JPH01208801A - グレース抵抗体の製造方法 - Google Patents
グレース抵抗体の製造方法Info
- Publication number
- JPH01208801A JPH01208801A JP63034256A JP3425688A JPH01208801A JP H01208801 A JPH01208801 A JP H01208801A JP 63034256 A JP63034256 A JP 63034256A JP 3425688 A JP3425688 A JP 3425688A JP H01208801 A JPH01208801 A JP H01208801A
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- Japan
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- resistance
- glass
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- glaze
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- Non-Adjustable Resistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、非酸化性雰囲気中での焼成で厚膜抵抗体を形
成するためのグレーズ抵抗材料に関するものである。
成するためのグレーズ抵抗材料に関するものである。
従来の技術
従来、混成集積回路装置の中で厚膜ハイブリッドＩＣの
分野では、配線導体にムｇ、ムｇＰｄ 。
分野では、配線導体にムｇ、ムｇＰｄ 。
ムｇＰｔ等のムｇ系の貴金属を、抵抗体ＫＲｕｏ□をそ
れぞれ用いた空気中焼成方法により回路を形成していた
。
れぞれ用いた空気中焼成方法により回路を形成していた
。
発明が解決しようとする課題
最近、厚膜ハイブリッドＩＣ分野では、高密度回路、高
速ディジタル回路への要望が高まっている。しかし、従
来の五ｇ系配線導体では、マイグレーション、回路イン
ピーダンスの問題があシ、この要望を十分に満たすこと
ができない。そこで。
速ディジタル回路への要望が高まっている。しかし、従
来の五ｇ系配線導体では、マイグレーション、回路イン
ピーダンスの問題があシ、この要望を十分に満たすこと
ができない。そこで。
Ｃｕ配配溝導体用いた厚膜ハイブリッドＩＣが有望視さ
れているが、Ｃｕ 配線導体は空気中で焼成すると酸化
するため、Ｃｕ配線導体に用いる抵抗体は非酸化性雰囲
気中で焼成して形成しなければならない。この条件を満
たし、実用可能な特性を持つグレーズ抵抗材料は、まだ
開発されていない。
れているが、Ｃｕ 配線導体は空気中で焼成すると酸化
するため、Ｃｕ配線導体に用いる抵抗体は非酸化性雰囲
気中で焼成して形成しなければならない。この条件を満
たし、実用可能な特性を持つグレーズ抵抗材料は、まだ
開発されていない。
従って１本発明の目的は、Ｃｕ配線導体と組合。
せることかできる非酸化性雰囲気中で焼成可能なグレー
ズ抵抗材料を提供することにある。
ズ抵抗材料を提供することにある。
課題を解決するための手段
上記目的を達成するための本発明のグレーズ抵抗材料は
、遷移金属、 Ｓｉ 、 Ｂ２０．を含有するガラスか
らなる。
、遷移金属、 Ｓｉ 、 Ｂ２０．を含有するガラスか
らなる。
作用
上記組成のグレーズ抵抗材料と樹脂バインダーを溶剤に
溶かしたビークルとで抵抗ペーストをつくり、これをセ
ラミック基板上に印刷し、非酸化性雰囲気中で８６０〜
９６０℃で焼成すれば、実用可能な特性を有する抵抗体
を得ることが出来る。
溶かしたビークルとで抵抗ペーストをつくり、これをセ
ラミック基板上に印刷し、非酸化性雰囲気中で８６０〜
９６０℃で焼成すれば、実用可能な特性を有する抵抗体
を得ることが出来る。
従って、Ｃｕ等の卑金属導体を形成しているセラミック
基板上に厚膜抵抗体を形成することが出来る。
基板上に厚膜抵抗体を形成することが出来る。
実施例
（実施例１）
次に、本発明の実施例だ係るグレーズ抵抗材料について
述べる。Ｂ２０．を含有するガラスとしては、ガラスム
（組成がＢ ２０．４０．０重量パーセント、ＢａＯ３
６，０重量パーセント ５ｉｎ２Ｂ、０重量パーセント
、ム１ｔ２ｏｙ、 ｅ、ｏ を量パーセント、ＣａＯ４
，０重敗パー セット、 Ｍｇ０４，０パーセント。
述べる。Ｂ２０．を含有するガラスとしては、ガラスム
（組成がＢ ２０．４０．０重量パーセント、ＢａＯ３
６，０重量パーセント ５ｉｎ２Ｂ、０重量パーセント
、ム１ｔ２ｏｙ、 ｅ、ｏ を量パーセント、ＣａＯ４
，０重敗パー セット、 Ｍｇ０４，０パーセント。
５ｒ０２．０重量パーセントから戎シ、軟化点が約６０
０℃のもの）を用いた。
０℃のもの）を用いた。
ガラスム、Ｔａ 、 Ｓｉを第１表て示す割合で配合し
たものをビークル（アクリル系樹脂をターピネオールに
溶かしたもの）と混練し、抵抗ペーストとした。この抵
抗ペーストを、Ｃｕ厚膜導体を電極とした９６％アルミ
ナ基板上Ｖｃ２６０メツシュのスクリーンを用いて印刷
し、１２０℃の温度で乾漂させてから、窒素ガスパージ
し、最高温度ｃａ ｏ Ｏ’ＣＫ加熱したトンネル炉を
通して焼成し。
たものをビークル（アクリル系樹脂をターピネオールに
溶かしたもの）と混練し、抵抗ペーストとした。この抵
抗ペーストを、Ｃｕ厚膜導体を電極とした９６％アルミ
ナ基板上Ｖｃ２６０メツシュのスクリーンを用いて印刷
し、１２０℃の温度で乾漂させてから、窒素ガスパージ
し、最高温度ｃａ ｏ Ｏ’ＣＫ加熱したトンネル炉を
通して焼成し。
抵抗体を形成した。この抵抗体の２６℃ておける面積抵
抗値と、２５℃と１２５℃の温度間で測定した抵抗温度
係数を第１表に示す。負荷寿命特性（１５０ｍｖ／−の
負荷電力を、周囲温度７０’Ｃで、１．６時間印加、Ｏ
，Ｓ時間除去を繰シ返し１０００時間経過した時の抵抗
値変化率で評価）。
抗値と、２５℃と１２５℃の温度間で測定した抵抗温度
係数を第１表に示す。負荷寿命特性（１５０ｍｖ／−の
負荷電力を、周囲温度７０’Ｃで、１．６時間印加、Ｏ
，Ｓ時間除去を繰シ返し１０００時間経過した時の抵抗
値変化率で評価）。
耐湿特性（周囲温度８５℃、相対湿度８６％中で周囲温
度１２６℃中で３０分間放置を繰シ返し。
度１２６℃中で３０分間放置を繰シ返し。
１０００時間経過した時の抵抗値変化率で評価）はいず
れも抵抗値変化率が±１に以内であった。
れも抵抗値変化率が±１に以内であった。
（以下余 白）
（実施例２）
実施例１で示したガラスム、遷移全属人（τｉ。
Ｖ 、 Ｃｒ 、 Ｍｎ 、 Ｆａ 、 Ｃｏ 、 ［
４、Ｚｒ 、 Ｗｂ 、 Ｍｏ。
４、Ｚｒ 、 Ｗｂ 、 Ｍｏ。
Ｔａ 、 Ｗを等量ずつ混合したもの＞、Ｓｉを第２表
に示す割合で配合したものをビークル（アクリル系樹脂
をターピネオールに溶かしたもの）と混練し、抵抗ペー
ストとした。この抵抗ペーストを実施例１と同様にして
、９６％アルミナ基板上に抵抗体を形成した。この抵抗
体の２６℃における面積抵抗値と、２６℃と１２６℃の
温度間で測定した抵抗温度係数を第２表に示す。負荷寿
命特性。
に示す割合で配合したものをビークル（アクリル系樹脂
をターピネオールに溶かしたもの）と混練し、抵抗ペー
ストとした。この抵抗ペーストを実施例１と同様にして
、９６％アルミナ基板上に抵抗体を形成した。この抵抗
体の２６℃における面積抵抗値と、２６℃と１２６℃の
温度間で測定した抵抗温度係数を第２表に示す。負荷寿
命特性。
耐湿特性、熱衝撃特性は実施例１と同様【測定し、抵抗
値変化率はいずれも±１′！Ｘ以内であった。
値変化率はいずれも±１′！Ｘ以内であった。
（以下余白）
（実施例３）
次に、Ｂ２Ｏ５を含有するガラスとして、実施例１で示
したガラスムとは組成が異なるガラスＢ（Ｂ２０．３５
．０重量パーセント、 ＢａＯ３５，０重量ｔ＜ −セ
フ ト、 ＳｉＯ８，０重量パーセント、ム１２０゜６
．０重量パーセント ’ｒａ２ｏ５４．０重量ｔ＜−セ
ット。
したガラスムとは組成が異なるガラスＢ（Ｂ２０．３５
．０重量パーセント、 ＢａＯ３５，０重量ｔ＜ −セ
フ ト、 ＳｉＯ８，０重量パーセント、ム１２０゜６
．０重量パーセント ’ｒａ２ｏ５４．０重量ｔ＜−セ
ット。
ＺｒＯ□４．０重量パーセント ＭｇＯ４，０重量パー
セント、ｃａｏａ、ｏ重量パーセントからなシ、軟化点
が約６８０℃のもの）を用いた。
セント、ｃａｏａ、ｏ重量パーセントからなシ、軟化点
が約６８０℃のもの）を用いた。
ガラスＢ、Ｔａ、Ｓｉを第３表に示す割合で配合したも
のをビークル（アクリル系樹脂をターピネオールに溶か
したもの）と混練し、抵抗ペーストとした。この抵抗ペ
ーストを実施例１と同様にして、９６％アルミナ基板上
に抵抗体を形成した。
のをビークル（アクリル系樹脂をターピネオールに溶か
したもの）と混練し、抵抗ペーストとした。この抵抗ペ
ーストを実施例１と同様にして、９６％アルミナ基板上
に抵抗体を形成した。
この抵抗体の２６℃における面積抵抗値と、２５℃と１
２６℃の温度間で測定した抵抗温度係数を第３表に示す
。負荷寿命特性、耐湿特性、熱衝撃特性は実施例１と同
様に測定し、抵抗値変化率はいずれも１１％以内であっ
た。
２６℃の温度間で測定した抵抗温度係数を第３表に示す
。負荷寿命特性、耐湿特性、熱衝撃特性は実施例１と同
様に測定し、抵抗値変化率はいずれも１１％以内であっ
た。
（実施例４）
実施例３で示したガラスＢ、遷移金属ム（τｉ。
Ｖ、Ｃｒ、Ｍｎ、 Ｆｅ、 Ｇｏ、 ｌｆｉ、 Ｚｒ
、Ｗｂ。
、Ｗｂ。
Ｍｏ、Ｔａ、Ｗを等量ずつ混合したもの）Ｓｌを第４表
に示す割合で配合したものをビークル（アクリル系樹脂
をターピネオールに溶かしたもの）と混練し、抵抗ペー
ストとした。この抵抗ペーストを実施例１と同様にして
、９６％アルミナ基板上に抵抗体を形成した。この抵抗
体の２６℃における面積抵抗値と、２６℃と１２６℃の
温度間で測定した抵抗温度係数を第４表に示す。負荷寿
命特性、耐湿特性、熱衝撃特性は実施例１と同様に測定
し、抵抗値変化率はいずれも±１％以内であった。
に示す割合で配合したものをビークル（アクリル系樹脂
をターピネオールに溶かしたもの）と混練し、抵抗ペー
ストとした。この抵抗ペーストを実施例１と同様にして
、９６％アルミナ基板上に抵抗体を形成した。この抵抗
体の２６℃における面積抵抗値と、２６℃と１２６℃の
温度間で測定した抵抗温度係数を第４表に示す。負荷寿
命特性、耐湿特性、熱衝撃特性は実施例１と同様に測定
し、抵抗値変化率はいずれも±１％以内であった。
（以下余 白）
上記実施例が示すように、本発明に係わるグレーズ抵抗
材料により、優れた特性を有する厚膜抵抗体を得ること
ができる。これは１本発明に係わるグレーズ抵抗材料が
８６０〜９６０℃で焼成される際に、遷移金属、Ｓｌ、
ガラス中の８２０５が相互作用を起こし、金属硼化物、
金属珪化物、金属酸化物、 ５ｉｎ２がガラスネットワ
ーク中に生成されるため、安定かつ微１皿な導電径路網
と耐俟性の高いガラスネットワークを形成することだ起
因している。
材料により、優れた特性を有する厚膜抵抗体を得ること
ができる。これは１本発明に係わるグレーズ抵抗材料が
８６０〜９６０℃で焼成される際に、遷移金属、Ｓｌ、
ガラス中の８２０５が相互作用を起こし、金属硼化物、
金属珪化物、金属酸化物、 ５ｉｎ２がガラスネットワ
ーク中に生成されるため、安定かつ微１皿な導電径路網
と耐俟性の高いガラスネットワークを形成することだ起
因している。
発明の効果
以上の説明から明らかなように１本発明て係わるグレー
ズ抵抗材料は、非酸化性雰囲気中の焼成によシ実用可能
な抵抗体を形成することが可能であるため、Ｃｕ等の卑
金属配線導体と共忙回路を形成することが出来る。従っ
て、本発明によればＣｕ配線厚膜ハイブリッドＩＣを実
現することが出来、厚膜ハイブリッドＩＣの高密度化、
高速ディジタル化に寄与出来る。
ズ抵抗材料は、非酸化性雰囲気中の焼成によシ実用可能
な抵抗体を形成することが可能であるため、Ｃｕ等の卑
金属配線導体と共忙回路を形成することが出来る。従っ
て、本発明によればＣｕ配線厚膜ハイブリッドＩＣを実
現することが出来、厚膜ハイブリッドＩＣの高密度化、
高速ディジタル化に寄与出来る。
Claims (4)
- （１）遷移金属、Ｓｌ，Ｂ＿２Ｏ＿３を含有するガラス
からなることを特徴とするグレーズ抵抗材料。 - （２）遷移金属は、Ｔｉ，Ｖ，Ｃｒ，Ｍｎ，Ｆｅ，Ｃｏ
，Ｚｒ，Ｎｂ，Ｍｏ，Ｔａ，Ｗの内の少なくとも１種以
上である請求項１記載のグレーズ抵抗材料。 - （３）Ｂ＿２Ｏ＿３を含有するガラスは，Ｂ＿２Ｏ＿３
と非酸化性雰囲気で焼成される際に金属化されにくい金
属酸化物とからなり、軟化点が５５０〜８００℃の範囲
のものである請求項１記載のグレーズ抵抗材料。 - （４）基板上に、請求項１記載のグレーズ抵抗材料から
なる抵抗体を形成して構成した混成集積回路装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3425688A JPH07105284B2 (ja) | 1988-02-17 | 1988-02-17 | グレース抵抗体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3425688A JPH07105284B2 (ja) | 1988-02-17 | 1988-02-17 | グレース抵抗体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01208801A true JPH01208801A (ja) | 1989-08-22 |
| JPH07105284B2 JPH07105284B2 (ja) | 1995-11-13 |
Family
ID=12409095
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3425688A Expired - Fee Related JPH07105284B2 (ja) | 1988-02-17 | 1988-02-17 | グレース抵抗体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07105284B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100209382B1 (en) * | 1995-10-25 | 1999-07-15 | Murata Manufacturing Co | Resistance material composition |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51108296A (en) * | 1975-03-19 | 1976-09-25 | Matsushita Electric Industrial Co Ltd | Teikososeibutsuno seizohoho |
| JPS5365996A (en) * | 1976-11-24 | 1978-06-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Resistance composite |
-
1988
- 1988-02-17 JP JP3425688A patent/JPH07105284B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51108296A (en) * | 1975-03-19 | 1976-09-25 | Matsushita Electric Industrial Co Ltd | Teikososeibutsuno seizohoho |
| JPS5365996A (en) * | 1976-11-24 | 1978-06-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Resistance composite |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100209382B1 (en) * | 1995-10-25 | 1999-07-15 | Murata Manufacturing Co | Resistance material composition |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07105284B2 (ja) | 1995-11-13 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |