JPH01214036A - テープキャリヤの検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） この発明は、テープキャリヤの検査装置に関する。

（従来の技術） 近年、時計・電卓・コンピュータメモリなどの小形化・
薄形化・軽量化実装として又、カメラ・ＯＡ機器など特
殊形状機器への実装の必要性から、ＩＣ実装はテープキ
ャリヤ方式が本格的実用段階に入ってきた。テープキャ
リヤは、ＩＣチップの電極配列に合わせたリードパター
ンが、スプロケットホールとデバイスホールを持つプラ
スチックフィルム上に連続的に形成されたものである。

このようなテープキャリヤの電気特性の検査を実行する
場合は、供給リールに巻装したテープキャリヤを検査部
に供給し、この検査部でテープキャリヤに実装されたＩ
Ｃ等の電子部品の電気特性の検査やテープキャリヤのリ
ードパターン等の導通チエツクを実行した後、収納リー
ルに検査済テープキャリヤを巻装していた。このような
検査の場合は、各リール単位で連続検査を実行するため
、各リールの検査毎に、供給リールおよび収納リールを
交換する必要がある。このようなリールの交換手段は、
オペレータがマニュアル操作で、空の供給リールおよび
検査済テープキャリヤを巻装した収納リールを夫々所定
の設置位置から取外し、この後、未検査のテープキャリ
ヤを巻装した供給リールおよび空の収納リールを夫々所
定の設置位置に設置していた。

（発明が解決しようとする課題） しかしながら、上記のようなテープキャリヤの検査装置
では、リール単位のテープキャリヤの検査終了毎に、オ
ペレータが供給リールおよび収納リールを人為的に交換
するため、ＦＡ化に相反することは勿論のこと、生産性
、稼働率並びに品質等の向上をはかることは極めて困難
である。

特に、オペレータの操作が増加すると、オペレータから
発生する塵がテープキャリヤに付着して、テープキャリ
ヤ等に悪影響を与える恐れがあり、歩留りの向上は望め
なかった。

この発明は上記点に対処してなされたもので、テープキ
ャリヤの検査装置の自動化により、稼働率、歩留り並び
に品質の向上がはかれ、生産性が良くなるという効果を
得るテープキャリヤの検査装置を提供するものである。

〔発明の構成〕

（課題を解決するための手段） この発明は、未検査のテープキャリヤを巻装したリール
と検査済のテープキャリヤを収納するリールの間に設け
られた検査部で上記テープキャリヤの電気的検査を実行
するテープキャリヤの検査装置において、上記テープキ
ャリヤのローダ・アンローダを設け、ローダの収納位置
から上記未検査のテープキャリヤを巻装したリールを所
定の設置位置に自動的搬送設定する手段と、検査済のテ
ープキャリヤを収納したリールを上記アンローダの所定
の収納位置に搬出する手段を具備したことを特徴とする
。

（作用効果） テープキャリヤのローダ・アンローダを設け、ローダの
収納位置から未検査のテープキャリヤを巻装したリール
を所定の設置位置に自動的搬送設定する手段と、検査済
のテープキャリヤを収納したリールを上記アンローダの
所定の収納位置に搬出する手段を具備したことにより、
装置自体の自動化に寄与し、稼働率１歩留り並びに品質
の向上がはかれ、生産性が良くなるという効果が得られ
る。

（実　施　例） 次に本発明テープキャリヤの検査装置の一実施例を図面
を参照して説明する。

この装置例えばプローブ装置■における被検査体である
テープキャリヤ■は、第３図に示すように、プラスチッ
クフィルム例えばポリイミドフィルム例えば幅３５ｍ厚
さ１２５ｕＭの長手方向の両側縁部（２ａ）に、所定の
一定間隔を設けて複数個同一大きさの長方形状から成る
貫通孔例えば角形スプロケットホール（３）が設けられ
ている。さらに、長手方向の中央帯位置即ち、ＩＣチッ
プ（イ）の実装位置にも、所定の一定間隔を設けて貫通
孔であるデバイスホール（図示せず）が設けられている
。このデバイスホールに対応して実装されるＩＣチップ
６）の各電極端子■が上記テープキャリヤ■上に印刷さ
れ、この電極パッド■と上記ＩＣチップに）の端子間を
接続する如く、リードパターン０が形成されている。こ
のようなテープキャリヤ■の上記各デバイスホールには
、半導体素子であるＩＣチップ（イ）がインナーリード
ボンディング法等により、装着され、この時、ＩＣチッ
プに）の各電極パッドと上記各対応するリードパターン
（０が配線されている。上記のようなＩＣチップ（イ）
を装着したテープキャリヤ■を検査するプローブ装置■
の構成を次に説明する。

このプローブ装置■は、第２図に示すように、未検査の
被検査体であるＩＣチップΩ）を実装したテープキャリ
ヤ■が供給用のリール■の中心軸に巻装されている。こ
の中心軸は図示しないモータの第１の回転軸（８）に係
合されていて、供給リール■が第１の回転軸（ハ）を中
心に所定の位置に設置されている。この供給リール■に
巻装されたテープキャリヤ■は、テープキャリヤ送り用
スプロケット０）及び検査部（１０）を介して検査済テ
ープキャリヤ■を収納する所定の位置に設けら九た第２
の回転軸（１１）を中心に回転自在に設けられた収納用
のリール（１２）の中心軸に巻かれるように構成されて
いる。この収納リール（１２）の第２の回転軸（１１）
は図示しないモータに係合されていて、所定の位置に収
納リール（１２）が設置されている。又、上記スプロケ
ット（９）は、図示しない駆動装置であるモータに連設
しており、このモータを正逆方向に選択的に回転可能と
することにより、所望の回転方向にスプロケット（９）
は、回転可能とされている。又、スプロケット■は、モ
ータごと中心軸方向にスライド自在に設けられたスライ
ド体（図示せず）に載置されている。このようなスプロ
ケット（９）には、テープキャリヤ■のスプロケットホ
ール■の対応した位置に突起例えばトラクター（１３）
が設けられている。このトラクター（１３）は、スプロ
ケットホール■に挿入し、かみ合う状態に設けられてい
て、トラクター（１３）の送り方向（１４）側と上記ス
プロケットホール■の送り方向（１４）側との形状が位
置合わせしながら送ることが可能な形状である。上記ス
プロケット■は、例えば検査部（１０）の前後に２系統
設けられている。この検査部（１０）には、第４図に示
すように、テープキャリヤ■の送り方向（１４）順にま
ず、テープキャリヤ■上方向に、ＩＴＶカメラ（１５）
が設置されている。このＩＴＶカメラ（１５）でパター
ン認識による画像処理アライメントが行なわれる。次に
、プローブユニット（１６）が配設されている。このプ
ローブユニット（１６）は、いわゆるプリント基板と呼
ばれている基板にテープキャリヤ■に形成された電極端
子■の配列パターンに対応する如く多数のプローブ体例
えばプローブ針（１７）が配列装着されている。各プロ
ーブ針（１７）の装着位置からは、夫々絶縁状態で図示
しないテスタに接続する如くプリント配線されている。

このようなプローブユニット（１６）は、図示しない昇
降機構に係合されていて、テープキャリヤ■に対して上
下方向に移動可能とされている。又、プローブユニット
（１６）との対向位置であり、テープキャリヤ■の下方
向には、テープキャリヤ■を載置固定するための載置台
（１８）が設置されている。

載置台（１８）の上面には、バキューム孔（図示せず）
が設けられていて、テープキャリヤ■を真空吸着可能と
されている。又、載置台（１８）は、図示しない昇降機
構に係合されていて、テープキャリヤ■に対して上下方
向に移動可能であり、さらにテープキャリヤ■の送り方
向（１４）に対して直角に水平方向にスライド自在とさ
れている。ここで、プローブユニット（１６）で各テー
プキャリヤ■を接続検査後には、マーキング装置（１９
）により不良品に印が付加される。この印は、例えば即
乾性のインクやマーキングテープなどを付加するか、パ
ンチングにより穴を開けても良い。

又、上記ＩＣチップ（イ）が装着接続されたテープキャ
リヤ■が、供給リール■及び収納リール（１２）に巻か
れる際、上記ＩＣチップに）及びテープキャリヤ■の保
護の目的で、テープキャリヤ■の間にスペーサ（２０）
が巻かれている。このスペーサ（２０）は、上記テープ
キャリヤ■と同じ幅例えば３５＋ｍに設けられており、
このスペーサ（２０）の両端即ち、上記テープキャリヤ
■が有するスプロケットホール■と対応する位置に突起
が表裏交互に設けられている。この突起によりテープキ
ャリヤ■を供給リール■及び収納リール（１２）に巻く
際に、上記ＩＣチップに）に他の物が接触することを防
止する構成になっている。又、スペーサ（２０）は、テ
ープキャリヤ■の移動に従って、テープキャリヤ■を離
れて供給リール■から例えば２箇所に設けられたガイド
ローラー（２１）を介して収納リール（１２）に巻き取
られる。この巻き取られた時点でスペーサ（２０）は、
再び検査済テープキャリヤ■と接続して保護をする構成
になっている。

上述したように、ＩＣチップに）を装着したテープキャ
リヤ■をリール・ツウ−・リール方式で搬送し、ＩＣチ
ップ（イ）の電気特性を検査する装置が構成されている
。上記のようなプローブ装置■で、供給リール■に巻装
された未検査のテープキャリヤ■を検査部（１０）で検
査しながら検査済のテープキャリヤ■を収納リール（１
２）に収納するが、すべての検査を終了した後は、空の
供給リール■および検査済のテープキャリヤ■を収納し
た収納リール（１２）を、次に検査すべき未検査のテー
プキャリヤ■を巻装した供給リール■と空の収納用のり
−ル（１２）に交換する必要がある。この供給リール■
と収納リール（１２）の交換について次に説明する。

未検査のテープキャリヤ■を巻装した供給用のリール■
をローダの複数本の収納容器（２２）に収納しておく、
この収納は、例えば板厚方向に所定の間隔を設けて位置
決めされ、取出し可能な如く供給リール■を積載したも
のである。この収納容器（２２）を所定の位置に設置す
る。この収納容器（２２）から供給リールωを１つずつ
取出し、供給リール■の中心軸をプローブ装置■の所定
の位置即ち、図示しないモータに係合した第１の回転軸
（８）に設置する搬送機構例えばロボットアーム（２３
）が設けられている。又、アンローダとして検査済のテ
ープキャリヤ■を収納した収納用リール（１２）を、第
２の回転軸（１１）から取外し、所定の位置に設けられ
た収納用リール（１２）を収納する収納容器（２４）ま
で搬送するロボットア−Ａ、（２５）が設けられている
。

さらに、検査終了後に空となった供給用のリール■をア
ンローダに搬送してもよいが１次の検査済のテープキャ
リヤ■を収納する収納用のリール（１２）として利用す
る場合に、供給用のリール■の設置された第１の回転軸
（ハ）の位置から、収納用のリールの設置されるべき第
２の回転軸（１１）の位置まで空のリールを搬送するス
ライドアーム（２６）が設けられている。上述したよう
に、１つのリールに巻装されたテープキャリヤ■を検査
後に、次の検査対象のテープキャリヤ■を巻装した供給
用のリール■を所定の位置に設置する手段を、空となっ
た供給用リール■を収納用リールとして使用するために
空の供給用リール■を所定の収納用のリール（１２）の
設置位置まで搬送する手段と、検査済テープキャリヤ■
を収納した収納用リール（１２）を所定の収納容器（２
４）に収納する手段が構成されている。

次に、上述したプローブ装置■によるテープキャリヤ■
に実装されたＩＣチップ（イ）の検査方法を説明する。

プローブ装置■は、プローブ装置ωに内蔵されているＣ
ＰＵに記憶されたプログラムに従って動作する。まず、
テープキャリヤ送り用スプロケット■）及び収納リール
（１２）が連動回転する。このことにより、同速度で検
査部（１０）にテープキャリヤ■を移送する。この検査
部（ｌＯ）に移送されたテープキャリヤ■を、ＩＴＶカ
メラ（１５）によりアライメントする。このアライメン
トは、ＩＴＶカメラ（１５）の撮像位置に設置されたテ
ープキャリヤ■を撮像し、この撮像出力と予め記憶され
ている基準データを比較する。いわゆるパターン認識を
行なう。このアライメント後、テープキャリヤ■を所定
量だけ送り方向（１４）にピッチ送りし、テープキャリ
ヤ■に実装されたＩＣチップに）の検査を実行する。

この検査は、送られたテープキャリヤ■の裏面を載置台
（１８）の上面において真空吸着し固定する。

この固定状態で、プローブユニット（１６）の各プロー
ブ体例えばプローブ針（１７）配列と、検査対象ＩＣチ
ップに）を実装したテープキャリヤ■の電極端子■は、
上記アライメントにより位置合わせされている１次に、
プローブユニット（１６）と載置台（１８）を上下方向
に相対的に移動する１例えばプローブユニット（１６）
を所定量下降する。このことにより、各プローブ針（１
７）とテープキャリヤ■の各電極端子■は、接触し、接
続状態となる。この状態で、テスタとプローブ針（１７
）は、導通状態のため、テスタでＩＣチップに）の電気
特性の検査を実行する。この検査後、プローブユニット
（１６）を所定量だけ上昇し、各プローブ針（１７）と
電極端子■を非接触状態とする。さらに、載置台（１８
）によるテープキャリヤ■の真空吸着固定を解除する。

この時、載置台（１８）を下降させて、載置台（１８）
とテープキャリヤ■を非接触状態とした後に、テープキ
ャリヤ■を所定量だけ送り方向（１４）にピッチ送りす
る。検査を終了したＩＣチップ（イ）は、検査結果に基
づいて、不良と判定された場合、マーキング装置！（１
９）でマークを付加する。

上記のように、供給リール■に巻装されたテープキャリ
ヤ■を検査して、検査したテープキャリヤを収納用のリ
ール（１２）にすべて収納した後に、次に検査すべきテ
ープキャリヤ■を巻装したり一ル■を所定の位置に設定
する。このことに関連した一連の動作を次に説明する。

この動作は第１図に示すように、アンローダとして検査
済のテープキャリヤ■を収納した収納用リール（１２）
をプローブ装置（υの第２の回転軸（１１）からロボッ
トアーム（２５）で取外し、収納容器（２４）の所定の
収納位置まで搬送する。

この動作と同時に、プローブ装置ωの空となった供給用
の第１の回転軸（へ）に設置されているり一ル■をスラ
イドアーム（２６）で、上記動作により検査済の収納用
のリール（１２）が取外された第２の回転軸（１１）に
設置する。さらに、これらの動作と同時にローダとして
未検査のテープキャリヤ■が巻装されたり−ル■が複数
収納されている収納容器（２２）から所定のリール■を
選択し、この選択したリール■をロボットアーム（２３
）により収納容器（２２）から取出し、上記スライドア
ームにより空の供給用のり−ル■が搬出された第１の回
転軸（８）に、次に検査すべきテープキャリヤ■を巻装
したり一ル■を設置する。

上記のように、次に検査すべきテープキャリヤを巻装し
たリールを自動的に所定の位置に設置し、検査済のテー
プキャリヤ■を収納した収納用のリール（１２）を搬出
する。この動作後、検査すべきテープキャリヤ■を図示
を省略したオートセットアツプ機構で所定の位置に設置
し、再び上記した検査動作を行なう。

この発明は上記実施例に限定されるものではなく、例え
ば上記実施例では、テープキャリヤに電子部品例えばＩ
Ｃチップを実装したものについて検査を実行したが、電
子部品等を装置していないテープキャリヤについて、テ
ープキャリヤに形成されたリードパターンの導通チエツ
クを実行してもかまわない。

又、他の実施例として第５図を参照して供給用リール及
び収納用のリールの交換について説明する。

第１のリール機構（２７）および第２のリール機構（２
８）が上記実施例と同様に設置されている。又、図示は
省略するが他の部分は上記実施例と同様とし、検査部に
おいては、テープキャリヤ■の送り方向が正逆方向どち
らにでも検査が可能なようにプローブユニットの前後に
ＩＴＶカメラおよびマーキング装置が夫々設置されてい
る。ここで、まず第１のリール機構（２７）に未検査の
テープキャリヤ■を巻装したリールを設置し、第２のリ
ール機構（２８）に空のリールを設置する。次に、テー
プキャリヤ■の検査を実行する。このことにより、第１
のリール機構（２７）に設置されたリールは空となり、
又、第２のリール機構（２８）に設置されたリールには
検査済のテープキャリヤ■が収納される。

次に、ロボットアーム（２９）等の搬送機構で、第２の
リール機構（２８）から検査済のテープキャリヤが収納
されたリールを取外し、５収納容器（３０）の所定の位
置に搬送する。この後、この収納容器（２８）もしくは
別系統の収納容器から未検査のテープキャリヤ■を巻装
したリールを上記ロボットアーム（２９）もしくは他の
搬送アームで搬出し、第２のリール機Ｗ（２８）に設置
する。ここで、第２のリール機構（２８）には未検査の
テープキャリヤ■を巻装したリールが設置されていて、
第１のリール機構（２７）には空のリールが設置されて
いる。このような状態で、上記した検査とは逆回転で各
リールを回転し、テープキャリヤ■を前回検査の送り方
向と比較して逆送りしながら検査を実行する。すると、
第１のリール機構（２７）に設置されたリールには検査
済のテープキャリヤ■を収納し、第２のリール機構（２
８）のリールは空となる。次に、第１のリール機構（２
７）においてリールの交換動作を行なう、このような動
作を繰り返して行なっても上記実施例と同様な効果が得
られる。

さらに、他の実施例を第６図を参照して説明する。未検
査のテープキャリヤ■を巻装したリール（３１）を並列
に複数例えば５機構スライド棒（３２）に設置する。こ
のスライド棒（３２）は、駆動機構例えばモータ（３３
）に係合していて、横方向にスライド可能とされている
。又、空のリール（３４）が並列に複数例えば５機構が
他のモータ（３５）に係合されたスライド棒（３６）に
設置されていて横方向にスライド可能とされている。こ
こで、まず各スライド棒（３２）　（３６）をスライド
して端の各リール（３１）（３４）を検査部（１０）の
対応する位置に設置する。この状態で、夫々別系統のモ
ータにより各リール（３１）（３４）および図示しない
スプロケットを回転して、リール（３１）から未検査の
テープキャリヤ■を検査部（１０）に搬送し、検査後に
リール（３４）に収納する。

次に、このリール（３１）に巻装されたテープキャリヤ
■をすべで検査後に、各モータ（３３）　（３５）を駆
動して各スライド棒（３２）　（３６）を同一方向に所
定の量だけ移動する。ここで再び検査動作を行なう、こ
のようにしても上記実施例と同様な効果が得られる。

さらに又、他の実施例を第７図を参照して説明する。第
１の実施例と同様に、各リール（３７）が夫々用１の回
転軸（３８ａ）と第２の回転軸（３８ｂ）に設置され、
各ロボットアーム（３９）　（４０）およびスライドア
ーム（４１）が設けられている。ここで、未検査のテー
プキャリヤを巻装したリール（３７）を積載した収納容
器（４２）が複数ベルトコンベア（４３）に所定の間隔
を設けて設置されている。このように構成された状態で
順次検査を実行する６次に、この検査におけるリールの
流れにそって説明する。未検査のテープキャリヤ■を巻
装したリール（３７）は収納容器（４２）に積載されて
いる。まず、ロボットアーム（３９）によりリール（３
７）を所定の第１の回転軸（３８ａ）に設置する。　こ
こで、テープキャリヤ■の検査を実行することによりリ
ール（３７）は空となる。

この空のリール（３７）をスライドアームで搬送し。

収納用のリール（３７）として所定の第２の回転軸（３
８ｂ）に設置する。　この後、次のリール（３７）に巻
装されていたテープキャリヤ■を検査後に収納する。こ
の検査済のテープキャリヤ■を収納したリール（３７）
をロボットアーム（４０）により空の収納容器（４２ａ
）に収納する。上記のような動作をくり返していると、
未検査のテープキャリヤ■を巻装したリール（３７）を
収納した収納容器（４２）が空となり、又、検査済のテ
ープキャリヤを収納したリール（３７）を収納した収納
容器（４２ａ）が満杯となる。　ここで、ベルトコンベ
ア（４３）を所定量だけ送り方向（４４）に移送する。

このことにより、次にひかえていた未検査用の収納容器
（４２）がロボットアーム（３９）の搬出位置に設置さ
れ、又、空となった収納容器（４２ａ）が検査済のテー
プキャリヤ■を収納したリール（３８）の収納用として
所定の位置に設置される。ここで再び上記動作をくり返
す。この時、品種の異なるテープキャリヤを検査する場
合でも、図示しないプローブユニット自動交換装置によ
りプローブユニットを自動的に交換することにより対応
できる。上記のように構成すると完全なオートメーショ
ン化が実現できる。

上記した何れの実施例も予めプログラムをメモリに記憶
し、総て自動的に行う、この際、各り一ルにＩＤコード
を設けることはさらに検査の自動化に好適である。ＩＤ
コードは各ＩＣチップに付してもよい、上述したように
これらの実施例によれば、装置自体の自動化に寄与し、
稼働率、歩留り並びに品質の向上がはかれ、生産性が良
くなるという効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を説明するための各リールの
交換を説明するための図、第２図は第１図のプローブ装
置の図、第３図は第１図のテープキャリヤの説明図、第
４図は第２図の検査部の拡大図、第５図、第６図、第７
図は第１図の他の実施例の説明図である。 １・・・プローブ装置　　　２・・・テープキャリヤ７
・・・供給リール　　　　１０・・・検査部１２・・・
収納リール　　　　２２．２４・・・収納容器２３、２
５・・・ロボットアーム ２６・・・スライドアーム

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　未検査のテープキャリヤを巻装したリールと検査済の
   テープキャリヤを収納するリールの間に設けられた検査
   部で上記テープキャリヤの電気的検査を実行するテープ
   キャリヤの検査装置において、上記テープキャリヤのロ
   ーダ・アンローダを設け、ローダの収納位置から上記未
   検査のテープキャリヤを巻装したリールを所定の設置位
   置に自動的搬送設定する手段と、検査済のテープキャリ
   ヤを収納したリールを上記アンローダの所定の収納位置
   に搬出する手段を具備したことを特徴とするテープキャ
   リヤの検査装置。