JPH01219606A - 光ディスク検査装置 - Google Patents
光ディスク検査装置Info
- Publication number
- JPH01219606A JPH01219606A JP4715188A JP4715188A JPH01219606A JP H01219606 A JPH01219606 A JP H01219606A JP 4715188 A JP4715188 A JP 4715188A JP 4715188 A JP4715188 A JP 4715188A JP H01219606 A JPH01219606 A JP H01219606A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- data
- optical disk
- measured
- optical disc
- measurement
- Prior art date
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- Pending
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、光ディスクにおける偏心や振れなどの機械特
性を測定する光ディスク検査装置に関するものである。
性を測定する光ディスク検査装置に関するものである。
従来、この種の光ディスク検査装置においては、光ディ
スクの案内溝にトラッキングサーボおよびフォーカスサ
ーボをかけ、光ヘッド（集光レンズ）を光ディスクの動
きに追従させて、光ディスクの読取り状態を維持すると
ともに、このときの集光レンズの動きを変位センサによ
り検出して、偏心量および振れ量に対応した出力信号を
得ている。
スクの案内溝にトラッキングサーボおよびフォーカスサ
ーボをかけ、光ヘッド（集光レンズ）を光ディスクの動
きに追従させて、光ディスクの読取り状態を維持すると
ともに、このときの集光レンズの動きを変位センサによ
り検出して、偏心量および振れ量に対応した出力信号を
得ている。
また、変位センナの出力信号をＡ／Ｄ変換器を介して読
取り、データ処理を行うことにより、信心加速度および
振れ加速度を求めている。
取り、データ処理を行うことにより、信心加速度および
振れ加速度を求めている。
第２図は従来の光ディスク検査装置の一例を示す構成図
である１図において、１は光ディスク、２は光ディスク
１を支持し、一定の速度で回転させるスピンドルモータ
、３は光ディスク１の記録面をトレースする光ヘッド、
４は光ヘッド３を光ディスク１の半径方向に移動させる
送りｍ構、５はトラ・ｙキングサーボ回路やフォーカス
サーボ回路を含む制御演算回路である。また、３１はレ
ーザダイオード、３２はレーザダイオード３１から出射
されたレーザ光を収束させ、光ディスク１の表面に照射
する集光レンズ、３３はサーボ回路の働きに応じて集光
レンズ３２をトラッキング方向およびフォーカス方向に
移動させるレンズアクチュエータ、３４はトラッキング
エラーを検出するトラッキングセンサ、３５はフォーカ
スエラーを検出するフォーカスセンサ、３６は集光レン
ズ３２におけるトラッキング方向およびフォーカス方向
の変位量を検出する変位センサである。
である１図において、１は光ディスク、２は光ディスク
１を支持し、一定の速度で回転させるスピンドルモータ
、３は光ディスク１の記録面をトレースする光ヘッド、
４は光ヘッド３を光ディスク１の半径方向に移動させる
送りｍ構、５はトラ・ｙキングサーボ回路やフォーカス
サーボ回路を含む制御演算回路である。また、３１はレ
ーザダイオード、３２はレーザダイオード３１から出射
されたレーザ光を収束させ、光ディスク１の表面に照射
する集光レンズ、３３はサーボ回路の働きに応じて集光
レンズ３２をトラッキング方向およびフォーカス方向に
移動させるレンズアクチュエータ、３４はトラッキング
エラーを検出するトラッキングセンサ、３５はフォーカ
スエラーを検出するフォーカスセンサ、３６は集光レン
ズ３２におけるトラッキング方向およびフォーカス方向
の変位量を検出する変位センサである。
このように構成された光ディスク検査装置においては、
前記したように、光ディスク１の案内溝にトラッキング
サーボおよびフォーカスサーボをかけ、集光レンズ３２
を光ディスク１の動きに追従させて、読取り状態を維持
している。したがって、このときの集光レンズ３２の動
きは案内溝の偏心量および光ディスク１の振れ量に対応
しているので、この集光レンズ３２の動きを変位センサ
３６により検出するとともに、これをスピンドルモータ
２の回転角に同期させて信号処理すれば、光ディスク１
の偏心量および振れ量を測定することができる。また、
この偏心量および振れ量をもとにして、偏心加速度およ
び振れ加速度を算出することができる。
前記したように、光ディスク１の案内溝にトラッキング
サーボおよびフォーカスサーボをかけ、集光レンズ３２
を光ディスク１の動きに追従させて、読取り状態を維持
している。したがって、このときの集光レンズ３２の動
きは案内溝の偏心量および光ディスク１の振れ量に対応
しているので、この集光レンズ３２の動きを変位センサ
３６により検出するとともに、これをスピンドルモータ
２の回転角に同期させて信号処理すれば、光ディスク１
の偏心量および振れ量を測定することができる。また、
この偏心量および振れ量をもとにして、偏心加速度およ
び振れ加速度を算出することができる。
しかしながら、このような光ディスク１の機械特性を測
定する光ディスク検査装置においては、スピンドルモー
タ２の軸振れはそのまま測定誤差として現れてしまう、
このため、従来の装置において測定精度を上げるために
は、スピンドルモータ２としてエアスピンドルモータの
ごとき軸振れの極めて少ないモータを使用しなければな
らず、スピンドルモータ２を含む回転駆動系が高価なも
のになってしまっていた。
定する光ディスク検査装置においては、スピンドルモー
タ２の軸振れはそのまま測定誤差として現れてしまう、
このため、従来の装置において測定精度を上げるために
は、スピンドルモータ２としてエアスピンドルモータの
ごとき軸振れの極めて少ないモータを使用しなければな
らず、スピンドルモータ２を含む回転駆動系が高価なも
のになってしまっていた。
本発明は、上記のような従来装置の欠点をなくし、光デ
ィスクを支持し、回転させるスピンドルモータとして、
比較的軸振れの大きなモータを使用した場合にも、高い
測定精度を維持することのできる光ディスク検査装置を
簡単な構成により実現することを目的としたものである
。
ィスクを支持し、回転させるスピンドルモータとして、
比較的軸振れの大きなモータを使用した場合にも、高い
測定精度を維持することのできる光ディスク検査装置を
簡単な構成により実現することを目的としたものである
。
本発明の光ディスク検査装置は、サーボｍａｒを使用し
て集光レンズをトラッキング方向およびフォーカス方向
に変位させ光ディスクの読取り状態を維持するとともに
このときの集光レンズの変位量から光ディスクにおける
偏心および振れの大きさなどを測定するようにした光デ
ィスク検査装置において、所定の測定範囲を複数回繰返
し測定するとともに、各測定点における測定データをア
ベレージングして取り出すようにしたものである。
て集光レンズをトラッキング方向およびフォーカス方向
に変位させ光ディスクの読取り状態を維持するとともに
このときの集光レンズの変位量から光ディスクにおける
偏心および振れの大きさなどを測定するようにした光デ
ィスク検査装置において、所定の測定範囲を複数回繰返
し測定するとともに、各測定点における測定データをア
ベレージングして取り出すようにしたものである。
また、必要に応じて、予め特性の分かつている基準ディ
スクを測定することにより補正データを作り、この補正
データを上記の測定データから減算するようにしたもの
である。
スクを測定することにより補正データを作り、この補正
データを上記の測定データから減算するようにしたもの
である。
このように、所定の測定範囲を複数回繰返し測定すると
ともに、得られた測定信号をアベレージングすると、ベ
アリングのガタによる軸振れのように測定信号中にラン
ダムに現われるノイズは、アベレージングにより低減さ
れるので、光ディスクを支持し、回転させるスピンドル
モータとして、ベアリング型スピンドルモータのごとき
比較的軸振れの大きなモータを使用した場合にも、高い
測定精度を維持することができる。さらに、基準ディス
クを使用して補正データを作り、これをアベレージング
した測定データから減算すると、スピンドルモータにお
ける軸芯の傾きなどのように回転角に依存する周期性を
持ったノイズを除去することができ、より高精度の測定
を行なうことができる。
ともに、得られた測定信号をアベレージングすると、ベ
アリングのガタによる軸振れのように測定信号中にラン
ダムに現われるノイズは、アベレージングにより低減さ
れるので、光ディスクを支持し、回転させるスピンドル
モータとして、ベアリング型スピンドルモータのごとき
比較的軸振れの大きなモータを使用した場合にも、高い
測定精度を維持することができる。さらに、基準ディス
クを使用して補正データを作り、これをアベレージング
した測定データから減算すると、スピンドルモータにお
ける軸芯の傾きなどのように回転角に依存する周期性を
持ったノイズを除去することができ、より高精度の測定
を行なうことができる。
第１図は本発明の光ディスク検査装置の一実施例を示す
構成図である０図は、前記第２図における制御演算回路
５の部分の構成例を示すものである０図において、５１
はアナログ・ディジタル変換器、５２はアベレージング
回路、５３は補正回路、５４はメモリである。アベレー
ジング回路５２は加算および記憶する機能を有し、アナ
ログ・ディジタル変換器５１を介して測定信号Ｓｔを取
り込むとともに、各測定点に対応した測定データを順次
アベレージングする。また、メモリ５４には予め特性の
分っている基準ディスクを測定することにより得られた
補正データＤＣが記憶されている、すなわち、基準ディ
スクの特性と測定結果との差が、測定系における誤差分
であり、補正データＤＣはこの誤差分を除去するように
定められる。補正回路５３はアベレージングされた測定
データＤＭから補正データＤＣを減算する。補正された
測定データＤＯはデータ処理部（図示せず）に送られ、
偏心量や振れ量などの算出に利用される。
構成図である０図は、前記第２図における制御演算回路
５の部分の構成例を示すものである０図において、５１
はアナログ・ディジタル変換器、５２はアベレージング
回路、５３は補正回路、５４はメモリである。アベレー
ジング回路５２は加算および記憶する機能を有し、アナ
ログ・ディジタル変換器５１を介して測定信号Ｓｔを取
り込むとともに、各測定点に対応した測定データを順次
アベレージングする。また、メモリ５４には予め特性の
分っている基準ディスクを測定することにより得られた
補正データＤＣが記憶されている、すなわち、基準ディ
スクの特性と測定結果との差が、測定系における誤差分
であり、補正データＤＣはこの誤差分を除去するように
定められる。補正回路５３はアベレージングされた測定
データＤＭから補正データＤＣを減算する。補正された
測定データＤＯはデータ処理部（図示せず）に送られ、
偏心量や振れ量などの算出に利用される。
前記したように、測定信号Ｓｉに含まれるノイズ成分に
は、スピンドルモータにおけるベアリングのがたによる
軸振れのように、測定信号Ｓｔの中にランダムに現われ
るノイズと、軸芯の傾きなどのように回転角に依存する
周期性を持ったノイズとがあるが、ランダムなノイズに
対しては、測定信号Ｓｔをアベレージングすることによ
り低減することができ、また、周期性を持ったノイズに
対しては、補正データＤＣを減算することにより除去す
ることができ、被測定光ディスクの特性にのみ対応した
測定データＤｏを得ることができる。
は、スピンドルモータにおけるベアリングのがたによる
軸振れのように、測定信号Ｓｔの中にランダムに現われ
るノイズと、軸芯の傾きなどのように回転角に依存する
周期性を持ったノイズとがあるが、ランダムなノイズに
対しては、測定信号Ｓｔをアベレージングすることによ
り低減することができ、また、周期性を持ったノイズに
対しては、補正データＤＣを減算することにより除去す
ることができ、被測定光ディスクの特性にのみ対応した
測定データＤｏを得ることができる。
このように、測定信号Ｓ１に対してアベレージングおよ
び補正データの減算を行ない、ノイズの影響を低減する
と、スピンドルモータとしてエアスピンドルモータに比
べて軸振れが一桁以上も悪いベアリング型のモータを使
用しても、高い測定精度を維持することができ、回転駆
動系を安価に構成することができる。
び補正データの減算を行ない、ノイズの影響を低減する
と、スピンドルモータとしてエアスピンドルモータに比
べて軸振れが一桁以上も悪いベアリング型のモータを使
用しても、高い測定精度を維持することができ、回転駆
動系を安価に構成することができる。
なお、上記の説明においては、アベレージング回路５２
を加算および記憶の機能により実現する場合を例示した
が、アベレージングするデータ数を適当に選ぶことによ
り、データ総数による割り算を省略することができる０
例えば、ｍＶオーダの入力信号を千個アベレージングし
、その出力をＶオーダで読み取るようにすれば、レンジ
の変更のみで割り算を省略することができる。また、上
記の説明においては、変位センサ３６の出力を測定信号
Ｓｔとして測定する場合を例示したが、測定信号Ｓｉと
してサーボエラー信号を利用することもできる。
を加算および記憶の機能により実現する場合を例示した
が、アベレージングするデータ数を適当に選ぶことによ
り、データ総数による割り算を省略することができる０
例えば、ｍＶオーダの入力信号を千個アベレージングし
、その出力をＶオーダで読み取るようにすれば、レンジ
の変更のみで割り算を省略することができる。また、上
記の説明においては、変位センサ３６の出力を測定信号
Ｓｔとして測定する場合を例示したが、測定信号Ｓｉと
してサーボエラー信号を利用することもできる。
以上説明したように、本発明の光ディスク検査装！では
、サーボ機構を使用して集光レンズをトラッキング方向
およびフォーカス方向に変位させ光ディスクの読取り状
態を維持するとともにこのときの集光レンズの変位量か
ら光ディスクにおける偏心および振れの大きさなどを測
定するようにした光ディスク検査装置において、所定の
測定範囲を複数回繰返し測定するとともに、各測定点に
おける測定データをアベレージングして取り出し、また
、必要に応じて、予め特性の分かつている基準ディスク
を測定することにより補正データを作り、この補正デー
タを上記の測定データから減算するようにしているので
、ベアリングのガタによる軸振れのように測定信号中に
ランダムに現われるノイズを、アベレージングにより低
減することができ、光ディスクを支持し、回転させるス
ピンドルモータとして、比較的軸振れの大きなモータを
使用した場合にも、高い測定精度を維持することのでき
る光ディスク検査装置を簡単な構成により実現すること
ができる。
、サーボ機構を使用して集光レンズをトラッキング方向
およびフォーカス方向に変位させ光ディスクの読取り状
態を維持するとともにこのときの集光レンズの変位量か
ら光ディスクにおける偏心および振れの大きさなどを測
定するようにした光ディスク検査装置において、所定の
測定範囲を複数回繰返し測定するとともに、各測定点に
おける測定データをアベレージングして取り出し、また
、必要に応じて、予め特性の分かつている基準ディスク
を測定することにより補正データを作り、この補正デー
タを上記の測定データから減算するようにしているので
、ベアリングのガタによる軸振れのように測定信号中に
ランダムに現われるノイズを、アベレージングにより低
減することができ、光ディスクを支持し、回転させるス
ピンドルモータとして、比較的軸振れの大きなモータを
使用した場合にも、高い測定精度を維持することのでき
る光ディスク検査装置を簡単な構成により実現すること
ができる。
第１図は本発明の光ディスク検査装置の一実施例を示す
構成図、第２図は従来の光ディスク検査装置の一例を示
す構成図である。 １・・・・・・光ディスク、２・・・・・・スピンドル
モータ、３・・・・・・光ヘッド、３１・・・・・・レ
ーザダイオ−°ド、３２・・・・・・集光レンズ、３３
・・・・・・レンズアクチュエータ、３４・・・・・・
トラッキングセンサ、３５・・・・・・フォーカスセン
サ、３６・・・・・・変位センサ、４・・・・・・送り
機構、５・・・・・・制御演算回路、５１・・・・・・
アナログ・ディジタル変換器、５２・・・・・・アベレ
ージング回路、５３・・・・・・補正回路、５４・・・
・・・メモリ。
構成図、第２図は従来の光ディスク検査装置の一例を示
す構成図である。 １・・・・・・光ディスク、２・・・・・・スピンドル
モータ、３・・・・・・光ヘッド、３１・・・・・・レ
ーザダイオ−°ド、３２・・・・・・集光レンズ、３３
・・・・・・レンズアクチュエータ、３４・・・・・・
トラッキングセンサ、３５・・・・・・フォーカスセン
サ、３６・・・・・・変位センサ、４・・・・・・送り
機構、５・・・・・・制御演算回路、５１・・・・・・
アナログ・ディジタル変換器、５２・・・・・・アベレ
ージング回路、５３・・・・・・補正回路、５４・・・
・・・メモリ。
Claims (1)
- サーボ機構を使用して集光レンズをトラッキング方向
およびフォーカス方向に変位させ光ディスクの読取り状
態を維持するとともにこのときの集光レンズの変位量か
ら光ディスクにおける偏心および振れの大きさなどを測
定するようにした光ディスク検査装置において、所定の
測定範囲を複数回繰返し測定するとともに、各測定点に
おける測定データをアベレージングして取り出すことを
特徴とする光ディスク検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4715188A JPH01219606A (ja) | 1988-02-29 | 1988-02-29 | 光ディスク検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4715188A JPH01219606A (ja) | 1988-02-29 | 1988-02-29 | 光ディスク検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01219606A true JPH01219606A (ja) | 1989-09-01 |
Family
ID=12767092
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4715188A Pending JPH01219606A (ja) | 1988-02-29 | 1988-02-29 | 光ディスク検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01219606A (ja) |
-
1988
- 1988-02-29 JP JP4715188A patent/JPH01219606A/ja active Pending
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