JPH0123021Y2 - - Google Patents

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JPH0123021Y2
JPH0123021Y2 JP1986102007U JP10200786U JPH0123021Y2 JP H0123021 Y2 JPH0123021 Y2 JP H0123021Y2 JP 1986102007 U JP1986102007 U JP 1986102007U JP 10200786 U JP10200786 U JP 10200786U JP H0123021 Y2 JPH0123021 Y2 JP H0123021Y2
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cap nut
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16B—DEVICES FOR FASTENING OR SECURING CONSTRUCTIONAL ELEMENTS OR MACHINE PARTS TOGETHER, e.g. NAILS, BOLTS, CIRCLIPS, CLAMPS, CLIPS OR WEDGES; JOINTS OR JOINTING
    • F16B1/00—Devices for securing together, or preventing relative movement between, constructional elements or machine parts
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L19/00—Joints in which sealing surfaces are pressed together by means of a member, e.g. a swivel nut, screwed on, or into, one of the joint parts
    • F16L19/02—Pipe ends provided with collars or flanges, integral with the pipe or not, pressed together by a screwed member
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16B—DEVICES FOR FASTENING OR SECURING CONSTRUCTIONAL ELEMENTS OR MACHINE PARTS TOGETHER, e.g. NAILS, BOLTS, CIRCLIPS, CLAMPS, CLIPS OR WEDGES; JOINTS OR JOINTING
    • F16B37/00—Nuts or like thread-engaging members
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S285/00—Pipe joints or couplings
    • Y10S285/917—Metallic seals

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Description

【考案の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 この考案は、継手のパーツ同士の摩擦等により
生じるパーテイクルの発生を極端に減少させ、こ
のパーテイクルが反応ガス中に混入するのを防止
すると共に高度の気密性を付与せしめた半導体製
造装置用流体継手に関するものである。
「従来技術及びその問題点」 近年技術革新のハイスピード化に伴い、超LSI
とか超々LSIにみられるように、飛躍的に大規模
な集積回路を製造する必要性が生じてきている。
このような大規模集積回路を製造するには、シラ
ン、アルシン、ホスフインのような超毒性ガス流
体の使用や、超高真空化に於ける高純度の被膜形
成の必要性があることから、その半導体製造装置
には必然的に高度の気密性が要求されてきてい
る。
しかして、このような装置の流路形成要素を連
結するには、流体継手を使用して行なつている
が、この目的に使用する従来の継手としては、例
えば第６図に示すように、２つのスリーブ１，２
をガスケツト３を介して連結してなり、この連結
締付けは、スリーブ１に嵌着させた外周にねじ部
を形成したグランド４に、他方のスリーブ２に嵌
装させたナツト５を螺合させた流体継手が挙げら
れる。しかしながら、この種継手は、袋ナツトを
締付ける時に、袋ナツト（メスナツト）５とスリ
ーブ２との摩擦により、スリーブ２に回転トルク
が加わり、その為スリーブ２に熔接した配管パイ
プがねじれるとか、スリーブ２の回転によつてガ
スケツト表面に傷がつき、これが流体リーク並び
にパーテイクル発生の原因になる等の欠点があつ
た。
このような問題点を解消するため、本考案者
は、第７図に示すように、袋ナツト７のスリーブ
２を圧接する面に多数の小球８をリング状の溝９
中に嵌合保持させてなるナツトを考案したが、こ
のものは配管パイプのねじれ等の欠点は解消する
が、小球嵌合保持部に精密な加工を要するため、
生産性が悪く、しかも作業者のミスにより規定値
以上のオーバートルクで締め込まれた場合、小球
保持部が破損する可能性があるほか、小球８とス
リーブ２とが点接触であるため、小球の強度が弱
くなる等の難点があつた。
そこで本考案者は、小球８の代わりに、スラス
トベアリングをナツトに保持させることを発想し
た。しかしながら、袋ナツトとスリーブとの間に
単にスラストベアリングを介在させたのでは、ス
リーブとスラストベアリングとナツトとが常に完
全には水平に当たらないため、金属Ｃ−リング
（ガスケツト）の適正な締付ができない問題が生
じた。このような問題を解消するため、スラスト
ベアリングをスリーブに固定することも考えられ
るが、固定具とスリーブとの摩擦によりパーテイ
クルが発生し、しかもスリーブは接ガス部である
のでこのパーテイクルが反応ガス中に混入する危
険性が生じ、反応ガス中に混入すると、反応ガス
と一緒にウエハー上に運ばれウエハーを損傷する
という半導体製造装置用継手としては、致命的な
欠点が生じる。
この考案は、このような欠点を解消し、パーテ
イクルの発生を最小にすると共に金属Ｃ−リング
を適正に締付け高度の気密性が得られるようにし
た流体継手を提供することを目的とする。
「問題点を解決するための手段」 上記目的に沿う本考案の構成は、先端外周にフ
ランジ部を設けた管体からなるスリーブと、該ス
リーブとガスケツトを介して当接連通する管体か
らなる継手ピースと、両管体をその外側から直接
若しくはオスナツトを介して螺合締付ける袋ナツ
トとを具備した高気密性流体継手に於いて、前記
袋ナツト若しくはオスナツトのスリーブフランジ
部を圧接する面に嵌合凹部を形成し、該嵌合凹部
にスラストベアリングを保持し、前記ガスケツト
はコイルスプリングを金属製被覆材で外側の中心
が空くように被覆してなることを特徴とする。
要するに本考案は、嵌合凹部にスラストベアリ
ングを圧入保持させたナツトで、スリーブとガス
ケツトを介して当接連通する継手ピースとを連結
することによつて、パーツ同士の摺動部分をなく
し、その結果パーテイクルの発生を最小にすると
共にスリーブとスラストベアリングとナツトとが
常に均一に面接触し易い構成とし、金属Ｃ−リン
グを適正に締付けることができるようにし、高度
の気密性を付与せしめたことを特徴とする。
「実施例」 次に、本考案の実施例を図面に基ずいて説明す
る。図中、同一番号は同一名称を示す。
第１図は、本考案に使用するナツトを示すもの
で、内面にネジ部２８を形成したメスナツト（袋
ナツト）１１のスリーブを圧接する面には、嵌合
凹部１２が形成され、該嵌合凹部１２にはスラス
トベアリング１７が、圧入保持されている。
上記実施例で使用したスラストベアリング１７
は、内輪３３と外輪３４との間の環状溝に小球３
５を充填し、内輪３３と外輪３４との外周に環体
３６を嵌合させてなるもので、これ自体は公知の
ものである。
第２図は、上記メスナツト１１を使用した本考
案の流体継手を示すものであり、ボデー１３とス
リーブ１４とが、ガスケツト１５を介して当接し
流体通路を形成しており、メスナツト１１は、ス
リーブ１４の外周に嵌合し、ボデー外周のネジ部
１９に螺合して、スリーブ１４をガスケツト１５
を介してボデー１３に締付けている例を示す。ス
リーブ１４の先端外周にはフランジ部１６が設け
られており、メスナツト１１に嵌合保持させたス
ラストベアリング１７は、このフランジ部１６に
当接する。このようにすると、袋ナツト締付時
に、継手のパーツ同士が擦れたりしないことか
ら、パーテイクルの発生を最小にすることがで
き、反応ガス中へのパーテイクルの混入を防止す
ることができる。
上記流体継手に使用したガスケツト１５は、第
３図に示すように、コイルスプリング２０を、金
属製被覆材１８で、外側の中心が空くように被覆
することにより構成されている。
第４図は、本考案に使用するナツトを示すもの
で、オスナツト２５の先端に形成した嵌合凹部２
６にスラストベアリング１７が嵌合されている。
尚、図中２７は外周に形成したネジ部を表す。
第５図は、上記オスナツト２５を使用した本考
案の流体継手を示すものであり、２つのスリーブ
１６，１６′をガスケツト１５を介して連結して
なり、この連結締付けは、スリーブ１６′の外周
に嵌合させたオスナツト２５の外周ネジ部２７に
メスナツト１１′を螺合している。
上記第５図に示す流体継手に於いては、スリー
ブ１６のガスケツト１５との当接面には、環状の
凹部２１を設け、スリーブ１６′のガスケツト１
５に当接する面には、該凹部２１に嵌合する凸起
部２２を設けている。このようにすると、ガスケ
ツト１５を有効弾性圧縮量まで圧接した時、凸起
部２２の段部２３がボデイの端面２４に止るの
で、有効圧縮量以上は圧縮されず、ガスケツトの
損傷が効果的に防止される。
「考案の効果」 以上説明したように、本考案によれば、嵌合凹
部にスラストベアリングを保持させたナツトによ
つて、スリーブとガスケツトを介して当接連通す
る継手ピースとを連結しているので、連結締付時
にパーツ同士の摺動部分をなくし、その結果パー
テイクルの発生を最小にし、反応ガス中へのパー
テイクルの混入を防止すると共に、スリーブとス
ラストベアリングとナツトとが常に均一に面接触
するようになるので、金属Ｃ−リングを適正に締
付けることができ、高度の気密性が得られる等従
来のこの種継手には全く見られない著しく顕著な
効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
第１図は、本考案のナツトを示す断面図、第２
図は、本考案の実施例を示す半断面図、第３図
は、ガスケツトの一部切欠斜視図、第４図は、本
考案の他のナツトを示す断面図、第５図は、本考
案の他の実施例を示す半断面図、第６図は従来の
流体継手を示す断面図、第７図は、小球を保持さ
せたナツトとスリーブとを組合せた状態を示す断
面図である。 図中、１１……メスナツト、１７……小球、２
５……オスナツト。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 先端外周にフランジ部を設けた管体からなる
    スリーブと、該スリーブとガスケツトを介して
    当接連通する管体からなる継手ピースと、両管
    体をその外側から直接若しくはオスナツトを介
    して螺合締付ける袋ナツトとを具備した高気密
    性流体継手に於いて、前記袋ナツト若しくはオ
    スナツトのスリーブフランジ部を圧接する面に
    嵌合凹部を形成し、該嵌合凹部にスラストベア
    リングを保持し、前記ガスケツトはコイルスプ
    リングを金属製被覆材で外側の中心が空くよう
    に被覆してなることを特徴とする半導体製造装
    置用高気密性袋ナツト締め流体継手。 (2) 前記スラストベアリングが、内輪と外輪との
    外周に環体を嵌合させてなる実用新案登録請求
    の範囲第１項に記載の袋ナツト締め流体継手。
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