JPH01207997A - 基板搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （イ）産業上の利用分野 本発明は電子回路基板等の基板を加工する工程で用いる
基板搬送装置に関する。

（ロ）従来の技術 基板加工工程、例えば電子回路基板に電子部品を装着す
るといったニー程においでは、ＸＹ子テーブルような基
板位置決め装置に基板を固定して、基板の任意の装置を
加工用下Ｘ（例えば電子部品装着用真空チヘ・ツク）に
相対させる、という構成をとることが多い。基板位置決
め装置に基板を取り付けたり、あるいはそこから基板を
取り外したりする作業も最近では殆ど自動化されている
。〕の作業に関連してローディングブリッジとアンロー
ディングブリッジが用いられる。ローディングブリッジ
、基板位置決め装置、アンローディングブリッジ゛は、
この順序に並んで基板の受け渡し、を行なう５かかる装
置の例は、例えば特公昭５９−１２５６５号公報、特公
昭６２−１３８３７号公報に見ることができる。これら
の例では基板受け渡し時のみ３者が集合し、それ以外の
時はローディングブリッジとアンローディングブリッジ
が互の間隔を広げて基板位置決め装置の移動空間を確保
するのであるが、両ブリッジの相互位置を不変に保ち、
基板加工作業は両ブリッジから横ないし下にシフトした
場所で行ない、基板受け渡し時のみ、基板位置決め装置
が両プリッ〉間に帰って来る、という構成をとることも
ある。

さて、ローディングブリッジは通常基板搬送ベルトによ
り基板を運んで来るのであるが、基板のオーバーランを
防ぎ、且つ、基板位置決め装置への載せ替λに備えて一
定位置で待機きせるため、ロープう′ングプリソジには
スト・ンパを設けるのが普通である。また基板位置決め
装置にあっては、基板の進行方向における位置基準とな
る部材を設けなければならない。これらストッパと位置
基準部材は、基板の受け渡し時には基板進路から退避さ
せねばならないが、従来は退避動作用アクヴ。

エータをローディングブリッジと基板位置決め装置の各
々に独立し工設けており、特に基板位置決め装置側のア
クチュエータは、基板位置決め装置の高速移動を阻害す
る要因となっていた。

（ハ）発明が解決しようとする課題 本発明は、基板位置決め装置の位置基準部材を、当該装
置に内蔵したアクチュエータによらずして進退動作させ
ることのできる装置を提供しようとするものである。

（ニ）課題を解決するだめの手段 本発明では、基板搬送用ヘルドと、ストッパと、ストッ
パの進退アクチュエータと、更に、ストッパを退避きぜ
るための動力を外部に伝達ｒるための出力部材とをロー
ディングブリッジに設ける。基板位置決め装置において
は、位置基準部材−４＝ をばねにより常時基板係止位置に進出させると共に、動
力伝達部材を位置基準部材に連結する。

（ホ）作用 基板受け渡しのため基板位置決め装置がローディングブ
リッジに並んだ時、進退アクチュエータが動作すると、
スト・／パが退避すると共に、ストッパを退避させるだ
めの動力が出力部材から動力伝達部材に伝えられる。こ
れにより位置基準部材も退避位置に移行し、基板はロー
ディングブリッジも基板位置決め装置も自由に通過でき
ることになる。

（へ）実施例 まず第１図に基き装置のアウトラインを説明ｊる。同図
においＣ１（１）は加工１べき基板、（３）は基板（１
〉を加工位置に移動さＵる基板位置決め装置、（５）は
基板位置決め装置（３）に未加工の基板（１）を送り込
むローディングブリッジ、（７）は基板位置決め装置（
３〉から加工済基板を受け取るアンローディングブリッ
ジである。ローディングブリッジ（５）とアンローディ
ングブリッジ（７）＝５− は、基板位置決め装置（３）のはまり込む間隔を置いて
、相互距離不変に設置されている。基板加工作業は、基
板位置決め装置（３）の１一部をローディングブリッジ
（５）とアンローディングブリッジ（７）より下に沈み
込まけておいて行なう。作業蔽了後、基板位置決め装置
（３）の上部は上昇して「ンーディングブリッジ（５）
とアンローディングブリッジ（７）の間を連絡する。こ
の機構についでは後述する。

次にローディングプリツ＞（５）の構造を説明する。ロ
ーディングブリッジ（５〉は、１対の平行する桁構造（
１０）（１１）により構成される。一方の桁構造（１１
）は、桁構造（１０）に対し開閉動可能、つまり自ら動
いて桁構造＜１０）との間の間隔を変えられるようにな
っている。第６図に模型的に示す電動機（１２）が、間
隔変更動力源を構成する。電動５（１２＞はねし軸（１
３）を回転させて桁構造（１１）を動かず。

以下の説明で（１１桁構造（１１）のことを特に可動桁
構造と呼ぶことにする。

桁構造（１０）と可動桁構造（１１）の互に向かい合う
＝６− 縁部には、基板（１）の側縁を落とし込んで支える段部
（１４）が形設きれている（第５図、第１２図）。段部
（１４〉の底の部分は、ローティンダブリ・スジ（５）
の出口に近い僅かな個所を除いて、その殆どを基板搬送
ベル１−（１５）によって構成され−〔いる。桁構造（
１０）と可動桁構造（１１）の間には、基板搬送ベル１
−（１５）によって運んで来た基板（１）のオーバーラ
ンを防ぐためのストッパ（１６）を配置する。スト・ン
パ（１６）は第１６図に示す形状をしたレバー様の部材
てあって、桁構造（１０）の外面に水平に支持きれた回
動軸〈１７）に取り付けられ、先端の爪部（１８〉を、
回動軸（１７＞、の一方向への回動と共に基板係止位置
へ進出きせ、回動＋！（１７）の逆方向への回動と共に
基板係止位置から待避きせる。（１９）はストッパ（１
６〉の進退アクチュエータである。進退アクチュエータ
（１９）はエアシリンダにより構成きれ、桁構造（１０
）から突出したブラケント（２０）に基端を枢支許れ、
ロッドク２１）の先端を、回動軸（１７）に固定したク
ランク（２２）に連結している。進退アクチュエータ（
１９）がロンド（２１）を出し入れすることにより、回
動軸〈１７）に回動が生じる。回動軸（１７）の、アン
ローディングブリッジ（７）側の端には出力部材（２３
）を固定する。出力部材〈２３）は先端にＬ’ｌ−ラ（
２４）を有するレバー様部材である。

り２６）は基板（１）を送るためのウオーキングビーム
で、３木の爪（２７）（２８）（２９）を下向きに突出
させている。爪（２７）は基板位置決め装置（３）から
加工済基板（１〉を押し出すためのもの、爪（２８）（
２９＞は、ローラ、ｒングプリッシ（５）から基板位置
決め装置（３）・＼、未加工の基板（１）を前後から挾
んで送り込むためのものである。

アンローディングブリッジ（７）も、平行する１対の桁
構造（４０）（’４１）からなる。可動桁構造（１１）
と同じ側に位置する桁構造（４１）は、やはり桁構造（
４０）に対し間隔変更運動可能となっている。そこで、
桁構造（４１）も可動桁構造と呼ぶ。可動桁構造（４１
）の間隔変更動力源は、第６図に模型的に示す電動機（
４２）と、これによって回転せしめられるねし軸（４３
）である。電動機＜１２）（４２）は、可動桁構造（１
１）（１４）が、同時に、同方向へ、同速度で、同距離
だ（″）移動するよう、制御装置（４４）により制御さ
れる。桁構造（４０）と可動桁構造（４１〉の互に向か
い合う縁部には、基板（１）の側縁を落とし込んで支え
る段部（４５）が形設され、段部（４５）の底の部分は
、アンローディングブリッジ（７）の入口に近い僅かな
個所を除いて、その殆どを基板搬送ベルト（４６〉によ
って構成されている。

基板位置決め装置（３）の構造は次の通りである。ベー
ス（５０）はいわゆるＸＹテーブルであって、水平面内
で２次元的に移動する。この上にフレーム〈５１）が設
置され、フレーム（５１）の」二部には、ローディング
ブリッジ（５〉及びアンローディングブリッジ（７）の
桁構造と並ぶように、１対のガイドレール構造（５２）
（５３）を設置する。ガイドレール構造＜５３〉はガイ
ドレール構造（５２ンに対し間隔変更運動可能であり、
可動ガイドレール構造と呼ぶことにする。ガイドレール
構造（５２）と可動ガイドレール構造（５３）はレール
板（５４）（５５）を有する。

またレール板（５４）（５５）から−段と低くなって、
向かい合う段部（５６〉が形設され、ここで基板く１〉
の側縁を支持するようになっている。レール板〈５５）
については、段部（５６）のところに多数のローラ（６
１）を配置している。ローラクロ１）は１列に並んで基
板く１）の縁部を誘導するもので、各々が１個つつのス
ジイドブロック（６２〉に支持きれている。各スライド
ブロック（６２）は、第７図に見られるように一定のス
トローク範囲で進退が可能であって、圧縮コイルばね（
６３）により、ローラ（６１）を最大限に突出させる位
置まで押し出きれている。

可動ガイドレール構造（５３）について更に詳しく述べ
る。（７０）は可動ガイドレール構造（５３）の下部を
なずベースプレートで、レール板（５５）はその上に載
置されている。レール板（５５）の両端には基板（１）
の流れ方向と直角の一ノ）向に延びる長穴り７１）が形
設されており、この長穴（７１）に、ベースプレート（
７０）から突出した案内ビン（７２）が係合している。

ベースプレート（７０）の側面にはばね受け板（７３）
を固定し、このばね受け板（７３）とし・−ル板（５５
）の間に、第７図に示すように圧縮コイルはね（７４）
を挿入して、レール板（５５）をレール板（５４）の方
へ押し出している。レール板（５５）の進出を止めるス
トッパ（７５）もまた、ベースプレー１−（７０）に固
定するく第７図）。第４．５．６．８図に示す（７６）
は大きど広かった頭部を有する抜は止めボルトであって
、し−ル板（５５）に穿った長穴（長穴（７１）と同方
向に延びる）を通じてベースプレート（７０）にねじ込
まれ、レール板（５５）をスライド可能に、且つベース
プレート（７０＞から分離しないように保持する。

ベースプレーｈ（７０）の、ローディングブリッジ（５
）及びアンローディングブリッジ（７）の端部に面する
ことになる側面には、１対づつの連結ローラ〈８０）が
、水平方向に所定の間隔を置いて装Ｓされている。レー
ル板（５５）の方には、両側に１個づつのカムフ材ロワ
ローラ（８１）を装着する。カムフλロワＬ’ｌ−ラ（
８１）は通常、すなわちレール板（５５）がスト／パ（
７５）に当たっている状態において、１対の連結ローラ
（８０）のうちレール板（５４）から遠い側のものより
もややレール板（５４〉の方に偏位した位置にある（第
９図〉。カムフオロフローラ（８１）は、ローデインダ
ブリ・／ジ（５）とアンローディングブリッジ（７）の
可動桁構造（１１〉（４１）に固定きれたくさび状のカ
ム板（８２）と組の合わさって、カム装置（８３）を構
成し、ている。

ガイドレール構造（５２）及び可動カイ１：レール構造
（５３〉は昇降機構〈９０）によって昇降上しめられる
。〈９１〉は昇降機構（９０）の主部をなリー昇降フｔ
・−ムで、フレーム（５１）の上部構造を構成しており
、図示しない軸受にガイドロッド（１０３）を嵌合させ
て、垂直に昇降する。昇降動力源となるのはフレーム〈
５１）に取り付けたエアシリンダ（９２）である。

エアシリンダ（９２）のロッド（９３〉は真上を向き、
その先端には押し上げへンド（９４）か装着され−〔い
る。押し上げ／＼ラッド９４〉は、フレーム（５１）に
枢支したしバー（９５〉の先端のローラ（９６）を押し
上げる。レノ＜−（９５）の裏側には別のローラ（９７
〉が取り付けられており、このローラ（９７）が、月降
フ１．’　−ム（９１）の−側面から張り出した其方（
９８）を押し上げる。而してレバー（９５）は回動軸（
９９）の一端に固定きれるのであるが、回動軸（９９）
の他端にはもう１本のレバー（１００）が固定されてお
り、このレバー　（１００）の先端のローラ（１０１）
が、昇降フレーム（９１）の他側面から張り出した耳片
け０２）を押し上げる仕組みになっ又いる。これにより
、単一のエアシリンダ（９２）の力を昇降フレーム（９
１）の両側に均等に伝えることができる。

上記昇降フレーム（９１）に対し、ガイドレール構造（
５２）は固定されているが、可動ガイドレール構造（５
３）は、直線ガイド機構（１１０）（第２．３図）によ
り、スライド可能に支持きれている。スライド方向は基
板（１）の流れ方向と直角である。可動ガイドレール構
造（５３）から垂下したブラダ・ント（１１１）に、可
動ガイドレール構造（５３）のスライドを止めるブレー
キ機構（１１２）が支持されている。

ブレーキ機構（１１２＞はロッドの先端にブレーキパッ
ド（１１３）を取り付けたエアシリンダ（１１４＞によ
り構成される。ブレーキパッド（１１３）は常時は圧縮
ロイルハネ（１１５）の力により昇降フレーム（９１）
の下面に押し付けられ、可動ガイドレール構造〈５３）
をロックしている。エアシリンダ（１１４）が作動する
とブレーキパッド（１１３）は昇降フレーム（９１）か
ら引き離され、可動ガイドレール構造（５３）はスライ
ドできるようになる。

基板位置決め装置（３）において、基板流れ方向と直角
方向の位置決めはレール板（５５）が基板（１）をレー
ル板（５４）に押し付けることによって構成されるが、
基板流れ方向の位置決めについては別途方策を講じなけ
ればならない。以下その機構を説明する。

（１２０）は基板（１）の進行方向前縁（以下単に「前
縁」と呼ぶ）ないし進行方向後縁（以下単に「後縁」と
呼ぶ）を受け止める位置基準部材である。

位置基準部材（１２０＞はレバー（１２１）の先端に設
けられており、レバー＜１２１）は、ガイドレール構造
（５２）と平行する如く昇降フレーム（９１）に枢支き
れた回動軸（１２２＞（第１３図）に取り（−１けられ
ている。

レバー（１２１）の根元はすり割り部（１２３＞となっ
ており、締付ボルト（１２４＞を緩めれば回動軸（１２
２）の軸線方向にレバー（１２１＞をスライドさせるこ
とができる。レバー（１２１）の取付角度が狂わないよ
う、＝１４− レバー（１２１＞と回動軸（１２２）の間にはキー（１
２５）を介在さける。回動軸（１２２）は、その一端に
固定しｌ−レバー（１２６＞を図示しないばねが押すこ
とにより、レール板（５４）（５５）の間に１装置基準
部材（１２０）が顔を出ｒ角度位置に常時作詩されてい
る。回動Ｎ＋（１２２）の他端にはレバー様の動力伝達
部材＜１２７）を固定する。この動力伝達部材（１２７
＞は、ローデイ〉グブリｌシく５）の出力部材（２３）
から動きを伝えられることになる。進退アクチュエータ
（１９）、出力部材（２３）、動力伝達部材（１２７）
の組み合わけにより、位置基準部材駆動機構＜１２８）
が構成される。なお位置基準部材（１２０）の両面から
は図示しないはねで附勢されたハ、・パ一部材（１２９
）が突出している。ばねの力は弱いものであり、基板く
１〉が当たれば・＼ンペ一部材（１２９＞は容易に位置
基準面の中に引っ込む。

位置基準部材（１２０）に基板（１）を押し付ける押圧
部材は、昇降フレーノ、（９１）にではなく、フレーム
（５１）の非昇降部分に設置される。基板く１）の前縁
側と後縁側とに、第１の押圧部材（１４０）と第２の押
圧部１４’（１４１）を対称的に設ける。第１と第２の
抑圧部材（１４０）（１４１）は垂直な回動軸（１４２
＞（１４３）に固定されたレバー様部材であっ１、先端
には基板（１）に接触するローラ（１４４）（１４５）
を何する。これらの押圧部材（１４０）（１４１）は、
次のように構成される抑圧部材駆動機構（１４７）によ
って動かされる。すなわち回動軸（１４２Ｈ１４３）に
は、互に相手の方に突出するようにし・バー（１４８）
（１４９）を固定Ｊる（第１５図）。レバー（１４８）
（１４９）の先端にはローラ（１５０）（１５１）を固
定し、また引張コイルばね（１５２）（１５３）により
、レバー（１４８）は第１５図におい−（反時別まわり
に、レバー（１４９）は同じく時計まわりに、それぞれ
附勢されている。ローラ（１５０）（１５１）はフレー
ムク５１）に水平に支持したスライド【゛１ンド（１５
４＞（１５５）に当たる。スライドロッド（１５４）（
１５５）は圧縮コイルばね（１５６）（１５７）により
最大進出位置（抜止リング（１５８）が限界を定める）
に押し出される。基板位置決め装置（３）がローディン
グブリツレ（５）とアンローディングブリッジ（７）の
間のいわゆる原点に復帰すると、この位置に設けである
不動ストッパ（１５９）にスライド口・／ド（１５４）
（１５５）が当たって押され、レバー（１４８）（１４
９〉をばね（１５２＞（１５３）に抗して押し、押圧部
材（１４０）（１４１＞を位置基準部材（１２０）から
遠ざかる方向に回動させることになる。

図中（１７０）は接着剤ティスペ〕／すである。

本発明装置は次のように動作する。基板〈１〉の加工と
は、オ実施例の場合、接着剤デイスペンサ（１７０）が
降下して基板表面に接着剤を何着させる作業のことであ
るが、その作業時には昇降フレームク９１〉は降下位置
にあり、ガイドレール構造（５２）と可動ガイドレール
構造（５３）は、ローディングブリッジ（３）とアンロ
ーディングブリッジ（７）に干渉しない高跡に下がって
いる（第２図）。基板加工作業は、ガイドレール構造（
５２）と可動ガイドレール構造（５３）を下げると共に
、不動ストッパ（１５９）から基板位置決め装置（３）
を引き離して行なう。

このため抑圧部材駆動機構（１４７）のスライドロッド
（１５４）（１５５）は最大進出位置に移動しており、
押圧部材（１４０）（１４１）は位置基準部材（１２０
＞に接近し、基板（１）の位置決めを行なっている。図
示の例では、第２の抑圧部材（１４１）と位置基準部材
（１２０）との間に基板（１）を挾む設定となっている
。またレール板（５５）はばね（７４）の弾発力により
レール板（５４）に基板（１）を押し、付ける。これに
より、互に直交する２方向に関し基板位置決め装置（３
）と基板（１）の相対位置が決定される。

基板加工終了後、基板位置決め装置（３）は原点に復帰
する。原点に復帰すると、スライドロッド（１５４）（
１５５）が不動ストッパ（１５９）に当たって押きれ、
押圧部材（１４０）（１４１）は位置基準部材（１２０
）から離れる向きに回動し、基板（１）はその流れ方向
において拘束を解かれる。次いでエアシリンダ（９２）
が動作し、昇降フレーム（９１）を上昇させる。

抑圧部材＜１４０＞（１４１）は下に残り、基板（１）
の前後から消える。昇降フレーム（９１）の上昇に伴な
いガイドレール構造（５２）はローデイ〉ダブリ・ン°
ジ（５）とアンローディングブリッジ（７）の桁構造（
１０）　　’（４０）の間にはまり込んで３者−直線に
並び、可動ガイドレール構造（５３）は同じく可動桁構
造（１１）（４１）の間にはまり込んで３者−直線に並
ぶ。その際、レール板（５５）が可動桁構造（１１）（
４１）の間に入って行くにつれ、第９図から第１１図に
示すようにカム板（８２）とローラカムフォロワ（８１
）との間に接触が生じ、レール板（５５）ははね（７４
）に抗し移動せしめられて、基板（１）を釈放する。可
動ガイドレール構造（５３）が上昇の頂点に達した第１
１図の状態では、カム板（８２〉が連結ローラ（８０）
＜８ｏ）の間に嵌合し、可動ガイドレール構造（５３）
そのものが可動桁構造（１１）＜１４＞に連結する形に
なる。他方ガイドレール構造（５２）の側においては、
レバー（１２７）が出力部材（２３）に並び、出力部材
（２３）のローラ（２４）が動力伝達部材（１２７）の
上面に対向している。

ここで進退アクチュエータ（１９）の動作が生じる。第
１８図のよう（こ進退アクチュエータ（１９）がロッド
（２１〉を伸ばすとストッパ（１６）は下向きに回動し
、これに当たって止まっていた基板（１）から離れる。

出力部材（２３）も下向きに回動し、ローラ（２４）で
動力伝達部材（１２７）を押す。そのため回動軸（１２
２）が回動し、位置基準部材（１２０）は基板係止位置
から退避する（第６．１５図）、それと共につオーキン
グビーム（２６）が動き、基板位置決め装置（３）から
加工済の基板（１）をアンローディングブリッジ（７）
へと押し出し、また未加工の基板（１）をロープイング
ツリッジ（５）から基板位置決め装置へ移す。ウオーキ
ングビーム（２６）の動作中は、基板搬送ベル）　（１
５）は静止している。基板〈１〉の受け渡しを終えた後
、進退アクチュエータク１９〉はロッド（２１）を引っ
込め、ストッパ（１６）と位置基準部材（１２０）は旧
位置に復元する。それと同時に基板搬送ベル１−（１５
）の動きが再開し、新たな未加工基板（１）をストッパ
ク１６）のところまで運んで来るものである。アンロー
ディングブリッジ（７）の方の基板搬送ベルト（４６）
は常時運転しており、加工済基板（１）の一部がその上
にかかった時点で、摩擦力により引き込んで運び去って
いるものである。

次いでシリンダ（９２）が昇降フレーム（９１）を降下
きせる。カム板（８２）から力ｌ、フォロワローラ（８
１）が離れることにより、レール板（５５）ばばね（７
４）の力で進出し、基板（１）をレール板（５４）に押
しつける。昇降フし・−ム（９１）が降りきると押圧部
材（１４０）（１４１）が基板（１）の前後に出現する
ことになる。基板位置決め装置（３）が水平に移動し、
不動ストッパ（１５９）から離れて行くと、抑圧部材（
１４０＞（１４１）は位置基準部材＜１２０）に接近し
、第２の押圧部材（１４１）は基板（１）を後方から押
して位置基準部材（１２０）に押しつけ、基板（１）に
所定の基準位置を獲得させる。

基板（１）が後辺を基準辺とする場合は、位置基準部材
（１２０）の前に基板（１）を送り込む。今度は第１の
抑圧部材（１４０）が基板（１）の後縁を位置基準部材
（１２Ｆ）に押しつけることになる。レバー（１２１）
を回動軸（１２２＞に沿って移動させることにより、位
置基準部材（１２０）と押圧部材（１４０）（１４１）
の間隔を基板（１）の前後方向長さに応じて自由に設定
することができる。このように基板（１）の送り込み深
きを変えるため、ウオーキングビーム（２６）は、その
移動ストロークを変更できるようにしておく。また爪（
２８）（２９）も位置可変であるのが望ましい。

基板（１）の搬送幅は次のようにして調節する。

基板位置決め装置（３）を原点に置き、昇降フレーム（
９１）を上昇させると、前述のように連結ローラ（８０
）（８０）がカム板（８２〉を挾んで可動桁構造（１１
）（４１）と可動ガイドレール構造（５３〉は連結する
。ここでブレーキ機構（１１２）による可動ガイドレー
ル構造（５３）のロックを解除し、電動機（１２）（４
２）を駆動すると、可動桁構造（１１）（４１）と可動
ガイドレール構造（５３）は一体となって基板搬送幅を
広げる方向または狭まる方向に移動する。所望の搬送幅
が得られたところで電動機（１２）（４２）を停止ｉ５
、ブレーキ機構（１１２）により再び可動ガイドレール
構造（５３〉をロックすれば、以後その幅で基板（１）
を受け入れて搬送することになる。

（ト〉　発明の効果 本発明では、ローディングプリ７）側のストッパと基板
位置決め装置側の位置基準部材とを、ローディングブリ
ッジ側のアクチュエータをもって−２２＝ 同時に進退動作させるから、位置基準部材のだめのアク
チュエータを基板位置決め装置に設けずとも良く、基板
位置決め装置に対する配線・配管をそれだけ少なくでき
、基板位置決め装置の故障頻度を低下させられるもので
ある。

【図面の簡単な説明】

図は本発明の一実施例を示し、第１図は装置の概略構成
を示１斜視図、第２図及び第３図は基板位置決め装置の
要部断面正面図にして、異なる動作状態を示すもの、第
４図はガイドレール構造の昇降機構を示す斜視図、第５
図及び第６図は異なる動作状態の上面図、第７図及び第
８図は可動ガイドレール構造の断面図及び部分上面図、
第９図乃至第１１図は可動ガイドレール構造とカム板と
の相方作用を説明する側ｍ１図、第１２図はローディン
グブリッジ側可動桁構造の部分斜視図、第１３図は不動
側のガイドレール構造の斜視図、第１４図は基板位置決
め装置の拡大上面図、第１５図は同しく基板位置決め装
置の拡大上面図にして、要部を破断したもの、第１６図
は位置基準部材駆動機構の斜視図、第１７図及び第１８
図は位置基準部材駆動機構の動作説明図である。 （１）・・・基板、（３）・・・基板位置決め装置、（
５）・・・ローディングブリッジ、（７）・・・アンロ
ーディングブリッジ、（１５）・・・基板搬送ベルト、
（１６）・・・ストッパ、（１９〉・・・進退アクチュ
エータ、（１２０）・・・位置基準部材、（１２７）・
・・動力伝達部材、り２３）・・・出力部材。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）次の構成要素を備えた基板搬送装置。 （ａ）基板を支持した状態で水平方向に移動することに
   より、基板面の所望個所を加工位置に置く基板位置決め
   装置 （ｂ）前記基板位置決め装置に未加工の基板を送り込む
   ローディングブリッジ （ｃ）基板位置決め装置から加工済基板を受け取るアン
   ローディングブリッジ （ｄ）ローディングブリッジに設けられた基板搬送ベル
   ト （ｅ）同じくローディングブリッジに設けられた、前記
   基板搬送ベルトによって運ばれて来た基板を一時的に待
   機させておくためのストッパと、このストッパの進退ア
   クテュエータ （ｆ）基板位置決め装置における基板の進行方向位置基
   準となるものであって、ばねにより常時基板係止位置に
   進出せしめられる位置基準部材（ｇ）前記位置基準部材
   に連結した動力伝達部材 （ｈ）前記進退アクチュエータに連結すると共に、ロー
   ディングブリッジと基板位置決め装置が並んだ際、前記
   ストッパを退避させるための動力を前記動力伝達部材に
   伝えて位置基準部材をも退避させる出力部材。