JPH01201808A - 複合型磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は磁気ヘッドの製造方法に係り、特に、高密度磁
気記録再生に使用される複合型磁気ヘッドの製造方法に
関する。

（従来の技術） 従来、情報信号の記録再生動作を磁気的に行うようにし
た磁気記録再生方式は、構成及び操作の容易性のために
、多くの技術分野において、情報信号の記録再生のため
の手段として広く採用されているが、広帯域情報信号の
記録再生ならびに情報信号の高密度記録再生の要望が高
まるにつれて、磁気記録媒体に高い抗磁力を有する磁性
材料を使用することにより記録線密度を高めると共にト
ラック中の狭小化を図って、情報信号の高密度記録再生
が行なわれる様になった。磁気記録媒体に使用される磁
性材の抗磁力が大きくなると、これらの記録媒体を磁気
ヘッドにより充分記録するためにより大きなギャップ磁
界を必要とするから、磁束が最も集中する磁気ギャップ
近傍を飽和磁束密度の高い例えば、センダスト、アモル
ファス等の金属系磁性材で形成し、主磁路を飽和磁束密
度は小さいが高周波特性の優れた、例えばフェライト磁
性材のような酸化物系磁性材を用いて構成した、いわゆ
る複合型磁気ヘッドがある。

（解決すべき課題） 前記した従来構成の複合型磁気ヘッドでは、それの耐摩
耗性を有する摺動面を構成させるために、磁気ヘッドの
製作に当って使用される素材として、磁気ヘッドにおけ
る磁気コアとなされるべき部分と対応するフェライト磁
性体のブロック材と、摺動面を構成する高硬度の非磁性
耐摩耗性材料のブロック材、例えばガラスのブロック材
とを溶着したものが用いられている。

ところが、磁気ヘッドの製作に当って前記のような素材
、すなわち、前記のようにフェライト磁性体のブロック
材と、高硬度の非磁性耐摩耗性材料のブロック材、例え
ばガラスのブロック材とを溶着したものが磁気ヘッドの
素材として使用される場合には、（１）磁気ヘッドの製
作のための工程数が非常に多くなる。（２）溶着の対象
にされる２つのブロック材は、互いの熱膨張係数の差が
少なくとも８％以内でなければならないので、使用でき
る材料が限定される。（３）フェライト磁性体のブロッ
ク材にガラスのブロック材を溶着する代わりに、フェラ
イト磁性体のブロック材に高硬度の非磁性耐摩耗性材料
を、例えばスパッタリング法の適用によって被着形成さ
せることは、所定の厚みの高硬度の非磁性耐摩耗性材料
層を形成するのに非常に長時間を要するので非現実的で
あり、仮にスパッタリング法の適用によって、所定の厚
みの高硬度の非磁性耐摩耗性材料層を被着形成させ得た
としても、大きな付着強度で均一な膜質の厚膜を得るこ
とは困難であって、クラックや、剥離が生じ易い、など
の問題点があるために、前記のような問題点のない複合
型磁気ヘッドの製作法が求められた。

（課題を解決するための手段） 本発明は前記課題を解決するためになされたものであり
、磁気回路が強磁性酸化物磁性体よりなる磁気コアに真
空成膜技術により強磁性体金属の薄膜を形成させて、前
記の強磁性体金属の薄膜の部分で狭トラツク中の磁気空
隙を構成させるようにした複合型磁気ヘッドの製作法で
あって、強磁性酸化物磁性体のブロック材における磁気
ヘッドの摺動面と対応する面とギャップ形成面に対応す
る面との境界線に対して所定の角度だけ傾斜した状態で
前記した強磁性酸化物磁性体のブロック材における磁気
ヘッドの摺動面と対応する面の一端部から他端部まで連
続的に構成されかつ、側壁に少なくととも垂直面と傾斜
面を有する第１の溝を、前記した強磁性酸化物磁性体の
ブロック材における磁気ヘッドの摺動面と対応する面に
複数個構成させる工程と、前記した強磁性酸化物磁性体
のブロック材におけるギャップ形成面に対応する面側か
ら前記した第１の溝の側壁面にＰＶＤ法により非磁性体
物質の薄膜を付着形成させる工程と、前記した非磁性体
物質の薄膜の表面と対応する面側を一側面とし、この−
側面が前記非磁性体物質の薄膜の表面と同一面となるよ
うに、または、前記薄膜の表面からトラック「ＩＪの１
７２以下の範囲で渭れた前記の第１の溝よりも深い第２
の清を前記の第１の溝を含む部分に構成する工程と、前
記した強磁性酸化物磁性体のブロック材におけるギャッ
プ形成面に対応する面側から前記した第２の溝における
前記の一側面にＰＶＤ法により金属強磁性体物質の薄膜
を付着形成させる工程と、前記した強磁性酸化物磁性体
のブロック材におけるギャップ形成面に対応する面側か
ら前記した第２の清の一側面に付着形成された前記の金
属強磁性体物質の薄膜上にＰＶＤ法によより非磁性体物
質の薄膜を付着形成させる工程と、前記した第１．第２
の溝により前記した強磁性酸化物磁性体のブロック材に
形成された空間部分に低融点カラスを充填する工程と、
強磁性酸化物磁性体のブロック材における磁気ヘッドの
摺動面と対応する面とギャップ形成面に対応する面とか
ら突出している余分な部分を除去した後に、前記の両面
を鏡面研磨してコア半休ブロックを得る工程と、一対と
される２個のコア半休ブロックにおける少なくとも一方
のもののギャップ形成面側に巻線溝とコア半休ブロック
の結合部材充填用溝を構成させる工程と、コア半休ブロ
ックのギャップ形成面側にギャップ材を付着させた後に
一対のコア半休ブロックにおけるそれぞれの金属強磁性
体物質の薄膜の端部が互いに対向している状態となるよ
うに一対のコア半休ブロックにおけるギャップ形成面側
を突合わせる工程と、前記した一対のコア半休ブロック
を低融点ガラスにより一体的に固着させて磁気ヘッドの
コアブロックを得る工程と、前記した磁気ヘッドのコア
ブロックにおける摺動面側を所定形状に加工する工程と
、前記した磁気ヘッドのコアブロックを切断して個々の
磁気ヘッドのコアを得る工程とからなる複合磁気ヘッド
の製作法を提供しようとするものである。

（実施例） 以下、添付図面を参照しながら本発明の複合型磁気ヘッ
ドの製作法の具体的な内容について詳細に説明する。

？ 第１図乃至第牟図は磁気回路が強磁性酸化物磁性体より
なる磁気コアに真空成膜技術により強磁性体金属の薄膜
を形成させて、前記の強磁性体金属の薄膜の部分で狭ト
ラツク中の磁気ギャップを構成させるようにした磁気ヘ
ッドを製作する本発明の複合型磁気ヘッドの製作法にお
ける複合型磁気ヘッドの製作工程の概略を示した斜視図
であって、第１図は強磁性酸化物磁性体くフェライト磁
性体）のブロック材を示している。

第１図に示されているフェライト磁性体のブロック材１
において、１ａは磁気ヘッドにおけるギャップ形成面と
対応する面を示し、また１ｂはフェライト磁性体のブロ
ック材１における磁気ヘッドの摺動面と対応する面を示
しており、２は前記した２つの面１ａ、ｌｂの境界線を
示している。

前記した第１図に示されているフェライト磁性体のブロ
ック材１には、それの面１ｂに複数本の第１の？ｌＩ３
．３・・・が形成される。すなわち、フェライト磁性体
のブロック材１の面１ｂに形成される複数本の第１の消
３，３・・・は、フェライト磁性体のブロック材１にお
けるギャップ形成面と対応する面１ｉと、フェライト磁
性体のブロック材１における磁気ヘッドの摺動面と対応
する面１ｂとの境界線２に対して所定の角度θだけ傾斜
した状態で前記したフェライト磁性体のブロック材１に
おけるる磁気ヘッドの摺動面と対応する面の一端部から
他端部まで連続的に構成されるのである。

これらの第１の消３，３・・・は、側壁に少なくとも垂
直面３ａと傾斜面３ｂを有する平行溝として形成される
が、傾斜面３ｂは必ずしも直線である必要はなく、曲面
でもかまわない。

前記のように複数本の第１の清３，３がフェライト磁性
体のブロック材１における磁気ヘッドの摺動面と対応す
る面１ｂに構成された第２図示の状態のフェライト磁性
体のブロック材１には、次いで、第３図示のようにフェ
ライト磁性体のブロック材１におけるギャップ形成面に
対応する面１ａ側から前記した第１の溝３，３・・・の
側壁面にＰＶＤ法により非磁性体物質の薄膜５を付着形
成させる。

第３図中における矢印４はフェライト磁性体のブロック
材１におけるギャップ形成面に対応する面１ａ側から、
例えばスパッタリング手段によって飛来する高硬度の非
磁性体物質（例えばＡ　Ｊ　２０３またはＴ　ｉ　０２
　）の微粒子を示している。なお、第３図中ではフェラ
イト磁性体のブロック材１におけるギャップ形成面に対
応する面ｌａ側に付着形成される非磁性体物質の薄膜に
ついての図示は省略されている（このような省略は他の
図についても行われている）。

次に、前記のようにフェライト磁性体のブロック材１に
おける磁気ヘッドの摺動面と対応する面１ｂに構成され
た複数本の第１の涌３．３・・・の側壁面にＰＶＤ法に
より非磁性体物質の薄膜５が付着形成させれな状態の第
３図示のものにおける各第１の溝３，３・・・には、第
４図に示されているように、前記した非磁性体物質の薄
膜５の表面と対応する面側を一側面とし、前記の第１の
溝３．３・・・よりも深い第２の消６，６・・・を前記
の第１の溝３．３・・・を含む部分に構成させる。この
時、第２の消６は上記−側面が非磁性体物質の薄膜５の
表面と同一面となるように構成してもよいし、あるいは
この薄膜５の表面からｄだけ離れたところに形成しても
よいが、ずれ量（オフセット量）ｄはヘッドチップの最
終形状時のコア厚さｔの１／２以下とする。

次に、第４図示のフェライト磁性体のブロック材１にお
けるギャップ形成面に対応する面１ａｌＩ！Ｉから前記
した第２の溝６．６・・・における前記の一側面にＰＶ
Ｄ法により金属強磁性体物質（例えば、センダスト合金
）の薄膜７を付着形成させるが、もし、第２の清６，６
・・・の側壁が非磁性物質の薄膜の薄膜５の表面からα
（但しα＜Ｒｔ）だけ離れた場合でも、このずれの面は
傾斜しているため金属強磁性体物質の薄ＪＩ１７をこの
傾斜面に容易に付着させることが可能となり金属強磁性
体物質の薄膜５からなる磁気コアとフェライト磁性体の
ブロック材１からなる磁気コアとの磁気的接続を断続さ
せることなく、また、磁路の磁気抵抗を小さくすること
なく行うことが出来る。

次いで、前記のようにしてフェライト磁性体のブロック
材１におけるギャップ形成面に対応する面１ａ側から前
記した第２の溝６の一側面に付着形成された前記の金属
強磁性体物質の薄膜７上にＰＶＤ法により高硬度の非磁
性体物質（例えばＡＪ□０３またはＴ　ｉＯ２の薄膜８
を付着形成させて第５図に示されるような状態のものを
得る（第５図におけるフェライト磁性体のブロック材１
におけるギャップ形成面に対応する面１ａ側上に形成さ
れた金属強磁性体物質の薄膜と非磁性体物質の薄膜など
の図示は省略されている）。

次に、前記した第５図示の状態のものにおいて前記した
第１の消３や第２の消６により前記したフェライト磁性
体のプロ°ツク材１に形成されている空間部分に低融点
ガラス９を充填し、次いで、フェライト磁性体のブロッ
ク材１における磁気ヘッドの活動面と対応する面１ｂと
ギャップ形成面に対応する面１ａとから突出している余
分な部分を除去した後に、前記の両面１ａ、１ｂを鏡面
研磨すると、第５図に示されているようなコア半休ブロ
ックが得られるが、前記のようにして作られた第５図示
のコア半休は２個を一対として磁気ヘッドの製作のため
に使用されるのである。

前記した一対の２個のコア半体ブロックにおける少なく
とも一方のものについて、それのギヤツブ形成面ｌａ側
に巻線溝１０とコア半休ブロックの結合部材充填用溝１
１とを構成させて第６図示の状態のものを作る。

次に、前記した第６図示のコア半休ブロックのギヤツブ
形成面ｌａ側にギャップ材を付着させた後に、一対のコ
ア半休ブロックにおけるそれぞれの金属強磁性体物質の
薄ＩＩ！７．７の端部を第７図示のように互いに対向さ
せた状態として、一対のコア半休ブロックにおけるギヤ
ツブ形成面ｌａ側を突合わせる。

次いで、第７図示の状態のものの上下を逆にし、巻線溝
１０の部分におけるギャップ・デイジス規制後端部付近
と、コア半休ブロックの結合部材充填用溝１１とに低融
点ガラスを置いて炉に入れて加熱溶融し、２つのコア半
休ブロックを前記の低融点ガラスにより一体的に固着さ
せて磁気ヘッドのコアブロックを作る。

次に、前記のようにして作られた磁気ヘッドのコアブロ
ックにおける摺動面側を所定形状に加工し、次いで、前
記した磁気ヘッドのコアブロックを第各図中の直線イー
ロ、ハーニ、ポーへ、トーチ・・・の位置で切断すると
、第今図に示されるような個々の磁気ヘッドのコアが得
られる。

（発明の効果） 以上、詳細に説明したところから明らかなように、本発
明は磁気回路が強磁性酸化物磁性体よりなる磁気コアに
真空成膜技術により強磁性体金属の薄膜を形成させて、
前記の強磁性体金属の薄膜の部分で狭−トラックＩＪの
磁気空隙を構成させるようにした複合型磁気ヘッドの製
作法であって、強磁性酸化物磁性体のブロック材におけ
る磁気ヘッドの摺動面と対応する面とギャップ形成面に
対応する面との境界線に対して所定の角度だけ傾斜した
状態で前記した強磁性酸化物磁性体のブロック材におけ
る磁気ヘッドの摺動面と対応する面の一端部から他端部
まで連続的に構成されかつ、側壁に少なくととも垂直面
と傾斜面を有する第１の清を、前記した強磁性酸化物磁
性体のブロック材における磁気ヘッドの摺動面と対応す
る面に複数個構成させる工程と、前記した強磁性酸化物
磁性体のブロック材におけるギャップ形成面に対応する
面側から前記した第１の清の側壁面にＰＶＤ法により非
磁性体物質の薄膜を付着形成させる工程と、前記した非
磁性体物質の薄膜の表面と対応する面側を一関面とし、
この−側面が前記非磁性体物質の薄膜の表面と同一面と
なるように、または、前記薄膜の表面からトラックｒｉ
Ｊのに以下の範囲で離れた前記の第１の溝よりも深い第
２の溝を前記の第１の溝を含む部分に構成する工程と、
前記した強磁性酸化物磁性体のブロック材におけるギャ
ップ形成面に対応する面側から前記した第２の清におけ
る前記の一側面にＰＶＤ法により金属強磁性体物質の薄
膜を付着形成させる工程と、前記した強磁性酸化物磁性
体のブロック材におけるギャップ形成面に対応する面側
から前記した第２の溝の一側面に付着形成された前記の
金属強磁性体物質の薄膜上にＰＶＤ法によより非磁性体
物質の薄膜を付着形成させる工程と、前記した第１．第
２の溝により前記した強磁性酸化物磁性体のブロック材
に形成された空間部分に低融点ガラスを充填する工程と
、強磁性酸化物磁性体のブロック材における磁気ヘッド
の摺動面と対応する面とギャップ形成面に対応する面と
から突出している余分な部分を除去した後に、前記の両
面を鏡面研磨してコア半休ブロックを得る工程と、一対
とされる２個のコア半休ブロックにおける少なくとも一
方のもののギャップ形成面側に巻線溝とコア半休ブロッ
クの結合部材充填用溝を構成させる工程と、コア半休ブ
ロックのギャップ形成面側にギャップ材を付着させた後
に一対のコア半休ブロックにおけるそれぞれの金属強磁
性体物質の薄膜の端部が互いに対向している状態となる
ように一対のコア半休ブロックにおけるギャップ形成面
側を突合わせる工程と、前記した一対のコア半休ブロッ
クを低融点ガラスにより一体的に固着させて磁気ヘッド
のコアブロックを得る工程と、前記した磁気ヘッドのコ
アブロックにおける摺動面側を所定形状に加工する工程
と、前記した磁気ヘッドのコアブロックを切断して個々
の磁気ヘッドのコアを得る工程とからなる複合磁気ヘッ
ドの製作法であって、この本発明の複合型磁気ヘッドの
製作法では従来構成の複合型磁気ヘッドのように耐摩耗
性を有する摺動面を構、成させるために、磁気ヘッドの
製作に当って使用される素材として、磁気ヘッドにおけ
る磁気コアとなされるべき部分と対応するフェライト磁
性体のブロック材と、摺動面を構成する高硬度の非磁性
耐摩耗性材料のブロック材、例えばガラスのブロック材
とを溶着したものを用いてないから、磁気ヘッドの製作
のための工程数を少なくすることができ、また、高硬度
の非磁性耐摩耗性材料をＰＶＤ法によって成膜できるた
めに、強磁性酸化物磁性体との整合は成膜条件によって
制御することができ、さらに高硬度の非磁性耐摩耗性材
料の選択範囲が拡がるために、使用される磁気記録媒体
に最も適合した高硬度の非磁性耐摩耗性材料を容易に選
択して使用することができるのであり、また、強磁性金
属の薄膜からなる磁気コアとフェライト磁性体のブロッ
ク材からなる磁気コアとの磁気的接合において断点を作
ることなく、しかも磁路の磁気抵抗を小さくすることな
く行えるため、磁気効率の高い磁気ヘッドを歩留り良く
生産することが可能となる。

上述の如く、本発明によれば高い抗磁力を有する磁性材
料が使用されている磁気記録媒体に対応する磁気特性の
優れた長寿命の複合型磁気ヘッドを高い歩留りで大量生
産することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第今図は磁気回路が強磁性酸化物磁性体より
なる磁気コアに真空成膜技術により強磁性体金属の薄膜
を形成させて、前記の強磁性体金属の薄膜の部分で狭ト
ラック巾の磁気ギャップを１・・・フェライト磁性体の
ブロック材、１ａ・・・磁気ヘッドにおけるギャップ形
成面と対応する面、 １ｂ・・・フェライト磁性体のブロック材１におけるる
磁気ヘッドの摺動面と対応する面、 ２・・・面１ａ、ｌｂの境界線、３・・・第１の溝、５
・・・第１の溝３のｌ！ｌ壁面にＰＶＤ法により付着形
成させた非磁性体物質の薄膜、６・・・第２の溝、７・
・・金属強磁性体物質の薄膜、 ８・・・非磁性体物質の薄膜、９・・・低融点ガラス、
１０・・・巻線溝、 １１・・・コア半休ブロックの結合部材充填用溝。 駆り 第７図 星９図 手続ネ市正糊 平成元年４月上Ｚ日

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 磁気回路が強磁性酸化物磁性体よりなる磁気コアに真空
   成膜技術により強磁性体金属の薄膜を形成させて、前記
   の強磁性体金属の薄膜の部分で狭トラック１１の磁気空
   隙を構成させるようにした複合型磁気ヘッドの製造方法
   であって、強磁性酸化物磁性体のブロック材における磁
   気ヘッドの摺動面と対応する面とギャップ形成面に対応
   する面との境界線に対して所定の角度だけ傾斜した状態
   で前記した強磁性酸化物磁性体のブロック材における磁
   気ヘッドの摺動面と対応する面の一端部から他端部まで
   連続的に構成されかつ、側壁に少なくととも垂直面と傾
   斜面を有する第１の溝を、前記した強磁性酸化物磁性体
   のブロック材における磁気ヘッドの摺動面と対応する面
   に複数個構成させる工程と、前記した強磁性酸化物磁性
   体のブロック材におけるギャップ形成面に対応する面側
   から前記した第１の溝の側壁面にＰＶＤ法により非磁性
   体物質の薄膜を付着形成させる工程と、前記した非磁性
   体物質の薄膜の表面と対応する面側を一側面とし、この
   一側面が前記非磁性体物質の薄膜の表面と同一面となる
   ように、または、前記薄膜の表面からトラック巾の１／
   ２以下の範囲で離れた前記の第１の溝よりも深い第２の
   溝を前記の第１の溝を含む部分に構成する工程と、前記
   した強磁性酸化物磁性体のブロック材におけるギャップ
   形成面に対応する面側から前記した第２の溝における前
   記の一側面にＰＶＤ法により金属強磁性体物質の薄膜を
   付着形成させる工程と、前記した強磁性酸化物磁性体の
   ブロック材におけるギャップ形成面に対応する面側から
   前記した第２の溝の一側面に付着形成された前記の金属
   強磁性体物質の薄膜上にＰＶＤ法によより非磁性体物質
   の薄膜を付着形成させる工程と、前記した第１、第２の
   溝により前記した強磁性酸化物磁性体のブロック材に形
   成された空間部分に低融点ガラスを充填する工程と、強
   磁性酸化物磁性体のブロック材における磁気ヘッドの摺
   動面と対応する面とギャップ形成面に対応する面とから
   突出している余分な部分を除去した後に、前記の両面を
   鏡面研磨してコア半体ブロックを得る工程と、一対とさ
   れる２個のコア半体ブロックにおける少なくとも一方の
   もののギャップ形成面側に巻線溝とコア半体ブロックの
   結合部材充填用溝を構成させる工程と、コア半体ブロッ
   クのギャップ形成面側にギャップ材を付着させた後に一
   対のコア半体ブロックにおけるそれぞれの金属強磁性体
   物質の薄膜の端部が互いに対向している状態となるよう
   に一対のコア半体ブロックにおけるギャップ形成面側を
   突合わせる工程と、前記した一対のコア半体ブロックを
   低融点ガラスにより一体的に固着させて磁気ヘッドのコ
   アブロックを得る工程と、前記した磁気ヘッドのコアブ
   ロックにおける摺動面側を所定形状に加工する工程と、
   前記した磁気ヘッドのコアブロックを切断して個々の磁
   気ヘッドのコアを得る工程とからなる複合型磁気ヘッド
   の製造方法。