JPH02201713A - 磁気ヘッドとその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、磁気記録再生装置に用いられている磁気ヘッ
ドに係り、特にテープ摺動面に非晶質カーボン等を真空
薄膜成形技術により形成した磁気ヘッドに関する （従来の技術） 情報信号の記録再生動作を磁気的に行うようにした磁気
記録再生方式は、磁気記録媒体に対する情報信号の記録
動作と、磁気記録媒体からの情報信号の再生動作とを極
めて容易に行ないうるために、多くの技術分野における
情報信号の記録再生のための手段として従来から広く採
用されているが、広帯域情報信号の記録再生ならびに情
報信号の高密度記録再生の要望が高まるのに伴って、磁
気記録再生の分野においても磁気記録媒体として高い抗
磁力を有する磁性材料を使用し、記録跡中（トラック中
）の狭小化を図って、情報信号を高密度記録再生するこ
とが行われるようになった。

磁気記録媒体に使用される磁性材料として高い抗磁力を
有するものが使用されるようになったことにより、磁気
ヘッドを構成するなめに使用される磁性材料としても、
飽和磁束密度の高い磁性材料が必要とされるようになっ
たので、従来のように磁気ヘッドのコアを強磁性酸化物
磁性体くフェライト磁性体）だけで構成したのでは情報
信号を満足な状態で磁気記録媒体に記録することができ
ず、磁気ヘッドとして、それのコアの一部または全部を
飽和磁束密度の高い磁性材料、例えば、強磁性体合金、
強磁性体材料のアモルファスで構成するようにしたもの
が提案されている。

すなわち、磁気記録媒体に使用される磁性材料として、
例えば抗磁力が１００００ｅのものを用いて高密度磁気
記録更生を表現しようとされたような場合に、その磁気
記録媒体に対する情報信号の磁気記録及び磁気記録媒体
からの情報信号の再生に当り、飽和磁束密度が例えば５
２００ガウスの多結晶フェライトを磁気コアに用いた磁
気ヘッドを使用したところで、前記した磁気記録媒体に
対する磁気記録更生を良好に行なうことはできない。

それで、前記のように高い抗磁力を有する磁性材料が使
用されている磁気記録媒体に対する記録再生動作のため
に使用される磁気ヘッドとしても、例えば飽和磁束密度
が９５００〜１２５００ガウスのセンダスト合金のよう
な大きな飽和磁束密度を有する磁性材料による薄膜を、
強磁性酸化物磁性体（フェライト磁性体）よりなる磁気
コアにおける磁気記録媒体に接する部分付近だけに真空
成膜技術（真空薄膜形成技術）を適用して設けた構成形
態のものが提案されている。

ところで、磁気回路が強磁性酸化物磁性体（フェライト
磁性体）よりなる磁気コアに真空成膜技術により強磁性
体金属の薄膜を形成させて、前記の強磁性体金属の薄膜
の部分で狭トラツク中の磁気空隙を構成させるようにし
た磁気ヘッドとしては、例えば特開昭６０−１８２５０
７号公報にも開示されているように、高硬度非磁性材料
と強磁性体金属の薄膜とにより狭トラツク中で耐磨耗性
の良好な摺動面を備えている構成の磁気ヘッドが提案さ
れている。

一方、近年、基板上に下部磁性層、ギャップ層、導体コ
イル層、上部磁性層を順次真空薄膜形成技術によって形
成した薄膜磁気ヘッドと呼ばれる構成の磁気ヘッドも提
案されている。この薄膜磁気ヘッドによれば、例えば、
特願昭６３−１８２１５２に開示されている様に、各層
が平坦となっているために磁気コアの特性の劣化もなく
、また磁気コアによる磁路も短かくできることが特徴で
ある。

（発明が解決しようとする課題） 前記した従来構成の磁気ヘッドでは、それの耐磨耗性を
有する摺動面を構成させるために磁気へラド製作に当っ
て使用される素材として、磁気へラドにおける磁気コア
となされるべき部分と対応するフェライト磁性体のブロ
ック材と摺動面を構成する高硬度の非磁性耐磨耗性のブ
ロック材、例えばガラスやセラミックのブロック材とを
溶着したちのが用いられている。

ところが、磁気ヘッドの製作に当って前記のような素材
、即ち、前記のようにフェライト磁性体のブロック材と
高硬度の非磁性耐磨耗材料のブロック材、例えばガラス
のブロック材とを溶着したものが磁気ヘッドの素材とし
て使用される場合には、磁気ヘッドの製作のための工程
数が非常に多くなる。

また、ガラスやセラミックのかわりに、カーボンブロッ
クを用いた場合には、この材料に真空薄膜成形技術など
によって強磁性金属膜や非磁性膜を形成することは付着
力等の問題により困難であった。

また、薄膜磁気ヘッドと称されている構成形態の磁気ヘ
ッドの場合においても、例えはカーホン基板を用いた場
合に真空薄膜成形技術により強磁性金属膜や非磁性膜を
形成することは前記同様、付着力等の問題で困難であっ
た。

（課題を解決するための手段） 本発明は、上記課題を解決するためになされたものであ
り、フェライト磁性材または非磁性材からなり、少なく
とも記録媒体摺動面を含む一端がカーボン膜で被覆され
た一組の平板材により強磁性金属膜をはさむ様にして形
成してなる一対の磁気コア半体を非磁性材を介して突き
合わせ、前記記録媒体摺動面上において、前記強磁性金
属股間で磁気キャップを形成してなることを特徴とする
磁気ヘッドとその製造方法および基板上に非磁性膜を介
して強磁性金属薄膜からなる上コアと下コアとを形成し
、これらの一端部が前記基板の側面とを記録媒体摺動面
を形成してなる磁気ヘッドにおいて、少なくとも前記上
コアと基板間にカーボン膜を介在させると共に、このカ
ーボン膜の一端が前記記録媒体摺動面の一部を形成して
なることを特徴とする磁気ヘッドを提供するものである
。

（実釉例） 実施例１ 第１図は、本発明になる磁気ヘッド１０を示す斜視図で
ある。同図において１１．１２は磁気コア半体である。

再磁気コア半体１１．１２は記録媒体摺動面１３を含む
一端部が非晶質カーボン膜（ガラス状カーボン）または
ダイヤモンド構造を有するカーボン膜または、非晶質構
造とダイヤモンド構造を併せ持つ混晶カーボン膜（以下
、これらを総称してカーボン膜と記す）Ｃにより均一に
おおわれた状態の例えばＭｎＺｎ単結晶フェライト等の
フェライト磁性材等からなる一対の平板材１１ａ、ｌｌ
ｂ、及び１２ａ、１２ｂと、これら一対の平板材１１ａ
、ｌｌｂ及び１２ａ、１２ｂに挾持された強磁性金属膜
１４からなる。

また、磁気コア半体１１には巻線溝１５が形成されてい
る。これら再磁気コア１１．１２は一般の磁気ヘッドと
同様、ギャップスペーサ−材ｇを介して突き合わされ、
記録媒体摺動面１３上に強磁性金属膜１４間で磁気キャ
ップ１６を形成している。

この様に、磁気ヘッド１０の記録媒体摺動面１３は強磁
性金属膜１４とカーボン膜Ｃのみから構成されているた
め非常に耐磨耗性に優れた磁気へラドが得られる。また
、磁気テープ等の記録媒体に与えるダメージも少なく記
録媒体の耐久性が増す。

上記の様な磁気ヘッド１０の製造方法を工程（Ａ）〜（
Ｆ）に示す。第２図（ａ）〜（ｈ）は本発明になる磁気
ヘッド１０の製造方法を説明するなめの斜視図である。

以下同図を用いて説明する。

工程（Ａ）　　まず同図ｆａ）に示す様に例えはＭｎＺ
ｎ単結晶フェライト等のフェライト磁性材等からなるコ
アブロックより同一形状の平板材Ａ。

Ｂを形成する。

工程（Ｂ）　　この平板材Ａ、Ｂに、後に記録媒体摺動
面となる部分１３ａ、１３ｂを含む上部に例えばＣＶＤ
法等の真空薄膜成形技術によりカーボン膜Ｃを形成する
。（同図（ｂ）） 工程（Ｃ）　　上記平板材Ａにおいてカーボン膜Ｃが面
全体に形成されたのちに記録媒体摺動面となる面に交差
する面に、真空薄膜成形技術により強磁性金属１！１４
例えば、センダスト等を形成する。（同図（Ｃ）） 工程＜Ｄ）　　強磁性金属ｖ１４の形成された平板材Ａ
と平板材Ｂを前記強磁性金属Ｊｌ！１４を挾持する様に
して、例えば、ガラス・ボンディング法等により接合す
る。（同図（ｄ）） 工程（Ｅ）　　次に記録媒体摺動面１３から見て、上記
強磁性金属膜１４と垂直な方向に切断線Ｓ−８に沿う線
で切断して一対の磁気コア半体１１゜１２を得る。次に
少なくとも一方のコア半体１１の突合せ面に巻線溝１５
の形成を行なう。（同図（ｅ）、（ｆ）　） 工程（Ｆ）　　前記突き合わせ面の一部に真空薄膜成形
技術等によりＳ　ｉ　Ｏ２などのギャップスペーサ−材
ｇを形成した後、一対の磁気コア半体１１．１２を突き
合わせ一体に接合する。これにより記録媒体摺動面１３
上に磁気ギャップ１６を有する第１図に示す磁気ヘッド
１０が得られる。

（第２図（ｑ）、（ｈ）　） 上述の様に、本発明になる磁気ヘッド１０の製造方法に
よれば、真空薄膜成形技術によりカーボン膜と形成して
いるため、バルクのカーボン基板と比較して強磁性金属
Ｊｌ！１４との接合が容易であり、しかも製造工程が簡
便である。

実施例２ 実施例１においては、一対の平板材１１ａ。

１１ｂとしてフェライト磁性材からなる磁性材を用いた
が、他の実施例としてこの平板材１１ａ。

１１ｂに例えばセラミックスなどの非磁性材を用いた場
合にも適用することがきるし、又、前記間様の製造工程
で製造することもできる。

この場合、テープ等の記録媒体摺動面にカーホン膜を付
与することによりテープ等の磁気記録媒体をいためるこ
とがない。

実施例３ 第３図は本発明になる磁気ヘッドの他の実施例２０を示
す断面図である。同図において２１はカーボン膜であり
基板２２上に少なくともギャップディプスＡに相当する
部分に形成されており、この先端部は基板２２の側面と
共に記録媒体摺動面２３の一部を形成している。カーボ
ンｌ！２１と基板２２にかけて、センダスト等の強磁性
金属膜からなる下コア２４が形成されている。下コア２
４の上にはギャップスペーサ−材２５．第１の絶縁膜２
６．導体コイル２７．第２の絶縁ｗＡ２８．上コア２９
が順次形成され、これらの上に、少なくともギヤップデ
ィブス層に相当する部分に先端部が記録媒体摺動面２３
の一部を形成する様にカーボン膜３０が形成されている
。さらに、この上に保護膜３１が形成されて磁気ヘッド
２０が構成されている。

この様な磁気ヘッド２０においては、上部と下部のカー
ボン膜３０と２１で、」下コア２９．下コア２４及びギ
ャップスペーサ−材２５を挾持又は包囲する様な構造に
なっており、実施例１と同様に磁気記録媒体が接触する
部分は、強磁性金属膜である上コア２つと下コア２４と
カーボン膜２１３０のみであるので、非常に耐磨耗性に
優れている。

（発明の効果） 上述の様に本発明になる磁気ヘッドによればフェライト
磁性材または非磁性材からなり、少なくとも記録媒体摺
動面を含む一端かカーボン膜で被覆された一組の平板材
により強磁性金属膜をはさむ様にして形成してなる一対
の磁気コア半体を非磁性材を介して突き合わせ、前記記
録媒体摺動面上において、前記強磁性金属膜間で磁気ギ
ャップを形成してなることを特徴としたり、基板上に非
磁性膜を介して強磁性金属薄膜からなる上コアと下コア
とを形成し、これらの一端部が前記基板の側面とを記録
媒体摺動面を形成してなる磁気ヘッドにおいて、少なく
とも前記上コアと基板間にカーボン膜を介在させると共
に、このカーボン膜の一端が前記記録媒体摺動面の一部
を形成してなることを特徴としたので、非常に耐磨耗性
の良い磁気ヘッドが得られ、また記録媒体をいためるこ
ともない。また、加工に要する工程数は少なくて済みコ
スト的に有利な磁気ヘッドの製造方法が可能となると共
に真空薄膜成形技術により形成されたカーボン膜を用い
ているために他の物質との接合が容易になり強度に優れ
た信頼性の高い磁気ヘッドの製造方法を提供することが
出来る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明になる磁気ヘッドを示す斜視図、第２図
（ａ）〜（ｂ）は本発明になる磁気ヘッドの製造方法を
説明するための斜視図、第３図は本発明になる磁気ヘッ
ドの他の実施例を示す断面図。 １０．２０・・・本発明になる磁気ヘッド、１１．１２
・・・磁気コア半体、 Ｃ，２１，３０・・・カーボン膜、 １３．２３・・・記録媒体摺動面、 １１ａ、ｌｌｂ、１２ａ、１２ｂ、Ａ、Ｂ−・・平板材
、１４・・・強磁性金属膜、１５・・・巻線溝、ｇ、２
５・・・ギャップスペーサ−材、１６・・・磁気ギャッ
プ、２４・・・下コア、２６・・・第１の絶縁膜、２７
・・・導体コイル、２８・・・第２の絶縁膜、２９・・
・上コア、３１・・・保護膜。 特許出願人　日本ビクター株式会社 代表者　垣木邦夫 手続補正書く方式） 平成元年４月】８日

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）フェライト磁性材または非磁性材からなり、少な
   くとも記録媒体摺動面を含む一端がカーボン膜で被覆さ
   れた一組の平板材により強磁性金属膜をはさむ様にして
   形成してなる一対の磁気コア半体を非磁性材を介して突
   き合わせ、前記記録媒体摺動面上において、前記強磁性
   金属膜間で磁気ギャップを形成してなることを特徴とす
   る磁気ヘッド。
2. （２）酸化物磁性材または非磁性材からなる一組の平板
   材を用意し、これら平板材の記録媒体摺動面を含む一端
   部を真空薄膜成形技術によりカーボン膜で被覆する工程
   と、一方の前記平板材の記録媒体摺動面に対して垂直な
   面に強磁性金属膜を真空薄膜成形技術により均一な厚さ
   に成膜する工程と、前記強磁性金属膜の成膜された一方
   の平板材と、他方の平板材とを前記強磁性金属膜を挾持
   する様に接合する工程と、前記記録媒体摺動面及び前記
   強磁性金属膜に対して垂直な方向に分断して一対の磁気
   コア半体を形成し、少なくとも一方の磁気コア半体の突
   合せ面巻線構を形成する工程と、前記一方の磁気コア半
   体の突合せ面に真空薄膜成形技術により非磁性材からな
   るギャップスペーサーを形成する工程と、前記ギャップ
   スペーサー材を介して両磁気コア半体の突き合わせを行
   なう工程を含むことを特徴とする特許請求の範囲第一項
   に記載の磁気ヘッド製造方法。
3. （３）基板上に非磁性膜を介して強磁性金属薄膜からな
   る上コアと下コアとを形成し、これらの一端部が前記基
   板の側面と共に記録媒体摺動面を形成してなる磁気ヘッ
   ドにおいて、少なくとも前記上コアと基板間にカーボン
   膜を介在させると共に、このカーボン膜の一端が前記記
   録媒体摺動面の一部を形成してなることを特徴とする磁
   気ヘッド。