 2011-12-07 | 株式会社新川 | 两方向移动台 |
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