JPH01220327A - 電子管用傍熱形陰極 - Google Patents
電子管用傍熱形陰極Info
- Publication number
- JPH01220327A JPH01220327A JP63042002A JP4200288A JPH01220327A JP H01220327 A JPH01220327 A JP H01220327A JP 63042002 A JP63042002 A JP 63042002A JP 4200288 A JP4200288 A JP 4200288A JP H01220327 A JPH01220327 A JP H01220327A
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- JP
- Japan
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- heater
- sintered
- sleeve
- indirectly heated
- heated cathode
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- Solid Thermionic Cathode (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、熱効率が良く、ヒータ温度が低くて済み、寿
命が長く、信頼性が高い電子管用傍熱形陰極に関する。
命が長く、信頼性が高い電子管用傍熱形陰極に関する。
［従来の技術］
傍熱形の電子管用陰極は、直熱形陰極に比べて種々利点
があるにもかかわらず熱効率に関しては劣っており、従
来から其の向上について多くの工夫がなされて来た０例
えば特開昭６１−２８８３３９号公報には、傍熱形陰極
の金属スリーブ内面に、高融点金属または共の酸化物粉
末と無機質結合材を塗布して焼結し、スリーブの内面に
黒い熱吸収性膜を形成させることが開示されている。
があるにもかかわらず熱効率に関しては劣っており、従
来から其の向上について多くの工夫がなされて来た０例
えば特開昭６１−２８８３３９号公報には、傍熱形陰極
の金属スリーブ内面に、高融点金属または共の酸化物粉
末と無機質結合材を塗布して焼結し、スリーブの内面に
黒い熱吸収性膜を形成させることが開示されている。
［発明が解決しようとする課題］
しかし、上記従来の技術には、スリーブ内面に形成され
た熱吸収性膜の黒化度が十分ではなく。
た熱吸収性膜の黒化度が十分ではなく。
陰極のスリーブの外側に密着させた電子放出物質部分が
、ヒータ通電により十分効率良く加熱されるには到らな
いという問題があった。
、ヒータ通電により十分効率良く加熱されるには到らな
いという問題があった。
また、古くから、ヒータの外側表面にタングステン粉末
を塗布焼結して黒化させた所謂ダークヒ−タを使用する
ことも行われていたが、この方法は時によってはヒータ
の絶縁性を低下させるなどの問題を生じていた。
を塗布焼結して黒化させた所謂ダークヒ−タを使用する
ことも行われていたが、この方法は時によってはヒータ
の絶縁性を低下させるなどの問題を生じていた。
本発明は、上記従来の傍熱形陰極の課題を解決し、１１
３極スリーブの外側に密着させた電子放出物質部分を、
ヒータにより更に効率良く加熱できるようにした電子管
用傍熱形陰極を提供することを目的とする。
３極スリーブの外側に密着させた電子放出物質部分を、
ヒータにより更に効率良く加熱できるようにした電子管
用傍熱形陰極を提供することを目的とする。
［課題を解決するための手段］
上記課題を解決するために本発明においては、ヒータを
被覆するアルミナ絶縁層の外側面に、アルミニウムタン
グステートを付着させて還元性雰囲気中で焼結し、ヒー
タ絶縁被覆の外側表面を黒化させることにした。
被覆するアルミナ絶縁層の外側面に、アルミニウムタン
グステートを付着させて還元性雰囲気中で焼結し、ヒー
タ絶縁被覆の外側表面を黒化させることにした。
また、金属スリーブの内側面に、アルミニウムタングス
テートを付着させて還元性雰囲気中で焼結し、金属スリ
ーブの内側表面を黒化させることにした。
テートを付着させて還元性雰囲気中で焼結し、金属スリ
ーブの内側表面を黒化させることにした。
ヒータの外側を黒化させ、同時に金属スリーブの内側も
黒化させれば勿論最良の効果が得られるが、どちらか一
方だけを黒化しても、かなりの効果が得られる。
黒化させれば勿論最良の効果が得られるが、どちらか一
方だけを黒化しても、かなりの効果が得られる。
［作用］
アルミニウムタングステートの粉末は黄緑色をしている
が、水素中で焼結することにより。
が、水素中で焼結することにより。
Ａ１．Ｏ，とＷ、又はＡ１．Ｏ，とＷＯ２に分解する。
アルミニウムタングステートの分解によって生じたＷ又
はＷＯ２は、非常に微細な粒子であり、これらの粒子に
よって表面に十分な黒化度を有する膜が形成される。
はＷＯ２は、非常に微細な粒子であり、これらの粒子に
よって表面に十分な黒化度を有する膜が形成される。
黒色度の大きい被膜が形成されたヒータの表面は熱放射
率が高くなり、同様に黒色度の大きい被膜が形成された
金属スリーブの内面は熱吸収率が高くなるため、陰極ス
リーブの外側に密着させた電子放出物質部分は、ヒータ
により効率良く加熱されるようになり従来よりも低いヒ
ータ温度で従来と同等の電子放出量が得られるようにな
る。
率が高くなり、同様に黒色度の大きい被膜が形成された
金属スリーブの内面は熱吸収率が高くなるため、陰極ス
リーブの外側に密着させた電子放出物質部分は、ヒータ
により効率良く加熱されるようになり従来よりも低いヒ
ータ温度で従来と同等の電子放出量が得られるようにな
る。
なお、アルミニウムタングステートの分解によって生じ
たＡｌ、Ｏ，、Ｗ、ＷＯ２は何れも高温真空中で安定な
物質であり、反応または蒸発によす消失するようなこと
はない。
たＡｌ、Ｏ，、Ｗ、ＷＯ２は何れも高温真空中で安定な
物質であり、反応または蒸発によす消失するようなこと
はない。
［実施例］
第１図は本発明一実施例の断面図で、図中、ｌはモリブ
デン製の金属スリーブ、２はタングステン芯線を用いた
加熱用ヒータ、３は金属スリーブ１の外壁頂面上に密着
して取付けられた金属カップ、４は電子放出物質を高融
点金属の多孔質焼結体に含浸させたエミッタ（ペレット
）で金属カップ３の内部に収納されており、ヒータ２の
アルミナ被覆６の外表面とスリーブ１の内側表面には本
発明に係る黒色被膜５が形成されている。
デン製の金属スリーブ、２はタングステン芯線を用いた
加熱用ヒータ、３は金属スリーブ１の外壁頂面上に密着
して取付けられた金属カップ、４は電子放出物質を高融
点金属の多孔質焼結体に含浸させたエミッタ（ペレット
）で金属カップ３の内部に収納されており、ヒータ２の
アルミナ被覆６の外表面とスリーブ１の内側表面には本
発明に係る黒色被膜５が形成されている。
ヒータは、タングステン芯線にアルミナを電着させ１６
００℃水素中で焼結した後、アルミニウムタングステー
トを付着させ、１４００℃水素中で焼結し、外面に黒色
膜を形成させたものである。
００℃水素中で焼結した後、アルミニウムタングステー
トを付着させ、１４００℃水素中で焼結し、外面に黒色
膜を形成させたものである。
アルミニウムタングステートは、粉末１５ｇを。
５０ｃｃのメチルイソブチルケトン（Ｍ Ｉ Ｂ Ｋ）
と、ニトロセルローズ１ｇを混合した液体に分散させて
スラリーとし、このスラリーにアルミナを電着、焼結し
たヒータを浸漬することにより付着させた。
と、ニトロセルローズ１ｇを混合した液体に分散させて
スラリーとし、このスラリーにアルミナを電着、焼結し
たヒータを浸漬することにより付着させた。
付着後、水素中で焼結することにより、アルミニウムタ
ングステートはＡ１２０１、Ｗ、ＷＯ□に分解し、黒化
膜となる６ 金属スリーブはモリブデン板をプレス加工して作ったも
ので、スリーブ内に上記スラリーを注入して乾燥後、１
２００”Ｃ水素中で焼結したものである。焼結後はスリ
ーブ内面にＡ１□０１、Ｗ。
ングステートはＡ１２０１、Ｗ、ＷＯ□に分解し、黒化
膜となる６ 金属スリーブはモリブデン板をプレス加工して作ったも
ので、スリーブ内に上記スラリーを注入して乾燥後、１
２００”Ｃ水素中で焼結したものである。焼結後はスリ
ーブ内面にＡ１□０１、Ｗ。
ＷＯ２からなる黒化膜が形成されている。
上記の如く製造された傍熱形陰極は、従来はヒータ温度
１３００”Ｃにしなければエミッタ温度が１０００℃に
ならなかったのに対し、ヒータ温度１２００℃でエミッ
タ温度１０００’Ｃとなり、ヒータ温度１２００’Ｃ、
エミッタ温度１０００°Ｃの条件で５０００時間、圧力
１０−’Ｐａ以下の高真空中で加熱しても何等変化は認
められず、信頼性が高いことが判った６ ［発明の効果］ 以上説明したように本発明によれば、熱効率が良く、ヒ
ータ温度が低くて済み、寿命が長く信頼性の高い電子管
用傍熱形陰極が得られる。
１３００”Ｃにしなければエミッタ温度が１０００℃に
ならなかったのに対し、ヒータ温度１２００℃でエミッ
タ温度１０００’Ｃとなり、ヒータ温度１２００’Ｃ、
エミッタ温度１０００°Ｃの条件で５０００時間、圧力
１０−’Ｐａ以下の高真空中で加熱しても何等変化は認
められず、信頼性が高いことが判った６ ［発明の効果］ 以上説明したように本発明によれば、熱効率が良く、ヒ
ータ温度が低くて済み、寿命が長く信頼性の高い電子管
用傍熱形陰極が得られる。
第１図は本発明一実施例の断面図である。
１・・・金属スリーブ、 ２・・・本発明に係る黒化ヒ
第 １ 図 ６−γルミヂ
第 １ 図 ６−γルミヂ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、加熱用ヒータと、ヒータを内包する金属スリーブと
、スリーブの外側に密着させた電子放出物質部分とを備
えた電子管用傍熱形陰極において、ヒータを被覆するア
ルミナ絶縁層の外側面に、アルミニウムタングステート
を付着させて焼結し、ヒータ絶縁被覆の外側表面を黒化
させたことを特徴とする電子管用傍熱形陰極。 ２、加熱用ヒータと、ヒータを内包する金属スリーブと
、スリーブの外側に密着させた電子放出物質部分とを備
えた電子管用傍熱形陰極において、金属スリーブの内側
面に、アルミニウムタングステートを付着させて焼結し
、金属スリーブの内側表面を黒化させたことを特徴とす
る電子管用傍熱形陰極。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4200288A JP2723897B2 (ja) | 1988-02-26 | 1988-02-26 | 電子管用傍熱形陰極 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4200288A JP2723897B2 (ja) | 1988-02-26 | 1988-02-26 | 電子管用傍熱形陰極 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01220327A true JPH01220327A (ja) | 1989-09-04 |
| JP2723897B2 JP2723897B2 (ja) | 1998-03-09 |
Family
ID=12623990
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4200288A Expired - Fee Related JP2723897B2 (ja) | 1988-02-26 | 1988-02-26 | 電子管用傍熱形陰極 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2723897B2 (ja) |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5631699B2 (ja) | 2010-11-08 | 2014-11-26 | 信越化学工業株式会社 | 異形シリカ微粒子の製造方法及び静電荷像現像用トナー外添剤 |
| JP5638030B2 (ja) | 2012-06-13 | 2014-12-10 | 木村産業株式会社 | 生菌剤や消化酵素剤およびその両方を含有する錠剤 |
| JP6315694B2 (ja) | 2014-09-19 | 2018-04-25 | 東京エレクトロン株式会社 | 半導体装置の製造方法、ならびに皮膜の形成方法および形成装置 |
-
1988
- 1988-02-26 JP JP4200288A patent/JP2723897B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2723897B2 (ja) | 1998-03-09 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |