JPH01220124A - 垂直磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
垂直磁気記録媒体の製造方法Info
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- JPH01220124A JPH01220124A JP4449188A JP4449188A JPH01220124A JP H01220124 A JPH01220124 A JP H01220124A JP 4449188 A JP4449188 A JP 4449188A JP 4449188 A JP4449188 A JP 4449188A JP H01220124 A JPH01220124 A JP H01220124A
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- JP
- Japan
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- film
- shutter
- target
- magnetic recording
- long
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- Pending
Links
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Landscapes
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は垂直＄気記録媒体の製造方法に関するものであ
る。
る。
近年、磁気記録の高密度化の要求にともない膜厚方向に
記録再生を行なう、いわゆる垂直磁気記録方式が注目さ
れ、その実用化に対して各方面からの研究がなされてい
る。
記録再生を行なう、いわゆる垂直磁気記録方式が注目さ
れ、その実用化に対して各方面からの研究がなされてい
る。
垂直磁気記録媒体において高記録密度化を達成するため
には極薄膜でしかも垂直配向の良い膜を得ることが必要
である。
には極薄膜でしかも垂直配向の良い膜を得ることが必要
である。
従来、この垂直磁気記録媒体の作製は、第５図に示すよ
うに、長尺フィルム５を巻出しロール１から巻取シロー
ル３に巻取られる間に、フィルム送りを一時停止し、ア
ルゴン雰囲気下でスパッタを行なうことを操シ返す。こ
のようにしてできた膜を第６図に示す。
うに、長尺フィルム５を巻出しロール１から巻取シロー
ル３に巻取られる間に、フィルム送りを一時停止し、ア
ルゴン雰囲気下でスパッタを行なうことを操シ返す。こ
のようにしてできた膜を第６図に示す。
長尺フィルムに断続的にスパッタを行なう場合。
スパッタ開始時に、アルゴン圧力を上げることによって
、放電を開始させている。すると、スフ４ツタ初期に、
アルゴン圧力の高いところで成膜された部分は、磁気異
方性が低く配向が悪いという欠点があった。
、放電を開始させている。すると、スフ４ツタ初期に、
アルゴン圧力の高いところで成膜された部分は、磁気異
方性が低く配向が悪いという欠点があった。
またこの方法では放電も断続的に行なわねばならず非能
率的でちるという欠点もちった。
率的でちるという欠点もちった。
そこで２本発明の技術的課題は、これらの欠点に鑑み磁
気特性の優れた垂直磁気記録媒体を効率良く製造する方
法を提供することである。
気特性の優れた垂直磁気記録媒体を効率良く製造する方
法を提供することである。
本発明によれば、長尺の高分子基板フィルム上に磁性垂
直磁気記録用フレキシブルディスクを作製する方法にお
いて、ターゲットと基板フィルム即ち、フィルムとター
ゲットの間にシャッターを設置し２％性の悪い初期層を
シャッターにスパッタし、また−度放電をさせたならば
シャッターの開閉を用いて断続的に放電を止めずにスパ
ッタすることを特徴とするものである。
直磁気記録用フレキシブルディスクを作製する方法にお
いて、ターゲットと基板フィルム即ち、フィルムとター
ゲットの間にシャッターを設置し２％性の悪い初期層を
シャッターにスパッタし、また−度放電をさせたならば
シャッターの開閉を用いて断続的に放電を止めずにスパ
ッタすることを特徴とするものである。
次に本発明の詳細な説明する。
第１図に示すとおシカターゲット４とフィルム５の間に
設置したシャッター７は開閉することが出来、ターゲッ
ト４から飛来したスパッタ粒子を遮ることもそのままフ
ィルム５に到達させることもできる。
設置したシャッター７は開閉することが出来、ターゲッ
ト４から飛来したスパッタ粒子を遮ることもそのままフ
ィルム５に到達させることもできる。
長弱フィルム５のス・ぐツタされる部分がターゲット４
上に来た時にフィルム送シを停止する。次にシャッター
７を閉め放電を開始する。一定時間がたったならばシャ
ッター７を開はフィルム５に膜付けを行なう。ス・２ツ
タ時間が終了したならばシャッター７を閉める。この時
放電は行なったままである。シャッター７を閉めた後フ
ィルム５を送り９次ぎのスパッタ部分がターゲット４上
に来た時にフィルム送シを停止する。そしてシャッター
７を開はフィルム５に膜付けを行なう。以上の操作を繰
シ返し長尺フィルム５に断続的に膜付けを行なう。
上に来た時にフィルム送シを停止する。次にシャッター
７を閉め放電を開始する。一定時間がたったならばシャ
ッター７を開はフィルム５に膜付けを行なう。ス・２ツ
タ時間が終了したならばシャッター７を閉める。この時
放電は行なったままである。シャッター７を閉めた後フ
ィルム５を送り９次ぎのスパッタ部分がターゲット４上
に来た時にフィルム送シを停止する。そしてシャッター
７を開はフィルム５に膜付けを行なう。以上の操作を繰
シ返し長尺フィルム５に断続的に膜付けを行なう。
このようにして作製した膜の面内磁化曲線を第２図に示
す。（、）は従来の方法で作製した膜の磁化曲線であり
（ｂ）は本発明によシ作製した膜の磁化曲線である。（
ａ）は面内磁化成分が多く磁気異方性が小さいのに対し
、（ｂ）では面内磁化成分がほとんどなく磁気異方性も
大きい。
す。（、）は従来の方法で作製した膜の磁化曲線であり
（ｂ）は本発明によシ作製した膜の磁化曲線である。（
ａ）は面内磁化成分が多く磁気異方性が小さいのに対し
、（ｂ）では面内磁化成分がほとんどなく磁気異方性も
大きい。
磁気異方性と関連するΔθ５ｏの膜厚依存性を第３図に
示す。（イ）は従来の方法によって作製された場合であ
シ（ロ）は本発明によって作製した場合である。
示す。（イ）は従来の方法によって作製された場合であ
シ（ロ）は本発明によって作製した場合である。
これらの比較によシ２本発明によって作製された膜は従
来の方法に比べ膜の初期層から良い配向が示されている
ことがわかる。
来の方法に比べ膜の初期層から良い配向が示されている
ことがわかる。
ここで実施例としてはターゲットと基板が平行な装置を
示したが、第４図に示すようなキャンをの装置でもよく
、フィルム５を一時停止して断続的にスパッタする方法
であれば本実施例に制限されない。
示したが、第４図に示すようなキャンをの装置でもよく
、フィルム５を一時停止して断続的にスパッタする方法
であれば本実施例に制限されない。
以上延べたように２本発明によれば磁気特性の優れた垂
直磁気記録媒体が能率良く作製できる。
直磁気記録媒体が能率良く作製できる。
第１図は本発明に係る実施例の概念図、第２図は第１図
に示した実施例に砕ける膜の面内磁化曲線を示す図、第
３図はΔθ５ｏの膜厚依存性を示す相関図、第４図は本
発明の他の実施例を示す概念図、第５図は従来の垂直磁
気記録装置の概念図。 第６図は第５図に示す従来装置によシ生成された膜の模
式図である。 に巻出しロール、２ニガイドロール、３：巻取シロール
、４：ターダット、５：長尺高分子フィルム、６：磁性
膜、７：シャッター、８：円筒キャン。 第１図 第２図 第３図 腺 淳 〔μ汎〕 第４図 第６図
に示した実施例に砕ける膜の面内磁化曲線を示す図、第
３図はΔθ５ｏの膜厚依存性を示す相関図、第４図は本
発明の他の実施例を示す概念図、第５図は従来の垂直磁
気記録装置の概念図。 第６図は第５図に示す従来装置によシ生成された膜の模
式図である。 に巻出しロール、２ニガイドロール、３：巻取シロール
、４：ターダット、５：長尺高分子フィルム、６：磁性
膜、７：シャッター、８：円筒キャン。 第１図 第２図 第３図 腺 淳 〔μ汎〕 第４図 第６図
Claims (1)
- （１）長尺の高分子基板フィルム上に磁性垂直磁気記録
用フレキシブルディスクを作製する方法において、ター
ゲットと基板フィルムの間にシャッターを設置し、該シ
ャッターの開閉により、前記基板フィルムに断続的に磁
性膜を形成することを垂直磁気記録 特徴とする垂直磁気記録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4449188A JPH01220124A (ja) | 1988-02-29 | 1988-02-29 | 垂直磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4449188A JPH01220124A (ja) | 1988-02-29 | 1988-02-29 | 垂直磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01220124A true JPH01220124A (ja) | 1989-09-01 |
Family
ID=12693020
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4449188A Pending JPH01220124A (ja) | 1988-02-29 | 1988-02-29 | 垂直磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01220124A (ja) |
-
1988
- 1988-02-29 JP JP4449188A patent/JPH01220124A/ja active Pending
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